KIST·연세대·KAIST P램 핵심 기반기술 연구
경북대 '플래시메모리' 저가격·고집적 구현시도
나노반도체 공정뿐 아니라 나노반도체 그 자체를 개발하기 위한 학계의 시도 역시 관심을 모으고 있다.
국내 연구기관 및 대학교가 참여하고 있는 차세대 메모리 P램 핵심 기반기술과 65㎚급 이중 게이트 구조의 플래시메모리 개발 사업이 바로 그것.
P램은 플래시메모리 등의 비휘발성 메모리와 비교할 때 데이터 처리속도가 1000배 빠르며, 높은 신뢰성도 보유한 차세대 메모리반도체로 물질의 상(Phase) 변화를 이용해 동작하는 것이 특징이다. 즉 상(相)이 비정질 상태에서 결정질 상태로 변화할 때 1비트를 얻는 방식으로 동작한다.
P램 개발에는 ㎓대의 고주파 영역에서 상 변화를 실시간으로 측정하기 위한 측정기술이 핵심이다.
한국과학기술연구원(KIST)과 연세대ㆍ한국과학기술원(KAIST)은 0.1평방미크론(㎛²)의 면적을 가진 상변화 소자, 즉 P램을 개발하기 위해 고주파 특성 분석 및 측정, 상변화를 해석해 소자 특성을 예측할 수 있는 기술을 집약해 P램 핵심 기반 기술을 개발하고 있다.
경북대학교는 벌크 웨이퍼에서 구현되는 이중게이트 구조의 플래시메모리를 개발하고 있어 주목받고 있다. 경북대의 플래시메모리 개발 프로젝트는 65㎚ 이사의 게이트 길이를 갖는 패턴 형성 기술에 초점이 맞춰져 있다. 벌크 웨이퍼를 통한 65㎚ 플래시메모리 개발은 기존 공정을 이용해 저가격 고집적 플래시메모리 상용화를 목표로 하고 있는 게 가장 큰 특징이다.
벌크 웨이퍼에 산화막 필름을 입힌 SOI 웨이퍼에 비해 값이 싼 벌크 웨이퍼로 플래시메모리를 제조하게 되면 저렴한 비용으로 같은 집적도의 플래시메모리를 구현할 수 있는 데다, 65㎚라는 미세 공정까지 구현할 수 있는 장점이 있다. 미세 공정이 적용됨으로써 반도체 칩의 크기가 더욱 작아져 단일 웨이퍼 상에서 생산되는 칩의 개수가 많아지고, SOI 웨이퍼에 비해 값이 10분의 1에 불과한 벌크 웨이퍼로 생산한다는 점에서 경북대의 시도가 성공할 경우 플래시메모리 가격을 획기적으로 떨어뜨릴 수 있을 것이란 기대도 나오고 있다.
허정화기자
경북대 '플래시메모리' 저가격·고집적 구현시도
나노반도체 공정뿐 아니라 나노반도체 그 자체를 개발하기 위한 학계의 시도 역시 관심을 모으고 있다.
국내 연구기관 및 대학교가 참여하고 있는 차세대 메모리 P램 핵심 기반기술과 65㎚급 이중 게이트 구조의 플래시메모리 개발 사업이 바로 그것.
P램은 플래시메모리 등의 비휘발성 메모리와 비교할 때 데이터 처리속도가 1000배 빠르며, 높은 신뢰성도 보유한 차세대 메모리반도체로 물질의 상(Phase) 변화를 이용해 동작하는 것이 특징이다. 즉 상(相)이 비정질 상태에서 결정질 상태로 변화할 때 1비트를 얻는 방식으로 동작한다.
P램 개발에는 ㎓대의 고주파 영역에서 상 변화를 실시간으로 측정하기 위한 측정기술이 핵심이다.
한국과학기술연구원(KIST)과 연세대ㆍ한국과학기술원(KAIST)은 0.1평방미크론(㎛²)의 면적을 가진 상변화 소자, 즉 P램을 개발하기 위해 고주파 특성 분석 및 측정, 상변화를 해석해 소자 특성을 예측할 수 있는 기술을 집약해 P램 핵심 기반 기술을 개발하고 있다.
경북대학교는 벌크 웨이퍼에서 구현되는 이중게이트 구조의 플래시메모리를 개발하고 있어 주목받고 있다. 경북대의 플래시메모리 개발 프로젝트는 65㎚ 이사의 게이트 길이를 갖는 패턴 형성 기술에 초점이 맞춰져 있다. 벌크 웨이퍼를 통한 65㎚ 플래시메모리 개발은 기존 공정을 이용해 저가격 고집적 플래시메모리 상용화를 목표로 하고 있는 게 가장 큰 특징이다.
벌크 웨이퍼에 산화막 필름을 입힌 SOI 웨이퍼에 비해 값이 싼 벌크 웨이퍼로 플래시메모리를 제조하게 되면 저렴한 비용으로 같은 집적도의 플래시메모리를 구현할 수 있는 데다, 65㎚라는 미세 공정까지 구현할 수 있는 장점이 있다. 미세 공정이 적용됨으로써 반도체 칩의 크기가 더욱 작아져 단일 웨이퍼 상에서 생산되는 칩의 개수가 많아지고, SOI 웨이퍼에 비해 값이 10분의 1에 불과한 벌크 웨이퍼로 생산한다는 점에서 경북대의 시도가 성공할 경우 플래시메모리 가격을 획기적으로 떨어뜨릴 수 있을 것이란 기대도 나오고 있다.
허정화기자
