조복래 표준과학원 책임연구원
측정장비 기업 '모듈싸이' 세워
측정장비 기업 '모듈싸이' 세워
표준연 제공
표준연 제공
조복래 한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 책임연구원은 '멀티 해상도 이미징을 위한 광전자 융합현미경' 기술을 이용해 신개념 측정검사장비 전문기업 '모듈싸이'를 설립했다.
현재 미세한 물체나 형상의 다양한 이미지 정보를 얻으려면 광학현미경과 전자현미경에 시료를 옮겨가며 관찰해야 했다.
이 경우 시간·공간적 효율이 떨어지고, 이동 과정에서 시료 손상 위험도 있다.
모듈싸이는 개별 플랫폼인 광학현미경과 전자현미경을 하나로 통합한 '광전자 융합현미경'을 만드는 설계 기술을 확보했다. 두 종류(광학, 전자)의 대물렌즈의 형태를 간섭하지 않도록 재설계해 물리적 제약을 극복하면서, 전자제어계와 소프트웨어 등을 통합해 빛과 전자로 동시에 관찰하는 융합현미경을 구현한 것이다.
이 현미경을 이용해 광학 영역에서 마이크로미터 수준에서 결함이 의심되는 곳을 컬러 이미지로 파악한 후, 이를 전자 영역에서 나노미터 수준까지 정밀하게 관찰하면 검출 정확도를 높이고 소요시간을 크게 줄여 반도체나 디스플레이 공정의 불량품을 효과적으로 걸러낼 수 있다.
모듈싸이는 반도체, 디스플레이 등 전자업계의 공정용 측정검사장비를 개발해 수익을 낸다는 계획이다. 장기적으로는 의료영역까지 사업을 확장한다는 구상이다.
조복래 박사는 "많은 기업들이 융합현미경을 측정검사장비에 적용할 수 있는지 문의해 오고 있다"며 "독자적인 현미경 설계기술을 보유하고 있어 검사 수요에 따라 맞춤형으로 개발할 수 있는 기술력을 가진 게 우리의 강점"이라고 말했다.
대전=이준기기자 bongchu@
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