차세대 마이크로 일렉트로닉스 테크놀로지로 떠오르는 초소형정밀기계(MEMS) 기술을 응용한 전기ㆍ전자부품의 상용화가 급물살을 타고 있다.
9일 관련업계에 따르면 삼성종합기술원ㆍ삼성전기ㆍ파이컴ㆍ광전자 등 국내 주요 전자업체들은 MEMS기술을 활용한 잉크젯 헤드, 마이크로 자이로, 프로브(Probe) 카드 등을 잇따라 개발, 본격적인 상용화에 나서고 있다.
MEMS기술의 상용화는 산업자원부와 과학기술부가 공동으로 1995년 12월부터 2003년 3월까지 7년 4개월 동안 총 725억원(정부 380억원, 민간 345억원)을 투입, MEMS기술의 기반기술 확보와 제품기술 개발을 위해 추진한 범부처 사업이다.
삼성전기(대표 강호문)는 세계 최초로 가전 및 정보통신용 초소형ㆍ저전력 MEMS 자이로 센서를 개발, 시험생산 중에 있다. 이 제품은 캠코더에서 손떨림 보상용이나 초소형 정찰기 자세 제어용 감지센서 등 다양한 분야에 응용된다. 삼성전기는 올해 자이로센서의 본격적인 생산에 돌입해 내년 약 300억원의 매출을 기대하고 있다.
삼성종합기술원(원장 손욱)은 잉크젯시장을 주도하는 HP 및 캐논사 제품의 특허를 회피할 수 있는 독자적인 고성능 잉크젯헤드기술 `도메젯(Domejet)'을 개발했다. 도메젯은 시장의 주류를 이루고 있는 가열 방식으로 기존 제품이 안고있는 낮은 수율 문제를 개선했다.
KEC(대표 곽정소)는 MEMS기술을 이용해 개발한 집적화된 압력센서를 지난달부터 출시하고 있으며, 올해 10만개를 생산해 50만달러의 매출을 예상하고 있다. 이 회사는 2005년까지 내수시장의 90%이상을 점유해 내수 100만달러, 수출 400만달러를 달성할 계획이다.
파이컴(대표 이억기)은 최근 미국 현지법인을 통해 미국 마이크론사에 MEMS기술을 이용해 세계 최초로 개발한 프로브카드 샘플을 제공하고 공동 테스트를 진행하고 있다.
이 회사 조병호 상무는 MEMS 프로브카드는 기존 프로브카드에 MEMS 기술을 접목시켜 64개 칩을 동시에 검사할 수 있어 웨이퍼 검사공정의 생산성 향상과 원가절감에 크게 기여할 것이라고 말했다. 파이컴은 MEMS 프로브카드로 올해 100억원의 매출을 예상하고 있다.
광전자(대표 이택렬)는 전자부품연구원ㆍ케피코 등과 공동으로 MEMS기술을 응용한 가속도 센서 모듈을 개발, 상용화를 추진 중에 있다. MEMS 가속도센서는 실리콘웨이퍼를 MEMS 공법으로 가공, 자동차 배기가스 발생을 최소화하는 엔진실화 검출시스템에 적용될 예정이다.
이밖에 에이팩(대표 송규섭)은 초소형 일체형의 냉각기 개발에 성공했으며, 아이에스텍(대표 유갑상)과 대우일렉트로닉스(대표 김충훈)도 각각 초소형 매스에어플로센서와 적외선 이미지센서 어레이 등 MEMS 응용제품을 개발하고 조만간 양산에 들어간다는 계획이다.
김영민기자
* 용어설명 :
9일 관련업계에 따르면 삼성종합기술원ㆍ삼성전기ㆍ파이컴ㆍ광전자 등 국내 주요 전자업체들은 MEMS기술을 활용한 잉크젯 헤드, 마이크로 자이로, 프로브(Probe) 카드 등을 잇따라 개발, 본격적인 상용화에 나서고 있다.
MEMS기술의 상용화는 산업자원부와 과학기술부가 공동으로 1995년 12월부터 2003년 3월까지 7년 4개월 동안 총 725억원(정부 380억원, 민간 345억원)을 투입, MEMS기술의 기반기술 확보와 제품기술 개발을 위해 추진한 범부처 사업이다.
삼성전기(대표 강호문)는 세계 최초로 가전 및 정보통신용 초소형ㆍ저전력 MEMS 자이로 센서를 개발, 시험생산 중에 있다. 이 제품은 캠코더에서 손떨림 보상용이나 초소형 정찰기 자세 제어용 감지센서 등 다양한 분야에 응용된다. 삼성전기는 올해 자이로센서의 본격적인 생산에 돌입해 내년 약 300억원의 매출을 기대하고 있다.
삼성종합기술원(원장 손욱)은 잉크젯시장을 주도하는 HP 및 캐논사 제품의 특허를 회피할 수 있는 독자적인 고성능 잉크젯헤드기술 `도메젯(Domejet)'을 개발했다. 도메젯은 시장의 주류를 이루고 있는 가열 방식으로 기존 제품이 안고있는 낮은 수율 문제를 개선했다.
KEC(대표 곽정소)는 MEMS기술을 이용해 개발한 집적화된 압력센서를 지난달부터 출시하고 있으며, 올해 10만개를 생산해 50만달러의 매출을 예상하고 있다. 이 회사는 2005년까지 내수시장의 90%이상을 점유해 내수 100만달러, 수출 400만달러를 달성할 계획이다.
파이컴(대표 이억기)은 최근 미국 현지법인을 통해 미국 마이크론사에 MEMS기술을 이용해 세계 최초로 개발한 프로브카드 샘플을 제공하고 공동 테스트를 진행하고 있다.
이 회사 조병호 상무는 MEMS 프로브카드는 기존 프로브카드에 MEMS 기술을 접목시켜 64개 칩을 동시에 검사할 수 있어 웨이퍼 검사공정의 생산성 향상과 원가절감에 크게 기여할 것이라고 말했다. 파이컴은 MEMS 프로브카드로 올해 100억원의 매출을 예상하고 있다.
광전자(대표 이택렬)는 전자부품연구원ㆍ케피코 등과 공동으로 MEMS기술을 응용한 가속도 센서 모듈을 개발, 상용화를 추진 중에 있다. MEMS 가속도센서는 실리콘웨이퍼를 MEMS 공법으로 가공, 자동차 배기가스 발생을 최소화하는 엔진실화 검출시스템에 적용될 예정이다.
이밖에 에이팩(대표 송규섭)은 초소형 일체형의 냉각기 개발에 성공했으며, 아이에스텍(대표 유갑상)과 대우일렉트로닉스(대표 김충훈)도 각각 초소형 매스에어플로센서와 적외선 이미지센서 어레이 등 MEMS 응용제품을 개발하고 조만간 양산에 들어간다는 계획이다.
김영민기자
* 용어설명 :
