»ï¼ºÀüÀÚ, 5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °³¹ß¡¦ºñ¸Þ¸ð¸®µµ `ÃÊ°ÝÂ÷` Áø°Ý
ÀÔ·Â: 2019-04-16 11:38
¹ÚÁ¤ÀÏ ±âÀÚ
»ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î 5³ª³ë(§¬¡¤¸Ó¸®Ä«¶ô 10¸¸ºÐÀÇ 1 ±½±â) °øÁ¤ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇß´Ù°í 16ÀÏ ¹àÇû´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î ÀÌ´Þ ³» 7³ª³ë(§¬¡¤¸Ó¸®Ä«¶ô 10¸¸ºÐÀÇ 1 ±½±â) Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇß°í, ¿¬³» ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î 6³ª³ë Á¦Ç° ¼³°èµµ ¿Ï·áÇß´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
¡Þ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ ¾ç»ê ¼Óµµ¡¦Ä÷ÄÄ µî Ãß°¡ ¼öÁÖ ±â´ë= ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "7³ª³ë ¾ç»êÀÇ °æ¿ì ¾ÖÃÊ ¿¹»óº¸´Ù 2´Þ ³²Áþ ºü¸¥ ¼º°úÀÎ ¸¸Å, °øÁ¤ È®´ë¿¡ µû¸¥ Ãß°¡ ¼öÁÖµµ ±â´ëµÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ÃøÀº "6³ª³ë °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°ÀÇ °æ¿ì ÀÌ¹Ì ´ëÇü °í°´°ú »ý»ê ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Á¦Ç° ¼³°è°¡ ¿Ï·áµÅ(Tape-Out) ¿ÃÇØ ÇϹݱ⠾ç»êÇÒ ¿¹Á¤"À̶ó°í ÀüÇß´Ù.
10³ª³ë ¹Ì¸¸ ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ °æ¿ì »ý»ê´Ü°¡ µîÀ» °í·ÁÇßÀ» ¶§ ½º¸¶Æ®Æù¿ë AP(¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÇÁ·Î¼¼¼) µî °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°ÀÏ °¡´É¼ºÀÌ ³ô°í, ÀÌ ½ÃÀå¿¡¼´Â ½ÃÀåÀÇ Àý¹Ý °¡·®À» Â÷ÁöÇÏ´Â Ä÷ÄÄÀ» ºñ·ÔÇØ ¾ÆÀÌÆùÀ» ¾Õ¼¼¿î ¾ÖÇà µî ¼Ò¼ö ¾÷üµéÀÌ ´ëÇü °í°´»ç·Î ²ÅÈù´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â À̹ø 7¡¤6³ª³ë ¾ç»ê°ú 5³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß µîÀ¸·Î Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡¼ÀÇ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ °ÈÇß´Ù. Â÷¼¼´ë '5³ª³ë °øÁ¤'Àº ¼¿ ¼³°è ÃÖÀûÈ·Î ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤º¸´Ù ·ÎÁ÷ ¸éÀûÀ» 25% ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, 20% Çâ»óÇÑ Àü·Â È¿À² ¶Ç´Â 10% °ÈÇÑ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
ƯÈ÷ 7³ª³ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÑ ¼³°è ÀÚ»ê(IP)À» ±×´ë·Î È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î, ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ´Â ¼ö¿ä¾÷üµéÀº 5³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ¼³°è ºñ¿ëÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í ȸ»ç ÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù.
¡Þ1À§ TSMCÀÇ À§±â¡¦»ï¼ºÀüÀÚ Á¡À¯À² ±Þµî=ÆÄ¿îµå¸®¶õ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¾÷üÀÇ ÀÇ·Ú¸¦ ¹Þ¾Æ ¹Ì¼¼°øÁ¤À¸·Î Á¦Ç°À» ¸¸µé¾îÁÖ´Â ½ÃÀåÀ¸·Î, ÇöÀç ÀÌ ½ÃÀå¿¡¼´Â ´ë¸¸ ¾÷üÀÎ TSMC°¡ Àý´ëÀûÀÎ °ÀÚ´Ù. ÇÏÁö¸¸ 2017³â ¸» ±âÁØ 50.4%¿¡ À̸£·¶´ø TSMCÀÇ Á¡À¯À²Àº ¿¬ÃÊ °øÁ¤ ¿À¿° »ç°í¿¡ µû¸¥ ½ÇÀû ±Þ¶ôÀ¸·Î Áö³ 1ºÐ±â 48.1%±îÁö ¶³¾îÁ³´Ù.
¹Ý´ë·Î »ï¼ºÀüÀÚÀÇ °æ¿ì 2017³â ¸» 6.72%¿¡¼ Áö³ 1ºÐ±â 19.1%±îÁö Á¡À¯À²À» ´Ã·È´Ù. ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ¸¦ º°µµ ºÐ¸®ÇØ Àû±ØÀûÀ¸·Î À°¼ºÇÑ Á¡ µîÀÌ ÁÖÈ¿Çß´Ù. ¿©±â¿¡ ȼº¿¡ EUV Àü¿ë¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇØ ¿¬³» °¡µ¿ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ¾î¼ Ãß°¡ ¸ÅÃâ È®´ë°¡ ±â´ëµÈ´Ù.
½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü µî¿¡ µû¸£¸é ÀÛ³â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀº 700¾ï ´Þ·¯(¾à 80Á¶¿ø) ±Ô¸ð·Î, »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÁÖµµÇÏ´Â ³½µåÇ÷¡½Ã(¾à 72Á¶¿ø) ½ÃÀ庸´Ù Å©´Ù. ¸Þ¸ð¸®Ã³·³ ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÑ °æÀï·Â Áß Çϳª·Î ²ÅÈ÷´Â ¸¸Å »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °¡Áø ÀåÁ¡À» ½ÊºÐ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½ÃÀåÀÌ´Ù.
¡Þ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ýÅÂ°è °È ±â´ë¡¦Áö¿ø ÇÁ·Î±×·¥ È®´ë=ÀÌ °øÁ¤ÀÇ ±â¹ÝÀÌ µÈ EUV ±â¼úÀº ±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï (ArF)º¸´Ù ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ ªÀº EUV ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ, º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. ȸ»ç ÃøÀº ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ÀÛ¾÷À» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´×(Multi-Patterning) °øÁ¤À» ÁÙ¿© ¼º´É°ú ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "À̹ø ÇÙ½É ±â¼ú È®º¸·Î ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ýÅ°谡 °ÈÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"¸ç "ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ, ¼ÒÀç, µðÀÚÀÎ, ÆÐŰ¡, Å×½ºÆ® µî ´Ù¾çÇÑ Àü¹® ¾÷üµéÀÌ ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ¾ß ÇÏ´Â ¸¸Å Àü¡¤ÈÄ¹æ ¿¬°ü È¿°ú°¡ Å©´Ù"°í Àǹ̸¦ ºÎ¿©Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ½ÇÁ¦·Î ´Ù¾çÇÑ ÇÁ·Î±×·¥À» 5³ª³ë °øÁ¤±îÁö È®´ëÇØ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Àü¹® ¾÷üµéÀ» Áö¿øÇÑ´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù. ¸ÕÀú 1ÀåÀÇ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ´Â 'MPW(¸ÖƼ ÇÁ·ÎÁ§Æ® ¿þÀÌÆÛ) ¼ºñ½º'¸¦ ÃֽŠ5³ª³ë °øÁ¤±îÁö Á¦°øÇØ ¼³°è ¾÷üÀÇ ºÎ´ãÀ» ÁÙ¿©ÁÖ°í, ¶Ç ÆÄ¿îµå¸® Áö¿ø ÇÁ·Î±×·¥ÀÎ 'SAFE TM'À¸·Î Á¦Ç° ¼³°è¸¦ µ½´Â ´Ù¾çÇÑ µðÀÚÀÎ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃֽŠÆÄ¿îµå¸® »ý»ê½Ã¼³ÀΠȼºÄ·ÆÛ½º S3 ¶óÀο¡¼ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇöÀç °Ç¼³ ÁßÀΠȼºÄ·ÆÛ½º EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀ» 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇØ °í°´°ú ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.¹ÚÁ¤ÀϱâÀÚ comja77@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]