회사 측은 "특허는 원자층 증착(ALD)과 플라즈마 화학기상 증착(PECVD)의 장점을 모두 포함한 하이브리드 형태의 보호막 증착에 대한 것"이라며 "해당 기술을 이용하면 보호막 두께를 더 얇게 할 수 있어 공정시간을 줄이면서 플렉서블 특성을 유지할 수 있다"고 설명했다. 테스는 특허와 관련된 증착 기술을 디스플레이(OLED) 장비에 적용할 계획이다.
테스는 최근 기존 보유한 반도체 증착 기술력을 바탕으로 OLED(유기발광다이오드) 증착 기술을 연구하며 장비 개발에 성공하고 있다. 앞서 무기물과 유기물층을 차례로 얇게 증착해 공기 중 수분과 산소로부터 OLED 소재를 보호하는 역할을 하는 OLED 봉지 장비도 개발했다. 테스는 PECVD뿐 아니라 원자층증착(ALD) 장비용 봉지 기술도 확보, 하이브리드 형태의 디스플레이 증착장비를 개발할 수 있었던 것으로 분석된다.
특히 ALD 장비는 반도체, 디스플레이 공정이 미세화함에 따라 불순물을 최소화하고 균일한 두께로 양질의 박막을 형성하는 게 특징으로, 최근 OLED 시장에서 ALD 기술을 도입해 한 단계 높은 품질을 구현하려는 연구 개발이 활발하다.
현재 테스는 매출의 약 95%가 반도체용 장비에서 나오고 있으며 삼성전자와 SK하이닉스가 주요 납품처다. 주로 PECVD, 저압화학기상증착장비(LPCVD), 가스방식 건식 식각장비(드라이에처) 등을 공급하고 있다.
김은기자 silverkim@
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