µðÁöÅПÀÓ½º

 


[»ç¼³] 450§® ¹ÝµµÃ¼ Ç¥ÁØ µÚóÁ®¼± ¾ÈµÈ´Ù

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
Â÷¼¼´ë 450§® ¹ÝµµÃ¼ Ç¥ÁØ¿¡ ´ëÇÑ ³íÀÇ°¡ ±¹³»¿¡¼­ º»°ÝÈ­µÉ °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù.

¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ ±â°üÀÎ ¼¼¸¶ÅØ(SEMATEC)°ú ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÌ °øµ¿À¸·Î ¸¶·ÃÇÑ 450§® ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Ç¥ÁØÀÌ Á¶¸¸°£ ±¹³»¿¡ ¼Ò°³µÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿À´Â 10¿ù¿¡ ¿­¸®´Â Çѱ¹ÀüÀÚÀü¿¡¼­ ¼¼¸¶ÅØÀÌ ÁÖµµÇØ Â÷¼¼´ë 450§® ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Ç¥ÁØÀ» ±¹³» ¾÷°è¿¡ ¾Ë¸®´Â Çà»ç°¡ ¸¶·ÃµÉ °ÍÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù.

Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Çùȸ¿Í Çѱ¹¹ÝµµÃ¼¿¬±¸Á¶ÇÕÀº 450§® ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Ç¥ÁØÀ» ±¹³»¿¡ ¼Ò°³ÇÏ´Â ¹æ¾È¿¡ ´ëÇØ ÇöÀç ¼¼¸¶ÅØ°ú ÇùÀÇ ÁßÀ̶ó°í ÇÑ´Ù. ¼¼¸¶ÅØÀÌ ¼Ò°³ÇÏ´Â 450§® ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Ç¥ÁØ Çà»ç´Â ±× Àǹ̰¡ ÀÛÁö ¾Ê´Ù. ¿ì¸®³ª¶ó ÀÔÀå¿¡¼­´Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Ç¥ÁØÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ È帧À» ÆľÇÇØ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °è±â°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ¼¼¸¶ÅØÀº ÀÎÅÚ¤ýIBM¤ýTI µî ¹Ì±¹ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀÌ ÁÖÃàÀ¸·Î Â÷¼¼´ë 450mm ¿þÀÌÆÛ¿Í Àåºñ ±Ô°Ý Ç¥ÁØÈ­¸¦ ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Ç¥ÁØÈ­ °æÀïÀº ÀÌ¹Ì ¼û°¡»Ú°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. ¹Ì±¹¤ýÀϺ» µîÀÌ Â÷¼¼´ë 450mm ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ Ç¥ÁØ°ú ÀåºñÀç·á °³¹ß¿¡ ¾Õ¼­ ³ª°¡°í ÀÖ´Â »óÅ´Ù. ¹Ý¸é ¿ì¸®³ª¶ó´Â 450mm Ç¥ÁØÈ­ ÁÖµµ±Ç¿¡¼­ µÚÃÄÁø »óÅ´Ù. ±âÁ¸ 300§® ¿þÀÌÆÛ¿¡¼­ 450§®·Î ÀüȯÇÏ´Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀÀ» ÀûÀýÈ÷ ÇÏÁö ¸øÇ߱⠶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÌ´ë·Î°¡¸é 300mm Ç¥ÁØÈ­¿¡ ¹Ì¸® ´ëÀÀÇÏÁö ¸øÇØ ¹Ì±¹¤ýÀϺ» Àåºñ±â¾÷¿¡ ²ø·Á´Ù´Ñ °ú°ÅÀÇ ¾ÆÇ °æÇèÀ» µÇÇ®ÀÌ ÇÒ °ø»êÀÌ Å©´Ù.

¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ »çÀÌÁî´Â Åë»ó 10³â ÁÖ±â·Î Ä¿Áö´Â °æÇâÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãß¼¼¸¦ °¨¾ÈÇϸé 2013³âºÎÅÍ 450§® ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ½Ã´ë°¡ µµ·¡ÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù. 450mm ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀç·á ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â ÇÑÇØ 700¾ï´Þ·¯ ÀÌ»ó¿¡ ´ÞÇÒ Á¤µµ·Î ¾öû³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷°è°¡ 450mm ¹ÝµµÃ¼ °³¹ßÀ» ´ÊÃç¼­´Â ¾ÈµÇ´Â ÀÌÀ¯À̱⵵ ÇÏ´Ù.

Â÷¼¼´ë 450mm ¹ÝµµÃ¼ Ç¥ÁØÀ» ÁÖµµÇϱâ À§ÇØ Å×½ºÆ®ÆÕ ¼³¸³Àº ÇʼöÀûÀ̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹Ì±¹°ú ÀϺ» µî ¼±Áø±¹µéÀÌ 450mm Å×½ºÆ®ÆÕ À¯Ä¡ÀüÀ» Ä¡¿­ÇÏ°Ô Àü°³ÇØ ¿Â °Íµµ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Ç¥ÁØ°ú ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇϱâ À§Çؼ­´Ù. ƯÈ÷ ¹Ì±¹ÀÇ °æ¿ì ¼¼¸¶ÅØÀ» ÅëÇØ ÀÌ¹Ì 450§® ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ Ç¥ÁØÈ­¸¦ ¸¶Ä£ »óÅ´Ù. ¿ì¸®³ª¶ó´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÎÅÚ¤ýTSMC µî°ú ÇÔ²² 450mm Ç¥ÁØ °³¹ß¿¡ Âü¿©ÇÏ°í ÀÖ´Â Á¤µµ´Ù. ¿ÃÇغÎÅÍ 450§® ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ´ëÀÀ¿¡ ³ª¼­°í ÀÖÁö¸¸ ÁöÁöºÎÁøÇÑ ¸ð½ÀÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖ´Â °Ô ¿ì¸®ÀÇ Çö½ÇÀÌ´Ù. Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡ ´ëÇÑ Á¤ºÎ¿Í »ê¾÷°èÀÇ ÅõÀÚ ÇÕÀǵµ Á¦´ë·Î ÀÌ·ïÁöÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù. ´ë¸¸ÀÌ Á¤ºÎ¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸°³¹ß(R&D)¿¡ ¸·´ëÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàÇÏ´Â ¸ð½À°ú´Â ´ëÁ¶ÀûÀÌ´Ù.

Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ R&D°¡ Á¦´ë·Î ÁøÇàµÇÁö ¾ÊÀ¸¸é 450§® Àåºñ½ÃÀåÀÌ È°¼ºÈ­µÆÀ» ¶§ ¹®Á¦°¡ »ý±æ ¼ö ÀÖ´Ù. ±â¼ú·ÂÀ» ±Øº¹ÇÏÁö ¸øÇØ µµÅµǴ Àåºñ±â¾÷µéÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. µû¶ó¼­ Á¤ºÎ¿Í »ê¾÷°è´Â 450§® ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ R&D¿Í Ç¥ÁØ¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀÀ» ¼ÒȦÈ÷ Çؼ­´Â ¾ÈµÈ´Ù. 450mm ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Ç¥ÁØ °æÀï¿¡¼­ ¹Ð¸®¸é °ü·Ã ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀç·á °æÀï·Â ¶³¾îÁö¸é¼­ ½ÃÀåÀ» ¼±Á¡ÇÒ ¼ö ¾ø°Ô µÈ´Ù. ¶ÇÇÑ 450mm ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡¼­ ±â¼úÁ¾¼Ó±¹À¸·Î Àü¶ôÇÏ´Â °ÍÀº ¹°·Ð °ü·Ã ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀç·á¸¦ ÇؿܼöÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾øÀ» °ÍÀÌ´Ù.