반도체 제조공정의 핵심인 전공정 장비에는 다양한 핵심부품이 필요합니다. RF제너레이터도 일본에 대한 수입 의존도가 높은 대표적인 핵심부품 중 하나입니다.
RF제너레이터는 반도체 제조공정 중 플라즈마화학증착(PECVD), 스퍼터링, 드라이 에칭 과정에서 반응을 활발히 일으키기 위해 가스에 전력을 가해 플라즈마 상태로 만들도록 돕는 고주파 전력 공급기입니다.
RF제너레이터는 반도체 전공정 장비의 프로세스 모듈 중 가장 큰 비중을 차지하는 핵심부품입니다. 특히 공정이 미세화할수록 플라즈마 에칭ㆍ증착기술이 요구되기 때문에 RF제너레이터의 필요성도 커지고 있습니다.
그러나 현재 국내에서는 외산 RF제너레이터의 대체율이 높지 않아 경쟁력있는 국산 핵심부품 육성에 대한 목소리가 높습니다.
RF제너레이터는 반도체 제조공정 중 플라즈마화학증착(PECVD), 스퍼터링, 드라이 에칭 과정에서 반응을 활발히 일으키기 위해 가스에 전력을 가해 플라즈마 상태로 만들도록 돕는 고주파 전력 공급기입니다.
RF제너레이터는 반도체 전공정 장비의 프로세스 모듈 중 가장 큰 비중을 차지하는 핵심부품입니다. 특히 공정이 미세화할수록 플라즈마 에칭ㆍ증착기술이 요구되기 때문에 RF제너레이터의 필요성도 커지고 있습니다.
그러나 현재 국내에서는 외산 RF제너레이터의 대체율이 높지 않아 경쟁력있는 국산 핵심부품 육성에 대한 목소리가 높습니다.
