µðÁöÅПÀÓ½º

 


[¿ÃÇظ¦ À̲ö ÆÄ¿öCEO](5);ȲöÁÖ ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ »çÀå

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
CVDÀåºñ ±¹»êÈ­ ÇؿܼöÃâ


`°í³­Àº À־ ÁÂÀýÀº ¾ø´Ù.'

¹ÝµµÃ¼ ¹× TFT LCD¿ë Àü°øÁ¤ ÇÙ½ÉÀåºñÀÎ È­Çбâ»óÁõÂø(CVD) Àåºñ ¾÷üÀÎ ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ȲöÁÖ »çÀå¿¡°Ô ÀûÇÕÇÑ ¸»ÀÌ´Ù.

ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº ¹ÝµµÃ¼¿ë CVD ¸ÅÃâ ±Þ°¨À̶ó´Â °í³­¿¡µµ ÁÂÀýÇÏÁö ¾Ê°í TFT LCD¿ë CVD¸¦ µé°í ÇؿܽÃÀå¿¡ ³ª°¡ ¿ÃÇØ Å« ¼º°ú¸¦ ¿Ã·È´Ù. ±× Á߽ɿ¡ ¼± Ȳ »çÀåÀº 1³â Áß Àý¹Ý °¡·®À» ÇØ¿Ü¿¡¼­ È°µ¿ÇÒ Á¤µµ·Î È°¹ßÇÑ ÆÇ·Î °³Ã´¿¡ ³ª¼­ ¿ÃÇØ 800¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ Àåºñ ³³Ç° °è¾àÀ» ¸Î¾ú´Ù.

ÀÌ´Â Áö³­ÇØ ÃÑ ¼öÁÖ¾× 300¾ï¿øÀÇ 2.5¹è°¡ ³Ñ´Â ±Ô¸ð·Î, ÀÌ °¡¿îµ¥ Àý¹ÝÀ» ÈξÀ ³Ñ´Â ±Ô¸ð°¡ Ȳ »çÀåÀÌ ¹ß·Î ¶Ù¾î´Ù´Ñ ÇØ¿Ü ¼öÃâÀ» ÅëÇØ Àϱų´ٴ Ãø¸é¿¡¼­ ³ôÀÌ Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù.

Ȳ »çÀåÀº ¿ÃÇØ ¹Ì±¹¤ý´ë¸¸¤ýÀϺ»¤ýÀ¯·´ µî Àü ¼¼°è¸¦ µ¹¸ç `Çѱ¹ÀÇ ÀÛÀº ±â¾÷' ÁÖ¼ºÀÌ ¸¸µç `¼¼°èÀûÀÎ CVD' ÆǸſ¡ ¿­À» ¿Ã·È´Ù.

¹Ì±¹ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Ð¤ýIBM¤ýÀÎÅÚ, ÀϺ»ÀÇ µµ½Ã¹Ù¤ýNEC, À¯·´ÀÇ ÀÎÇǴϿ¤ýST¸¶ÀÌÅ©·ÎÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º, ´ë¸¸ÀÇ Ä¡¸ÞÀÌ¿ÉÆ®·Î´Ð½º µî ¼¼°è À¯¼ö ±â¾÷µéÀÇ ¹®ÅÎÀÌ ´âµµ·Ï ÂѾƴٴϸ鼭 ÇØ¿Ü ÆǷθ¦ °³Ã´Çß°í, ±× ¼º°ú°¡ °¡½ÃÈ­µÇ°í ÀÖ´Ù.

ÀϺ»°ú ¹Ì±¹ÀÇ ÁÖ¿ä Àåºñ¾÷üµéÀÇ ¾Æ¼º¿¡ µµÀü, ¶§·Î´Â °Å´ëÇÑ ¼±¹ß»ç¾÷ÀÚÀÇ À庮¿¡ °¡·Î¸·Çô ÀüÁøÀÌ ½±Áö ¾Ê¾ÒÁö¸¸ ÀÌ¿¡ ±¼ÇÏÁö ¾Ê°í °æÀïÀÚµé°úÀÇ Ä¡¿­ÇÑ °æÇÕÀ» ÅëÇØ ÇÑ °Ç ÇÑ °Ç ¼öÁֱԸ𸦠´Ã·Á³ª°¡°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ·± ÁÖ¼º¿¡ °í³­ÀÌ ¾ø¾ú´ø °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿ë CVDÀÇ ¸ÅÃâ °¨¼Ò¸¦ ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ÁÖ¼ºÀº 4¼¼´ë TFT LCD¿ë CVD¸¦ ±¹»êÈ­ÇßÀ¸³ª, ÀÌ¹Ì LCD Æгξ÷üµéÀÇ 4¼¼´ë ÅõÀÚ°¡ ³¡³ª Àåºñ¸¦ ÆÈÁöµµ ¸øÇÏ°í ¿µ¾÷À» Á¢¾î¾ß Çß´ø Àϵµ ÀÖ¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ Ȳ »çÀåÀº ÀÌ¿¡ ÁÂÀýÇÏÁö ¾Ê°í 4¼¼´ë Àåºñ °³¹ßÀÇ ³ëÇϿ츦 ±â¹ÝÀ¸·Î 5¼¼´ë Àåºñ°³¹ß¿¡ ³ª¼¹°í, ¿ÃÇØ ±× °á½ÇÀ» ¸Î¾ú´Ù.

°æÀï»ç¾÷ÀÚµéÀÇ °ßÁ¦¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ´ë¸¸ÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ TFT LCD ¾÷üÀÎ Ä¡¸ÞÀÌ¿¡ 5¼¼´ë TFT LCD¿ë CVD 5´ë(¾à 500¾ï¿ø ±Ô¸ð)¸¦ ÆǸÅÇß°í, ±¹³» LGÇʸ³½ºLCD¿¡µµ ¿ÃÇØ Ãß°¡·Î 3´ë(¾à 300¾ï¿ø ±Ô¸ð)ÀÇ CVD ³³Ç° °è¾àÀ» µû³»´Â µî °³°¡¸¦ ¿Ã·È´Ù.

Ä¡¹Ð¼º°ú °ú°¨¼ºÀ» °âºñÇÑ È² »çÀåÀÌ ¿ÃÇØ¿¡ ÀÌ¾î ³»³â¿¡µµ ±¹»ê ¹ÝµµÃ¼¤ýTFT LCD ÀåºñÀÇ ¼¼°èÈ­¿¡ ¼º°øÇÒÁö ±ÍÃß°¡ ÁÖ¸ñµÈ´Ù.