µðÁöÅПÀÓ½º

 


ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ, ¹ÝµµÃ¼¤ýžçÀüÁö µî 3´ëÀåºñ `½ÇÀû ÄèÁ¶`

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
¡á ¹ÝµµÃ¼Àåºñ¤ýÆÕ¸®½º

¹ÝµµÃ¼¤ýµð½ºÇ÷¹À̤ýžçÀüÁö¿ë Á¦Á¶Àåºñ ¾÷üÀÎ ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ(´ëÇ¥ ȲöÁÖ)Àº Áö³­ÇØ ¸ÅÃâ 1700¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 144¾ï¿ø, ¼øÀÌÀÍ 20¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇϸç Àü³â´ëºñ ÈæÀÚ ÀüȯÇϴµ¥ ¼º°øÇß´Ù. ¸ÅÃâÀº Àü³â´ëºñ 11.8% Áõ°¡Çß°í, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ¹«·Á 178.8%³ª ´Ã¾ú´Ù.

Áö³­ÇØ ´ëºÎºÐ Àåºñ ¾÷üµéÀÌ ¸¶À̳ʽº ¼ºÀåÇÑ µ¥ ¹ÝÇØ È¸»ç°¡ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´ø °ÍÀº ¹ÝµµÃ¼¤ýµð½ºÇ÷¹À̤ýžçÀüÁö µî 3´ë Àåºñ »ç¾÷ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¿¡¼­ °í¸¥ ¼º°ú¸¦ °Åµ×±â ¶§¹®. ƯÈ÷ žçÀüÁö Á¦Á¶Àåºñ·Î¸¸ Áö³­ÇØ Àüü ¸ÅÃâÀÇ 40%¿¡ °¡±î¿î ½ÇÀûÀ» ¿Ã¸®¸é¼­ »õ·Î¿î ¼ºÀå±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù. ¿ÃÇش žçÀüÁö Àåºñ ¿Ü¿¡ ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼³ºñÅõÀÚ°¡ ´ëÆø ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÅ ÁÖ¼ºÀÇ ¿ÃÇØ ½ÇÀûÀº ÄèÁ¶¸¦ º¸ÀÏ Àü¸ÁÀÌ´Ù.


ȸ»ç´Â Áö³­ÇØ Å¾çÀüÁö ¸ÅÃâÀÇ 99% ÀÌ»óÀ» ÇØ¿Ü¿¡¼­ °ÅµÖµé¿´´Ù. ¿ÃÇصµ Áß±¹°ú ºÏ¹Ì, À¯·´, µ¿³²¾Æ Áö¿ªÀ¸·Î ¹Ú¸·Çü°ú °áÁ¤Çü žçÀüÁö Á¦Á¶Àåºñ ÅÏÅ° °ø±Þ»ç¾÷¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇØ ¸ÅÃâÀ» Å©°Ô ´Ã¸°´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. ƯÈ÷ ¾÷°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÎ ´ÜÁ¢ÇÕ 7.56%, ÀÌÁßÁ¢ÇÕ 10.2%ÀÇ ±¤º¯È¯ È¿À²°ú ³·Àº Á¦Á¶ºñ¿ëÀ¸·Î ³ôÀº È¿À²ÀÇ ¹Ú¸· žçÀüÁö¸¦ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °­Á¡À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¿ÃÇØ ¼¼°è ½ÃÀå 2Á¶¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â ¹Ú¸·ÀüÁö ºÐ¾ß¿¡¼­ È®½ÇÇÑ ÀÔÁö¸¦ ´ÙÁö°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥´Ù.
µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ß´Â ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ LCD¿ë ÇöóÁȭÇÐÁõÂøÀåÄ¡(PECVD)ÀÇ Áö¼ÓÀû ¿¬±¸¤ý°³¹ßÀ» ÅëÇØ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 8¼¼´ë Àåºñ¸¦ º¸À¯, ±¹³»¿Ü ¼³ºñÅõÀڽà ¼öÁÖ¿Í Á¡À¯À² È®´ë¸¦ ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼± ´ëÇ¥ ÀåºñÀÎ ¿øÀÚÃþÁõÂøÀåÄ¡(ALD)°¡ ±¹³»´Â ¹°·Ð ÇØ¿Ü¿¡¼­µµ ±× Ç°ÁúÀ» ÀÎÁ¤¹Þ°í ÀÖ¾î ¿ÃÇØ ÆǸŠÁõ°¡¸¦ ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àü¹æ »ê¾÷ÀÇ ÅõÀÚ °³¼±°ú ¸Þ¸ð¸® °¡°Ý »ó½Â¿¡ ÈûÀÔ¾î ¿ÃÇØ ÁÖ¿ä °í°´»çÀÇ ¼³ºñÅõÀÚ¿¡ µû¸¥ ¼öÁÖ°¡ ±â´ëµÇ¸ç, ºñ D·¥ °í°´»ç¿¡ ½ÅÁ¦Ç°ÀÎ UHV CVD Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â µî Á¦Ç° ´Ùº¯È­µµ ÀÌ·ï³½´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² °ø°ÝÀû ¼³ºñÅõÀÚ°¡ ÁøÇàµÇ´Â LED ºÎ¹® ÇÙ½É ÀåºñÀÎ À¯±â±Ý¼Ó È­ÇÐÁõÂøÀåºñ(GaN MOCVD)°¡ Á¤ºÎÀÇ `°íÇ°Áú ¹è»ö LED ¾ç»ê¿ë Àåºñ °³¹ß»ç¾÷' °úÁ¦¿¡ ¼±Á¤µÈ ÀÌÈÄ Áö³­ 1¿ù ¾ç»ê Æò°¡ Àåºñ¸¦ ¿¡Çǹ븮¿¡ °ø±ÞÇÏ¸ç ¼º°øÀûÀ¸·Î ÁøÃâÇß´Ù. ȸ»ç´Â ±Þ¼ºÀåÇÏ´Â LED Àåºñ ºÐ¾ß¸¦ ¹Ì·¡¼ºÀ嵿·ÂÀ¸·Î À°¼ºÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.