¿Ã ÀüÀÚȸ·Î¼³°è ¾÷°è ÃÖ´ëȵδ¡¦
90³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)±Þ Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê ¹× ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ °ü°ÇÀÌ µÇ´Â `Á¦Á¶°øÁ¤À» °í·ÁÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°èȯ°æ`À» ¶æÇÏ´Â À̸¥¹Ù DFM(Design for Manufacurability)ÀÌ ¿ÃÇØ ÀüÀÚȸ·Î¼³°è(EDA)¾÷°èÀÇ ÃÖ´ë Çö¾ÈÀÌ µÇ°í ÀÖ´Ù.
4ÀÏ °ü·Ã¾÷°è ¹× ¿Ü½Å¿¡ µû¸£¸é ÄÉÀÌ´ø½º, ¸àÅä, ½Ã³ô½Ã½º µî ÁÖ¿ä ¿Ü±¹°è EDA¾÷üµéÀº ¿ÃÇØ ±×µ¿¾È 90³ª³ë ÀÌÇÏÀÇ ¹Ì¼¼ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¿¡ ÃÖ´ë °É¸²µ¹ÀÌ´ø DFM ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϴµ¥ ±â¼ú¿ª·®À» ÁýÁßÇÒ ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼´Â EDAÅøÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¼³°è¸¦ °ÅÃÄ Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Á¦Á¶°úÁ¤À» °ÅÃÄ ¸¸µé¾îÁø´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¼±ÆøÀÌ 0.18§±îÁö´Â ¼³°èÀÚµéÀÌ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ½Å°æ¾²Áö ¾Ê°í ÁÖ¾îÁø EDAÅø·Î ¼³°è¸¦ Çϸé À̸¦ ±×´ë·Î °øÁ¤¿¡ Àû¿ë, Á¦Á¶ÇÏ¸é µÆ´Ù.
±×·¯³ª ȸ·Î¼±ÆøÀÌ 0.18§¿¡¼ 0.13§À¸·Î ³Ñ¾î°¡¸é¼ ÃÖÁ¾ ¼³°è °ËÁõÀ» ¸¶Ä¡°í ³Ñ±ä ¼³°è¹°µµ Àϼ± °øÁ¤ ¶óÀο¡¼´Â ¿À·ù°¡ ¹ß»ýÇÏ´Â Çö»óÀÌ ºó¹øÇØÁ³´Ù. ÃÖÁ¾ ¼³°è°ËÁõÀ» ¸¶Ä¡°íµµ Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â ÀÌ·¯ÇÑ ¿À·ù¸¦ À̸¥¹Ù ¼³°è °ÝÂ÷(Design Gap)¶ó°í Çϸç À̸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î DFMÀÌ ´ëµÎµÆ´Ù.
±×µ¿¾È ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ȸ»çµéÀÌ 90³ª³ë °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß¿¡ Âø¼öÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÏ°íµµ ¾ç»êÀÌ »ý°¢º¸´Ù »¡¸® ÁøÃ´µÇÁö ¾Ê´Â ÀÌÀ¯µµ °øÁ¤À» µû¶óÁÖÁö ¸øÇÏ´Â EDAÅø¿¡ ¿øÀÎÀÌ ÀÖ´Ù´Â ¸ñ¼Ò¸®°¡ ³ô¾Ò´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó Áö³ÇغÎÅÍ º»°ÝÀûÀÎ DFM ±â¼ú°³¹ß¿¡ ÁÖ·ÂÇØ ¿Â ÁÖ¿ä EDA¾÷üµéÀº ¿ÃÇØºÎÅÍ °ü·Ã ½ÅÁ¦Ç°À» ´ë°Å ¹ßÇ¥ÇÏ´Â ÇÑÆí, DFMÀÌ ±¸¸Å°¡ ÁÙ¾îµé´ø EDA¾÷üÀÇ »õ¹Ù¶÷À» ºÒ·¯ÀÏÀ¸Å³ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù.
DFMÅø °³¹ßÀ» À§ÇØ ¾Æ¹ÝƼ¸¦ ÀμöÇß´ø ½Ã³ô½Ã½º´Â Áö³ 12¿ù IBM ¶óÀο¡¼`Ŭ¶ó¿ìĪ ŸÀ̰Å'¶ó´Â ½ÅÁ¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ Å×½ºÆ®¿¡ µé¾î°¬´Ù.
¸àÅä ±×·¡ÇȽº´Â ±âÁ¸ °ËÁõ EDAÅø·Î ÀÌ»ó ¾øÀÌ ³Ñ±ä ¼³°è¹°ÀÌ °øÁ¤¿¡¼ ¹®Á¦¸¦ ÀÏÀ¸Å°´Â Á¡À» ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ÀÏÁ¾ÀÇ º¸¿ÏÅøÀÎ OPC(optical-proximity-correction)Á¦Ç°±º¿¡ ÁÖ·ÂÇÒ ¹æÄ§ÀÌ´Ù. OPCÅøÀº ºñ¿ëÀ» ¸¹ÀÌ µéÀÌÁö ¾Ê°íµµ 90§¬±Þ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÇ ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Á¡À» ³»¼¼¿î´Ù´Â °Ô ¸àÅäÀÇ Àü·«ÀÌ´Ù.
ÀÌ °°Àº ¾÷°è Ãß¼¼¿¡ ´ëÇØ¼ ÄÉÀÌ´ø½º º»»ç °ü°èÀÚ´Â "±×Àü±îÁö¸¸ ÇØµµ ȸ·Î¼±ÆøÀº 90§¬ ÀÌÇÏ·Î , ¹ÝµµÃ¼ ÀÚü´Â ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ ·ÎÁ÷, ¸Þ¸ð¸®, ÇÁ·Î¼¼¼°¡ ÁýÀûµÇ´Â ½Ã½ºÅÛ¿ÂĨ(SoC)À¸·Î ³ª¾Æ°¨¿¡ µû¶ó EDA¾÷°è´Â Á¦Á¶°øÁ¤À» ½Å°æ¾²Áö ¾ÊÀ» ¼ö ¾ø°Ô µÆ´Ù"¸ç "ÃÖ±Ù EDAÅø °³¹ßÁø¿¡ °øÁ¤ Àü¹®°¡¸¦ ´ë°Å Æ÷Áø½ÃÄÑ DFM¿¡ ´ëºñÇϰí ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí Áö³ÇØ ÇϹݱâºÎÅÍ 0.13§ ½Å±Ô Åø ±¸¸Å¿¡ Âø¼öÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌµé ¾÷üÀÇ ½ÅÁ¦Ç°¿¡ ¾î¶² ¹ÝÀÀÀ» º¸ÀÏÁö ±¹³» EDA ¿µ¾÷°ü°èÀÚµéÀÌ ÁÖ¸ñÇϰí ÀÖ´Ù.
90³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)±Þ Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê ¹× ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ °ü°ÇÀÌ µÇ´Â `Á¦Á¶°øÁ¤À» °í·ÁÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°èȯ°æ`À» ¶æÇÏ´Â À̸¥¹Ù DFM(Design for Manufacurability)ÀÌ ¿ÃÇØ ÀüÀÚȸ·Î¼³°è(EDA)¾÷°èÀÇ ÃÖ´ë Çö¾ÈÀÌ µÇ°í ÀÖ´Ù.
4ÀÏ °ü·Ã¾÷°è ¹× ¿Ü½Å¿¡ µû¸£¸é ÄÉÀÌ´ø½º, ¸àÅä, ½Ã³ô½Ã½º µî ÁÖ¿ä ¿Ü±¹°è EDA¾÷üµéÀº ¿ÃÇØ ±×µ¿¾È 90³ª³ë ÀÌÇÏÀÇ ¹Ì¼¼ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¿¡ ÃÖ´ë °É¸²µ¹ÀÌ´ø DFM ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϴµ¥ ±â¼ú¿ª·®À» ÁýÁßÇÒ ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼´Â EDAÅøÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¼³°è¸¦ °ÅÃÄ Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Á¦Á¶°úÁ¤À» °ÅÃÄ ¸¸µé¾îÁø´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¼±ÆøÀÌ 0.18§±îÁö´Â ¼³°èÀÚµéÀÌ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ½Å°æ¾²Áö ¾Ê°í ÁÖ¾îÁø EDAÅø·Î ¼³°è¸¦ Çϸé À̸¦ ±×´ë·Î °øÁ¤¿¡ Àû¿ë, Á¦Á¶ÇÏ¸é µÆ´Ù.
±×·¯³ª ȸ·Î¼±ÆøÀÌ 0.18§¿¡¼ 0.13§À¸·Î ³Ñ¾î°¡¸é¼ ÃÖÁ¾ ¼³°è °ËÁõÀ» ¸¶Ä¡°í ³Ñ±ä ¼³°è¹°µµ Àϼ± °øÁ¤ ¶óÀο¡¼´Â ¿À·ù°¡ ¹ß»ýÇÏ´Â Çö»óÀÌ ºó¹øÇØÁ³´Ù. ÃÖÁ¾ ¼³°è°ËÁõÀ» ¸¶Ä¡°íµµ Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â ÀÌ·¯ÇÑ ¿À·ù¸¦ À̸¥¹Ù ¼³°è °ÝÂ÷(Design Gap)¶ó°í Çϸç À̸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î DFMÀÌ ´ëµÎµÆ´Ù.
±×µ¿¾È ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ȸ»çµéÀÌ 90³ª³ë °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß¿¡ Âø¼öÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÏ°íµµ ¾ç»êÀÌ »ý°¢º¸´Ù »¡¸® ÁøÃ´µÇÁö ¾Ê´Â ÀÌÀ¯µµ °øÁ¤À» µû¶óÁÖÁö ¸øÇÏ´Â EDAÅø¿¡ ¿øÀÎÀÌ ÀÖ´Ù´Â ¸ñ¼Ò¸®°¡ ³ô¾Ò´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó Áö³ÇغÎÅÍ º»°ÝÀûÀÎ DFM ±â¼ú°³¹ß¿¡ ÁÖ·ÂÇØ ¿Â ÁÖ¿ä EDA¾÷üµéÀº ¿ÃÇØºÎÅÍ °ü·Ã ½ÅÁ¦Ç°À» ´ë°Å ¹ßÇ¥ÇÏ´Â ÇÑÆí, DFMÀÌ ±¸¸Å°¡ ÁÙ¾îµé´ø EDA¾÷üÀÇ »õ¹Ù¶÷À» ºÒ·¯ÀÏÀ¸Å³ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù.
DFMÅø °³¹ßÀ» À§ÇØ ¾Æ¹ÝƼ¸¦ ÀμöÇß´ø ½Ã³ô½Ã½º´Â Áö³ 12¿ù IBM ¶óÀο¡¼`Ŭ¶ó¿ìĪ ŸÀ̰Å'¶ó´Â ½ÅÁ¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ Å×½ºÆ®¿¡ µé¾î°¬´Ù.
¸àÅä ±×·¡ÇȽº´Â ±âÁ¸ °ËÁõ EDAÅø·Î ÀÌ»ó ¾øÀÌ ³Ñ±ä ¼³°è¹°ÀÌ °øÁ¤¿¡¼ ¹®Á¦¸¦ ÀÏÀ¸Å°´Â Á¡À» ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ÀÏÁ¾ÀÇ º¸¿ÏÅøÀÎ OPC(optical-proximity-correction)Á¦Ç°±º¿¡ ÁÖ·ÂÇÒ ¹æÄ§ÀÌ´Ù. OPCÅøÀº ºñ¿ëÀ» ¸¹ÀÌ µéÀÌÁö ¾Ê°íµµ 90§¬±Þ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÇ ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Á¡À» ³»¼¼¿î´Ù´Â °Ô ¸àÅäÀÇ Àü·«ÀÌ´Ù.
ÀÌ °°Àº ¾÷°è Ãß¼¼¿¡ ´ëÇØ¼ ÄÉÀÌ´ø½º º»»ç °ü°èÀÚ´Â "±×Àü±îÁö¸¸ ÇØµµ ȸ·Î¼±ÆøÀº 90§¬ ÀÌÇÏ·Î , ¹ÝµµÃ¼ ÀÚü´Â ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ ·ÎÁ÷, ¸Þ¸ð¸®, ÇÁ·Î¼¼¼°¡ ÁýÀûµÇ´Â ½Ã½ºÅÛ¿ÂĨ(SoC)À¸·Î ³ª¾Æ°¨¿¡ µû¶ó EDA¾÷°è´Â Á¦Á¶°øÁ¤À» ½Å°æ¾²Áö ¾ÊÀ» ¼ö ¾ø°Ô µÆ´Ù"¸ç "ÃÖ±Ù EDAÅø °³¹ßÁø¿¡ °øÁ¤ Àü¹®°¡¸¦ ´ë°Å Æ÷Áø½ÃÄÑ DFM¿¡ ´ëºñÇϰí ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí Áö³ÇØ ÇϹݱâºÎÅÍ 0.13§ ½Å±Ô Åø ±¸¸Å¿¡ Âø¼öÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌµé ¾÷üÀÇ ½ÅÁ¦Ç°¿¡ ¾î¶² ¹ÝÀÀÀ» º¸ÀÏÁö ±¹³» EDA ¿µ¾÷°ü°èÀÚµéÀÌ ÁÖ¸ñÇϰí ÀÖ´Ù.