방사광가속기 극자외선 이용
포스텍 포항가속기연구소(PAL, 소장 이문호)는 황찬국 박사팀이 포항방사광가속기의 극자외선을 이용, 반도체 나노패턴 기술을 개발했다고 29일 밝혔다.
이번 연구결과는 미국화학회가 발간하는 나노분야 학술지 `ACS 나노(ACS Nano)' 9월호에 게재됐다.
황찬국(사진) 박사팀은 펜타센 분자가 극자외선에 의해 상호결합이 일어난다는 사실을 확인하고, 이를 이용해 나노미터 수준에서 높이와 폭을 조절할 수 있는 30㎚(나노미터:10억분의 1 m)급 분자 패터닝에 성공했다. 펜타센은 벤젠분자 5개가 붙어있는 방향족 고리화합물로, 차세대 유기반도체용 소재로 각광받고 있다.
현재 반도체 미세 패턴 제작에는 주로 폴리머와, 화학적 자기조립법을 이용한 분자막이 이용되는데, 열적 안정성이 떨어지고 불순물 등으로 인해 전기적 오류가 발생하는 문제가 있다.
이번에 개발된 펜타센 나노패턴 기술은 진공상태에서 성장된 펜타센 분자막을 사용함으로써 보다 깨끗하고 안정성이 크며, 잔류물이 거의 없어 친환경적이라는 게 연구진의 설명이다. 또 미세패턴의 폭과 너비를 조절할 수 있어 10㎚까지 세밀하게 제작할 수 있다.
연구소 측은 "이번 연구결과는 향후 메모리, 태양전지, 광학장치, 센서 등 각종 디바이스의 집적도와 효율을 높이는데 응용될 수 있을 것"이라고 밝혔다.
안경애기자 naturean@
이번 연구결과는 미국화학회가 발간하는 나노분야 학술지 `ACS 나노(ACS Nano)' 9월호에 게재됐다.
황찬국(사진) 박사팀은 펜타센 분자가 극자외선에 의해 상호결합이 일어난다는 사실을 확인하고, 이를 이용해 나노미터 수준에서 높이와 폭을 조절할 수 있는 30㎚(나노미터:10억분의 1 m)급 분자 패터닝에 성공했다. 펜타센은 벤젠분자 5개가 붙어있는 방향족 고리화합물로, 차세대 유기반도체용 소재로 각광받고 있다.
현재 반도체 미세 패턴 제작에는 주로 폴리머와, 화학적 자기조립법을 이용한 분자막이 이용되는데, 열적 안정성이 떨어지고 불순물 등으로 인해 전기적 오류가 발생하는 문제가 있다.
이번에 개발된 펜타센 나노패턴 기술은 진공상태에서 성장된 펜타센 분자막을 사용함으로써 보다 깨끗하고 안정성이 크며, 잔류물이 거의 없어 친환경적이라는 게 연구진의 설명이다. 또 미세패턴의 폭과 너비를 조절할 수 있어 10㎚까지 세밀하게 제작할 수 있다.
연구소 측은 "이번 연구결과는 향후 메모리, 태양전지, 광학장치, 센서 등 각종 디바이스의 집적도와 효율을 높이는데 응용될 수 있을 것"이라고 밝혔다.
안경애기자 naturean@
