KLA, ¹ÝµµÃ¼ Ĩ ¼öÀ² ¹× ½Å·Ú¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ ÀÚµ¿Â÷¿ë ½ÅÁ¦Ç° Æ÷Æ®Æú¸®¿À Ãâ½Ã
ÀÔ·Â: 2021-06-24 14:15
°í½Â¹Î ±âÀÚ
»õ·Î¿î °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ°ú Çõ½ÅÀûÀÎ ÀζóÀÎ ¼±º° ¼Ö·ç¼Ç, ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀÇ Ç°Áú Çâ»ó¿¡ ±â¿©
ÇöÀç ÀÚµ¿Â÷ ¾÷°è´Â Àü±âÂ÷(EV), ¿¬°á¼º, ÷´Ü ¿îÀüÀÚ Áö¿ø(ADAS) ¹× ÀÚÀ² ÁÖÇà Çõ½Å¿¡ ÁßÁ¡À» µÎ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â Â÷·®¿¡ ´õ ¸¹Àº ÀüÀÚ ÀåÄ¡°¡ ÇÊ¿äÇÏ¸ç ±×¸¸Å ¹ÝµµÃ¼ Ĩ ¼ö¿ä°¡ ´Ã¾î³´Ù´Â °ÍÀ» ¶æÇÑ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ĨÀº Â÷·® ¿î¿ë ¹× ¾ÈÀü°ú °ü·ÃÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ßÀÇ ÇÙ½ÉÀ̱⠶§¹®¿¡ ½Å·Ú¼ºÀÌ Áß¿äÇϸç ÀÚµ¿Â÷ ¹ÝµµÃ¼ ĨÀº ¹Ýµå½Ã ¾ö°ÝÇÑ Ç°Áú Ç¥ÁØÀ» ÃæÁ·ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
À̹ø¿¡ ¹ßÇ¥ÇÑ 4Á¾ÀÇ ½ÅÁ¦Ç° Áß ¼¼ °¡Áö °Ë»çÀåºñ´Â ÀÚµ¿Â÷ »ê¾÷ÀÇ ´õ Å« ¼³°è ³ëµå ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ º¸¿ÏÀûÀÎ °áÇÔ °ËÃâ, ¸ð´ÏÅ͸µ ¹× Á¦¾î ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. Surfscan SP A2/A3 ºñÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç±â´Â DUV(½ÉÀڿܼ±, Deep Ultra Violet) ±¤ÇÐ ¹× °í±Þ ¾Ë°í¸®ÁòÀ» ÅëÇÕÇÏ¿© ÀÚµ¿Â÷ ¹ÝµµÃ¼ ĨÀÇ ½Å·Ú¼º ¹®Á¦¸¦ ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤ °áÇÔÀ» ½Äº°ÇÏ°í °øÁ¤ ¼³ºñµéÀÌ ÃÖ°í ¼º´ÉÀ¸·Î ÀÛµ¿Çϴµ¥ ÇÊ¿äÇÑ °¨µµ¿Í ¼Óµµ¸¦ °®Ãß¾ú´Ù. C205 ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç±â´Â R&D ¹× ¾ç»ê °úÁ¤¿¡¼ ±¤´ë¿ª ÀԻ籤 ¹× NanoPoint¢â ±â¼úÀ» È°¿ëÇÏ¿© Áß´ë °áÇÔÀ» °í°¨µµ·Î ã¾Æ³»¼, »õ·Î¿î °øÁ¤ ¹× ¼ÒÀÚÀÇ ÃÖÀûȸ¦ ¾Õ´ç±ä´Ù. 8935ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç±â´Â ¾ç»ê °úÁ¤¿¡¼ »õ·Î¿î ±¤ÇÐ ±â¼ú°ú DefectWise¢ç ÀΰøÁö´É(AI) ¼Ö·ç¼ÇÀ» È°¿ëÇÏ¿© ³·Àº ¿À·ùÀ²·Î ´Ù¾çÇÑ Áß´ë °áÇÔÀ» °ËÃâÇÔÀ¸·Î½á ÃÖÁ¾ ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Ç°Áú¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ÀÌ»ó »óŸ¦ ºü¸£°í Á¤È®ÇÏ°Ô ½Äº°ÇÑ´Ù.
I-PAT´Â KLA °Ë»ç ¹× µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼® ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ ½ÇÇàµÇ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ÀζóÀÎ ¼±º° ¼Ö·ç¼ÇÀÌ´Ù. I-PAT´Â Áß¿ä °øÁ¤ ´Ü°è¿¡¼8935¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ °í¼Ó 8 ½Ã¸®Áî °Ë»ç±â ¶Ç´Â Puma¢â ·¹ÀÌÀú ½ºÄ³´× °Ë»ç±â·Î ¸ðµç ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ µ¥ÀÌÅ͸¦ ¼öÁýÇÏ°í °áÇÔ Æ¯¼ºÀ» ÃßÃâÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ½ÃÀÛÇÑ´Ù. ±× ÈÄ I-PAT´Â SPOT¢â »ý»ê Ç÷§ÆûÀÇ ¸ÂÃãÇü ±â°è ÇнÀ ¾Ë°í¸®Áò°ú Klarity¢ç °áÇÔ °ü¸® ½Ã½ºÅÛÀÇ Åë°è ºÐ¼® ±â´ÉÀ» È°¿ëÇÏ¿© ÀÌ»ó °áÇÔ±ºÀ» ½Äº°Çؼ ºÒ·® ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» °ø±Þ¸Á¿¡¼ Á¦°ÅÇÑ´Ù.
KLA´Â ÀÚµ¿Â÷ ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ¸ÂÃãÇü ½ÅÁ¦Ç° °³¹ß ¿Ü¿¡µµ ÀÚµ¿Â÷ ¾÷°è¿Í Áö¼ÓÀûÀÌ°í ±ä¹ÐÇÏ°Ô Çù·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÚµ¿Â÷¿ë ÀüÀÚ ºÎÇ° Ç°Áú ±âÁØÀ» Á¤ÇÏ´Â ´ÜüÀÎ ÀÚµ¿Â÷ ÀüÀÚ ºÎÇ° Çùȸ(AEC, Automotive Electronics Council)ÀÇ È¸¿ø»ç·Î °¡ÀÔÇÑ °ÍÀ» ºñ·ÔÇÏ¿©, ¹Ì±¹ ÀÚµ¿Â÷ »ê¾÷ÀÇ Áß½ÉÁöÀÎ ¹Ì½Ã°£ ÁÖ ¾Ø¾Æ¹ö¿¡ KLAÀÇ µÎ ¹ø° º»»ç¸¦ ¼³¸³ÇÏ´Â µî, KLA´Â ÀÚµ¿Â÷ »ê¾÷ÀÇ ¾ö°ÝÇÑ ÀüÀÚ Ç°Áú Ç¥ÁØÀ» ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇϱâ À§ÇØ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°í ÀÖ´Ù.
KLA EPC(Electronics, Packaging and Components) »ç¾÷ºÎ¸¦ ÃÑ°ýÇÏ´Â ¿À·¹½ºÅ×µ·Á©¶ó(Oreste Donzella) ÃÑ°ý ºÎ»çÀåÀº "À̹ø¿¡ ¼Ò°³ÇÑ ½ÅÁ¦Ç°Àº ÀÚµ¿Â÷ ÀüÀÚ Á¦Ç° »ýÅ°èÀÇ ¿©·¯ ºÎºÐÀ» Áö¿øÇÏ´Â ¿ì¸®ÀÇ °Ë»ç, °èÃø, µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼® ¹× °øÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀÇ ¹æ´ëÇÑ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¿¡ Æ÷ÇԵȴÙ"¸ç, "°¢ Á¦Ç°Àº ÀÚµ¿Â÷¿ë ÀüÀÚ Á¦Ç°À» ±¸¼ºÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Ĩ, ¼ÒÀÚ, Àμâȸ·Î±âÆÇ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿¡¼ ³ôÀº ¼öÀ²°ú ½Å·Ú¼º, ±×¸®°í Ź¿ùÇÑ ¼º´ÉÀ» º¸ÀåÇϴµ¥ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÁÖ¿ä ±â´É, ÀÀ¿ë ºÐ¾ß, ±×¸®°í ÀÚµ¿Â÷ ÀÌ¿Ü¿¡ Àû¿ë °¡´ÉÇÑ ½ÃÀå µî 8935, C205, Surfscan SP A2/A3 ¹× I-PAT¿¡ ´ëÇÑ º¸´Ù ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº Á¦Ç° ÆÑÆ® ½ÃÆ®¸¦ Âü°íÇϱ⠹ٶõ´Ù. ÀÌµé »õ·Î¿î ½Ã½ºÅÛÀº °í¼º´É°ú »ý»ê¼ºÀ» À¯ÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© KLAÀÇ ±Û·Î¹ú Á¾ÇÕ ¼ºñ½º ³×Æ®¿öÅ©ÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ´Â´Ù. KLAÀÇ ÀÚµ¿Â÷ Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ¼¼ÇÑ »çÇ×Àº KLA Advance ´º½º ·ë¿¡¼ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
°í½Â¹Î±âÀÚ ksm@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]