µðÁöÅПÀÓ½º

 


Àåºñ¾÷°è, Áß±¹¹ß µð½ºÇ÷¹ÀÌ¡¤¹ÝµµÃ¼ ÅõÀÚ ÈÆdz¿¡ ÇÔ¹Ú¿ôÀ½

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
ĪȭÀ¯´Ï ¹ÝµµÃ¼ 460¾ï´Þ·¯ ÅõÀÚ
À۳⠵ð½ºÇ÷¹ÀÌ º£Æà ÀÌÀº È£Àç
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ¡¤¿øÀÍIPS ¼öÇý ¿¹»ó
"ÇâÈÄ 2~3³â°£ ½ÇÀû »ó½Â ±â´ë"
Àåºñ¾÷°è, Áß±¹¹ß µð½ºÇ÷¹ÀÌ¡¤¹ÝµµÃ¼ ÅõÀÚ ÈÆdz¿¡ ÇÔ¹Ú¿ôÀ½

[µðÁöÅПÀÓ½º ±èÀº ±âÀÚ] ±¹³» Àåºñ¾÷°è°¡ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿¡ ÀÌ¾î ¹ÝµµÃ¼ Áß±¹¿¡¼­ ºÒ¾î¿À´Â 'Çϴ̹ٶ÷'¿¡ Á¤À¯³â »õÇØ¿¡µµ ¼øÇ×À» À̾ Àü¸ÁÀÌ´Ù. Áß±¹ÀÇ '´ë±¹±¼±â'¿¡ ±äÀåÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº, »ï¼ºµð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í LGµð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í´Â »ç¹µ ´Ù¸¥ óÁö´Ù.

15ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é Áß±¹¹ß µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÈÆdz¿¡ Áö³­ÇØ ¸ðó·³ 'ÇÔ¹Ú¿ôÀ½'À» ÁöÀº ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ¾÷üµéÀÌ ¿¬ÃÊ Áß±¹¿¡¼­ ³¯¾Æ¿Â È£Àç¿¡ ½ÇÀû »ó½Â ±â´ë°¨¿¡ ºÎÇ®¾î ÀÖ´Ù.

Áß±¹ ĪȭÀ¯´Ï±×·ìÀº Áö³­ 13ÀÏ Ã»µÎ¿Í ³­Â¡¿¡ 460¾ï´Þ·¯¸¦ ÅõÀÚÇØ ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀ» Áþ±â·Î ÇÏ°í ¿ÃÇØ ¾È¿¡ Âø°øÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ È¸»ç´Â Áö³­ÇØ ¸»ºÎÅÍ Áß±¹ ¿ìÇÑ¿¡ 240¾ï´Þ·¯¸¦ ÅõÀÔÇØ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ¼³¸³, ³»³â 1Â÷ »ý»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ĪȭÀ¯´Ï±×·ìÀº 3°÷ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀ» °Ç¼³Çϴµ¥ 700¾ï´Þ·¯¸¦ ÅõÀÔÇÑ´Ù. ÀÌµé °øÀå¿¡¼­´Â ÁýÀûȸ·Î(IC)¸¦ »ý»êÇÑ´Ù.

ÀÌ·± ĪȭÀÇ ´ë´ëÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ´Â »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¾÷ü¿¡´Â Å« À§ÇùÀÌÁö¸¸, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¾÷ü¿¡´Â È£Àç´Ù. ¾Õ¼­ Áö³­ÇØ µð½ºÇ÷¹ÀÌ Áß½ÉÀ¸·Î Áß±¹ ±â¾÷ÀÇ °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿¡ ³ª¼± ´ö¿¡ ±¹³» Àåºñ¾÷üµéÀÌ È¿°ú¸¦ ÅåÅåÈ÷ ºÃ´Ù. ´ë±Ô¸ð Àåºñ °ø±Þ°è¾àÀ» ÀÕ´Þ¾Æ Ã¼°áÇÏ°í Ãß°¡ Àåºñ °ø±Þ°è¾à±îÁö ÁÙÁÙÀÌ ÀâÇô ¿À·£ ºÎÁøÀ» ¹þ¾î³ª Áö³­ÇØ »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀûÀ» ±â·ÏÇÑ ¾÷ü°¡ ¼ÓÃâÇß´Ù.

¾÷°è´Â Áß±¹ÀÇ °æ¿ì ¹ÝµµÃ¼ °ø±ÞüÀο¡¼­ ´Ù¸¥ ºÎ¹®º¸´Ù Àåºñ ±â¼ú°æÀï·ÂÀÌ Å©°Ô ¶³¾îÁ® ±¹³» Àåºñ¾÷ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾øÀ» °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. À̹ø ÅõÀÚ °áÁ¤À¸·Î ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ°ú ¿øÀÍIPS µî ±â¼ú°æÀï·ÂÀÌ ³ôÀº Àåºñ¾÷üµéÀÇ ¼öÇý¸¦ ¿¹»óÇÑ´Ù.


ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº TSMC¸¦ ºñ·ÔÇØ UMC, À©º»µå, ÇÁ·Î¸ð½º, ÆÄ¿öĨ µî¿¡ ¿øÀÚÃþÁõÂøÀåºñ(ALD) µîÀ» ¼öÃâÇß´Ù.
¿øÀÍIPS´Â ÇöóÁ È­ÇÐÁõÂøÀåºñ(PE CVD) ºÐ¾ß¿¡¼­ µ¶º¸ÀûÀÎ °æÀï·ÂÀ» È®º¸Çß´Ù.

ƯÈ÷ Áß±¹ ÇöÁö¿Í ´ë¸¸¿¡ °ø±Þ ½ÇÀûÀ» º¸À¯Çϰųª ¼öÃâ°æÇèÀÌ ÀÖ´Â Àåºñ ¾÷üµéÀÇ °æ¿ì ´õ¿í À¯¸®ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù. ÀÌ¿ÀÅ×Å©´Ð½º´Â ÇöÀç Áß±¹ ¾¥Àú¿ì¿Í ÅÙÁø, ´ë¸¸¿¡ ¹ýÀÎÀ» ¼³¸³ÇØ Áß±¹ ½ÃÀå¿¡ ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù. Àü °øÁ¤À» ¸¶Ä£ ¹ÝµµÃ¼¿¡ ´ëÇÑ Á¶¸³¡¤°Ë»ç°¡ ÀÌ·ïÁö´Â ÈÄ°øÁ¤ ºÎ¹®¿¡¼­´Â Çѹ̹ݵµÃ¼°¡ Àý´ÜÀåºñ, À¯´ÏÅ×½ºÆ®¿Í Å×Å©À®ÀÌ °Ë»çÀåºñ¸¦ ¼öÁÖÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù.

¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "Áß±¹ ¾÷üµéÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ½Å±Ô ¼³ºñÅõÀÚ°¡ Áö³­ÇغÎÅÍ º»°ÝÈ­ÇÏ°í ÀÖ¾î ¾ÕÀ¸·Î 2~3³â µ¿¾ÈÀº ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷üµéÀÌ ÁÁÀº ½ÇÀûÀ» ³¾ ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

±èÀº±âÀÚ silverkim@dt.co.kr


[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]