한국세라믹기술원
대형 세라믹 부재에 유약 코팅
공정과정 파티클 35%이상 감소
대형 세라믹 부재에 유약 코팅
공정과정 파티클 35%이상 감소
한국세라믹기술원 제공
한국세라믹기술원(원장 강석중)은 원내 김형준 박사와 제니스월드(대표 곽병헌) 공동연구팀이 최근 산·학·연 협력 기술개발사업을 통해 세계 최초로 디스플레이 공정용 '내플라즈마 유리'(디스플레이 배선 형성에 사용하는 플라즈마 가스에 내구성이 좋은 유리)를 상용화하는데 성공했다고 밝혔다.
연구팀이 개발한 내플라즈마 유리는 OLED·LCD 등 디스플레이 공정에서 발생하는 파티클(셀 불량을 유발하는 작은 입자)을 35% 이상 감소시키고 내플라즈마 특성이 40% 이상 개선돼 디스플레이 생산 비용 절감에 기여한다.
기존 대형 세라믹 부재는 제조과정과 사용 후 재생과정 중 표면손상으로 인한 파티클과 가스발생으로 인해 공정 대기시간이 길어져 생산성 저하를 초래했다. 연구팀은 대형 세라믹 부재에 전통도자기 유약 코팅 및 열처리 기법을 적용해 파티클 형성을 억제하고 가스발생을 줄여 내구성을 높였다.
현재, 세계적으로 내플라즈마 유리를 코팅한 초대형 세라믹 부재를 상용화한 사례는 없으며 반도체 공정으로의 확대 적용이 기대된다. 반도체·디스플레이 공정용 초대형 세라믹 분야의 세계 시장은 약 4조 원, 재생 시장은 약 8200억 원으로 최근 중국 반도체·디스플레이 산업의 고속성장으로 시장이 확대되고 있다.
반도체 공정용 부재에는 내화학성과 열·기계적 물성이 우수한 석영유리를 사용하는데, 개발된 내플라즈마 유리는 석영유리에 비해 판재 또는 튜브 형상으로 제조가 쉽고 추가 연구를 통해 대체도 가능할 것으로 기대된다. 이번 연구개발 결과는 특허 출원됐다. 제니스월드는 한국세라믹기술원의 테스트 베드 장비를 통해 유리소재를 직접 생산 및 적용하고 있다.
이규화 선임기자 david@
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