분리장치 시스템화 실증작업 진행… 2015년 준상용화 목표
■ 에너지 자원융합 시대
(5) 코캣
육불화황(SF6) 가스는 대기 중 존재량은 적으나 온난화지수는 이산화탄소보다 더 큰 기체로 지구온난화의 주범인 대표적 온실가스 중 하나다. 대기 중 양은 이산화탄소의 1% 미만으로 매우 적지만 지구온난화지수(GWPㆍ이산화탄소가 지구온난화에 기여하는 정도를 1로 봤을 때 같은 양의 온실가스가 지구온난화에 기여하는 정도)는 이산화탄소보다 평균 2만3900배나 높다. 이 때문에 교토의정서에 정의된 6대 온실가스 중의 하나로 그 사용에 대해 전 세계적으로 온실가스의 규제물질로 적용되고 있다. 국내에서도 녹색성장 기본법을 근간으로 한 온실가스 목표관리제 및 배출권 거래제 시행을 앞두고 있어 이에 대한 대응기술의 확보가 필요한 시점이다.
코캣은 그동안 독자적으로 SF6 가스 배출저감에 관한 재 이용(재활용) 및 완전한 분해처리까지 연결되는 토털 솔루션 제공을 위해 SF6 분해용 촉매개발로부터 시작, 전력용 고농도 회수장치 시스템 기술 개발, 그리고 최근에는 반도체 및 디스플레이용 저농도 가스 분리 및 농축시스템읕 통한 재이용 기술에 대한 중요 단위기술 개발을 진행하고 있다.
SF6 가스 배출저감에 관한 기술은 고농도 상태(80% 이상)로 배출되는 중전기절연체용(개폐기ㆍ변전소ㆍ차단기) 부분에 대한 대상 기술과 저농도(1% 이하)로 배출되는 반도체ㆍ디스플레이ㆍ비절연체용에 대한 대상 기술로 나뉜다. 고농도의 SF6 처리기술 개발 과제는 지난 2009년 6월부터 2012년 5월까지 총 36개월에 걸쳐 한국과학기술연구원의 총괄 주도 하에 진행됐으며 코캣은 세부과제에서 주관기관 및 참여기업으로 참여했다.
코캣은 이 과제로부터 확보된 기반기술을 중심으로 실증 사업 적용 및 적용 분야 범위를 한정해 지난해부터 한국에너지기술평가원의 자원순환사업의 일환으로 진행 중인 `반도체 및 디스플레이용 저농도 SF6 가스 분리 및 농축 시스템 개발'의 과제를 수행하고 있다. 지난해 10월부터 시작된 이번 과제는 오는 2015년 9월까지 3년 간 진행되며 코캣의 주관 하에 한국과학기술연구원과 한국화학연구원 등이 참여하고 있다. 코캣에서 개발한 사전처리 정제제와 한국과학기술연구원 및 한국화학연구원에서 개발한 SF6 분리막 및 분리장치를 시스템화 해 실증하는 기술 개발을 진행 중이다.
저농도 SF6을 처리하는 기술은 반도체 및 디스플레이 산업에서 SF6의 식각(etching) 및 세정(cleaning) 이용 후 질소 희석에 따라 저농도(0.5% 이하)상태로 배출되는 가스를 전처리 공정, 흡착 및 분리막을 통한 농축, 농축된 가스를 고농도(95% 이상)의 가스로 정체/고농축화 장치로 일원화시켜 연결하는 기술이다. 이는 최근까지 저농도 및 다량으로 배출되는 SF6 가스를 고농축화하고 궁극적으로 SF6의 재이용(재활용) 가능한 기술로 접근시켜 국가주력산업인 반도체디스플레이 분야에 대한 규제대응 기술로 제안할 수 있을 것으로 예상된다.
장원철 코캣 기술연구소장은 "이 기술은 현재 국내외적으로 일체화된 기술이 없다는 점에서 획기적"이라면서 "기술개발에 따라 각각의 기술과 일원화된 시스템 적용 기술이 산업체의 사용농도 및 배출농도 등 현장의 실정에 맞게 다양하게 적용시킬 수 있는 장점이 있다"고 밝혔다.
회사측은 이번 과제를 통해 개발하는 기술이 국내외 온실가스 규제 대응기술로 작용할 수 있을 것으로 보고 있다. 국외에서는 포스트 교토협약에 대한 대응 차원에서, 국내에서는 녹색성장기본법과 연관된 온실가스목표관리제와 배출권거래제에 대한 산업계의 환경 대응 기술로 활용될 수 있을 것으로 판단하고 있다.
장 소장은 "이번 과제는 반도체 및 디스플레이 분야의 SF6 분리/농축기술의 기초 실증화 기술 확보의 일환으로 진행되는 것"이라며 "오는 2015년까지 준상용화하고 향후 반도체 및 디스플레이 분야 공정 후처리 장비기준으로 50 LPM(Liter Per Minuteㆍ분당 리터)의 유속급 시제품 적용을 계획하고 있다"고 밝혔다.
이홍석기자 redstone@
(5) 코캣
육불화황(SF6) 가스는 대기 중 존재량은 적으나 온난화지수는 이산화탄소보다 더 큰 기체로 지구온난화의 주범인 대표적 온실가스 중 하나다. 대기 중 양은 이산화탄소의 1% 미만으로 매우 적지만 지구온난화지수(GWPㆍ이산화탄소가 지구온난화에 기여하는 정도를 1로 봤을 때 같은 양의 온실가스가 지구온난화에 기여하는 정도)는 이산화탄소보다 평균 2만3900배나 높다. 이 때문에 교토의정서에 정의된 6대 온실가스 중의 하나로 그 사용에 대해 전 세계적으로 온실가스의 규제물질로 적용되고 있다. 국내에서도 녹색성장 기본법을 근간으로 한 온실가스 목표관리제 및 배출권 거래제 시행을 앞두고 있어 이에 대한 대응기술의 확보가 필요한 시점이다.
코캣은 그동안 독자적으로 SF6 가스 배출저감에 관한 재 이용(재활용) 및 완전한 분해처리까지 연결되는 토털 솔루션 제공을 위해 SF6 분해용 촉매개발로부터 시작, 전력용 고농도 회수장치 시스템 기술 개발, 그리고 최근에는 반도체 및 디스플레이용 저농도 가스 분리 및 농축시스템읕 통한 재이용 기술에 대한 중요 단위기술 개발을 진행하고 있다.
SF6 가스 배출저감에 관한 기술은 고농도 상태(80% 이상)로 배출되는 중전기절연체용(개폐기ㆍ변전소ㆍ차단기) 부분에 대한 대상 기술과 저농도(1% 이하)로 배출되는 반도체ㆍ디스플레이ㆍ비절연체용에 대한 대상 기술로 나뉜다. 고농도의 SF6 처리기술 개발 과제는 지난 2009년 6월부터 2012년 5월까지 총 36개월에 걸쳐 한국과학기술연구원의 총괄 주도 하에 진행됐으며 코캣은 세부과제에서 주관기관 및 참여기업으로 참여했다.
코캣은 이 과제로부터 확보된 기반기술을 중심으로 실증 사업 적용 및 적용 분야 범위를 한정해 지난해부터 한국에너지기술평가원의 자원순환사업의 일환으로 진행 중인 `반도체 및 디스플레이용 저농도 SF6 가스 분리 및 농축 시스템 개발'의 과제를 수행하고 있다. 지난해 10월부터 시작된 이번 과제는 오는 2015년 9월까지 3년 간 진행되며 코캣의 주관 하에 한국과학기술연구원과 한국화학연구원 등이 참여하고 있다. 코캣에서 개발한 사전처리 정제제와 한국과학기술연구원 및 한국화학연구원에서 개발한 SF6 분리막 및 분리장치를 시스템화 해 실증하는 기술 개발을 진행 중이다.
저농도 SF6을 처리하는 기술은 반도체 및 디스플레이 산업에서 SF6의 식각(etching) 및 세정(cleaning) 이용 후 질소 희석에 따라 저농도(0.5% 이하)상태로 배출되는 가스를 전처리 공정, 흡착 및 분리막을 통한 농축, 농축된 가스를 고농도(95% 이상)의 가스로 정체/고농축화 장치로 일원화시켜 연결하는 기술이다. 이는 최근까지 저농도 및 다량으로 배출되는 SF6 가스를 고농축화하고 궁극적으로 SF6의 재이용(재활용) 가능한 기술로 접근시켜 국가주력산업인 반도체디스플레이 분야에 대한 규제대응 기술로 제안할 수 있을 것으로 예상된다.
장원철 코캣 기술연구소장은 "이 기술은 현재 국내외적으로 일체화된 기술이 없다는 점에서 획기적"이라면서 "기술개발에 따라 각각의 기술과 일원화된 시스템 적용 기술이 산업체의 사용농도 및 배출농도 등 현장의 실정에 맞게 다양하게 적용시킬 수 있는 장점이 있다"고 밝혔다.
회사측은 이번 과제를 통해 개발하는 기술이 국내외 온실가스 규제 대응기술로 작용할 수 있을 것으로 보고 있다. 국외에서는 포스트 교토협약에 대한 대응 차원에서, 국내에서는 녹색성장기본법과 연관된 온실가스목표관리제와 배출권거래제에 대한 산업계의 환경 대응 기술로 활용될 수 있을 것으로 판단하고 있다.
장 소장은 "이번 과제는 반도체 및 디스플레이 분야의 SF6 분리/농축기술의 기초 실증화 기술 확보의 일환으로 진행되는 것"이라며 "오는 2015년까지 준상용화하고 향후 반도체 및 디스플레이 분야 공정 후처리 장비기준으로 50 LPM(Liter Per Minuteㆍ분당 리터)의 유속급 시제품 적용을 계획하고 있다"고 밝혔다.
이홍석기자 redstone@
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