µðÁöÅПÀÓ½º

 


[Àü¸Á´ë] MEMS °ü¼ºÃøÁ¤ÀåÄ¡

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
Á¶µ¿ÀÏ ¼­¿ï´ë Àü±âÄÄÇ»ÅÍ°øÇкΠ±³¼ö

ÃÖ±Ù ÀÚµ¿Â÷ÀÇ ¾ÈÀü¼º¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ ³ô¾ÆÁö¸é¼­ °í±ÞÂ÷´Â ¹°·Ð, °æ½Â¿ëÂ÷±îÁö ¿¡¾î¹éÀ̳ª ABS(antilock braking system)¸¦ ÀåÂøÇÏ´Â Ãß¼¼´Ù.

¿¡¾î¹éÀÇ ÀÛµ¿ ¿ø¸®´Â Ãæµ¹ÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â ¼ø°£, Ãæ°ÝÀ» °¨ÁöÇÏ´Â ¼¾¼­°¡ ½ÅÈ£¸¦ Áß¾Óó¸® ÀåÄ¡¿¡ Àü¼ÛÇØ Å¾½ÂÀÚ°¡ Â÷ü¿¡ ºÎµúÈ÷±â Àü¿¡ ¿¡¾î¹éÀÌ ÅÍÁöµµ·Ï ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãæ°ÝÀ» °¨ÁöÇÏ´Â ¼¾¼­°¡ ¹Ù·Î °¡¼Óµµ°è(accelerometer)³ª ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ(gyroscope)ÀÌ´Ù. °¡¼Óµµ°è´Â ¼ÓµµÀÇ º¯È­·®ÀÎ °¡¼Óµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ°í, °¢¼Óµµ°è·Îµµ ºÒ¸®´Â ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ´Â ¹°Ã¼°¡ ȸÀüÇÏ´Â ¼Óµµ(°¢¼Óµµ)¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¼¾¼­ÀÌ´Ù.

ƯÈ÷, ÃÖ±Ù À̶óÅ©Àü¿¡¼­ À§·ÂÀ» ¶³Ä£ Å丶ȣũ¿Í °°Àº ¼øÇ× ¹Ì»çÀÏÀ̳ª Á¤¹Ð À¯µµ Æøź µî¿¡ ÀåÂøµÅ »ç¿ëµÇ±âµµ ÇÑ´Ù. ¾Æ¿ï·¯ Ä·ÄÚ´õ¿¡µµ ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ°¡ ÀåÂøµÅ ÃÔ¿µÀÚÀÇ ¼Õ ¶³¸²¿¡ ÀÇÇØ È­ÁúÀÌ ¶³¾îÁö´Â °ÍÀ» ¸·±âµµ ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ Áö³­ 1997³â, È­¼º¿¡ Âø·úÇÑ Å½»ç¼± ÆнºÆÄÀδõ¿¡µµ ÃʼÒÇüÁ¤¹Ð°¡°ø±â¼ú(MEMS¤ýmicroelectromechanical systems)À» ÀÌ¿ëÇØ ¸¸µé¾îÁø ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ°¡ žÀçµÈ ¹Ù ÀÖ´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ °¡¼Óµµ°è³ª ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ¸¦ ÅëĪÇØ °ü¼ºÃøÁ¤ÀåÄ¡(IMU¤ýinertial navigation unit)¶ó°í ÇÑ´Ù. ÀÌ ÀåÄ¡´Â °ú°Å¿¡´Â ´Ü¼øÈ÷ Å©°í º¹ÀâÇÑ ±â°è·Î ÀνĵÆÀ¸³ª 1990³â´ë ÀÌÈÄ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ ÃʼÒÇü Á¤¹Ð °¡°ø ±â¼ú (MEMS; microelectromechanical systems) ±â¼úÀÌ ¹ßÀüÇϸ鼭 ÃʼÒÇüÈ­¿Í ´ë·® »ý»êÀ̶ó´Â MEMS ±â¼úÀÇ ÀåÁ¡À» È°¿ëÇÑ Á¦Ç°µéÀÌ ¼Ó¼Ó °³¹ßµÇ°í ÀÖ´Ù.

»ç½Ç ¿¡¾î¹éÀÌ ÀÌ·¸°Ô ´ëÁßÈ­µÉ ¼ö ÀÖ¾ú´ø °ÍÀº Àý´ëÀûÀ¸·Î MEMS±â¼ú ´öºÐÀ̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. °¡¼Óµµ°èÀÇ ´ë·® »ý»êÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö¸é¼­ °¡°ÝÀÌ 1´Þ·¯ ÀÌÇÏ·Î ¶³¾îÁ³±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ´Â °¡¼Óµµ°è¿¡ ºñÇØ Á¦ÀÛÀÌ ¾î·Á¿ö ÃÖ±Ù¿¡¾ß ¾ç»ê üÁ¦¸¦ °®Ãç°¡°í ÀÖ´Ù.

MEMS±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ °ü¼º ÃøÁ¤ ÀåÄ¡ÀÇ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2001³â ¹ßÇ¥µÈ ÇÑ º¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é 2000³â¿¡ 11¾ï´Þ·¯¿´°í, 2005³â±îÁö 15¾ï ´Þ·¯·Î ´Ã¾î³¯ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

ÇÏÁö¸¸ ÀÌ°°Àº ¿¹Ãø¿¡´Â 2001³â ÀÌÈÄ ±Þ¼ÓÈ÷ °í±ÞÈ­¤ý´Ù±â´ÉÈ­µÇ°í ÀÖ´Â ÈÞ´ëÆùÀ̳ª µðÁöÅÐÄ«¸Þ¶ó¿Í °°Àº ÈÞ´ë±â±âÀÇ ¹ßÀü Ãß¼¼°¡ ¹Ý¿µµÇÁö ¾Ê¾Æ ½ÇÁ¦ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â ÀÌ º¸´Ù ÈξÀ Ŭ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ƯÈ÷, ÈÞ´ëÆù¿¡µµ »ó´ç ¼öÁØÀÇ Çػ󵵸¦ °®Ãá µðÁöÅÐÄ«¸Þ¶ó°¡ ³»ÀåµÇ´Â Ãß¼¼¿©¼­ ÃÔ¿µÀÚÀÇ ¼Õ ¶³¸²¿¡ ÀÇÇÑ È­ÁúÀÇ ¾àÈ­¸¦ ¸·±â À§ÇØ Ä·ÄÚ´õ¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î À̸¦ º¸Á¤Çϱâ À§ÇÑ ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁ°¡ ÇÊ¿äÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.

ÇöÀç ±¹³»¿¡¼­´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÈÞ´ë±â±â¿ë ÀÚÀ̷νºÄÚÇÁÀÇ ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ¿¬±¸ °³¹ßÀ» ÁøÇà ÁßÀ̸ç, ¼­¿ï´ë¤ý°æºÏ´ë µîÀÇ ´ëÇаú ÀüÂ÷ºÎÇ°¿¬±¸¼Ò µî¿¡¼­ °ü·Ã ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿Ü±¹¿¡¼­´Â ¹Ì±¹¤ýÀϺ»¤ýµ¶ÀÏ µî¿¡¼­ MEMS °ü¼º ÃøÁ¤ ÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÁßÀÌ´Ù.

°ü¼ºÃøÁ¤ÀåÄ¡ÀÇ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß´Â ±º»ç¤ýÀÚµ¿Â÷¤ýÈÞ´ë±â±â¿ë µîÀ¸·Î ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ±× ºÐ¾ß ¹× Á¦Ç°¿¡ µû¶ó ¿ä±¸µÇ´Â »ç¾çÀ̳ª Ư¼ºÀÌ ÃµÂ÷¸¸º°ÀÌ´Ù. µû¶ó¼­ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß ¹× Á¦Ç°¿¡ µû¸¥ ƯȭµÈ ¿¬±¸ °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÑ »óȲÀÌ´Ù.

¿ì¸®³ª¶óÀÇ °æ¿ì, ¾ÆÁ÷ ±º»ç¿ë ¹× ÀÚµ¿Â÷¿ë Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸ °³¹ßÀÌ ±ØÈ÷ ºÎÁøÇÑ ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡ ºñÇϸé MEMS °ü¼ºÃøÁ¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß´Â ¾ÆÁ÷ ¾ç»ê ¾÷ü°¡ ¸¹Áö ¾Ê¾Æ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÒ °æ¿ì ¼¼°è ½ÃÀåÀ¸·ÎÀÇ ÁøÀÔ °¡´É¼º°ú ½ÃÀå ¼±Á¡ È¿°ú°¡ ¸Å¿ì Å©´Ù´Â Á¡ÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.

ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹× ±º»ç¿ë °ü¼º ÃøÁ¤ ÀåÄ¡´Â °í»ç¾ç ¹× ¼Ò·® »ý»êÀ̶ó´Â Ư¼º»ó Áß¼Ò ±â¾÷À̳ª ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ °³¹ßÇÏ´Â °ÍÀÌ À¯¸®ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.