원자력연, 해외 의존 ‘유체이송 기술’ 산업체 이전

벡스코와 기술이전 계약 체결...정액료 1억원 등 반도체·디스플레이 공정용 진공펌프 국산화 기여 한국원자력연구원은 자체 개발한 ‘고효율 가압·진공 유체이송 시스템’ 기술을 진공펌프 전문기업 벡스코에 이전하는 기술실시계약을 체결했다고 5일 밝혔다. 정액기술료 1억원, 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받는 조건이다. 실시기간은 10년이다. 이전 기술은 원통형 구조 내부에서 로터(회전체)가 회전하며 유체를 흡입·가압·이송하는 방식으로, 반도체와 디스플레이 제조 공정에서 필요한 초고진공 환경을 완벽하게 만들 수 있다. 연구팀은 여러 개의 로터를 연결해 성능을 단계적으로 높였다. 진동과 소음이 적어 기존 회전식·왕복식 방식 대비 운전 안정성과 내구성이 뛰어나다. 벡스코는 이전받은 기술을 바탕으로 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공펌프와 초고진공(UHV) 환경 제어 시스템 분야로 사업을 확장할 계획이다. 임인철 원자력연 부원장은 “핵심 유체 이송장치는 대부분 해외 제품에 의존해 왔으나, 이번 기술이전으로 관련 장비 국산화 기반을 마련하게 됐다”며 “반도체·디스플레이뿐 아니라 에너지, 화학 등 다양한 산업 분야로 확장이 가능하다”고 말했다.