국산화 성공한 `초순수`...반도체 제조시설에 첫 공급

환경부 초순수 국산화 실증플랜트 통수식 진행
443억4000만원 예산 투입
그동안 미국과 일본이 기술 독점한 '초순수'가 국산화에 성공해 국내 반도체 제조 공정에 국내 최초로 공급된다.

환경부는 경북 구미시 SK실트론 구미2공장에서 '초순수 국산화 실증플랜트 통수식'을 진행한다고 9일 밝혔다.

초순수는 불순물이 거의 없는 상태의 물로, 반도체 생산과정에선 불순물과 오염물질을 씻는 데 사용된다. 이차전지, 디스플레이 등 첨단산업에 사용되는 필수 자원이다. 그동안 미국, 일본 등 일부 국가만 초순수 생산 기술을 독점해 왔다.

초순수 시장은 2028년까지 국내 2조5000억원, 세계 35조5000억원까지 성장할 것으로 전망된다.

환경부는 한국환경산업기술원과 함께 2021년부터 '고순도 공업용수 국산화 기술개발 사업'을 추진했으며, 총 443억4000만원의 예산이 투입됐다.

환경부는 올해 12월 에스케이실트론에 설치·운영하는 초순수 실증플랜트로 설계·시공·운영 기술은 100%를, 핵심 기자재는 70%를 국산화해 반도체 공정에 국산 초순수를 공급하는 데 성공했다. 이는 하루 최대 1200t(톤)의 초순수를 생산할 수 있는 규모다. SK실트론은 2025년까지 초순수를 24시간 연속 공급해 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼를 생산하게 된다.

환경부는 확보한 초순수 기술을 고도화하기 위해 2026년부터 2030년까지 추진할 후속 연구개발(R&D)을 준비하고 있다. 2031년부터는 초순수 플랫폼센터를 구축해 초순수 기술개발과 인력양성에 더욱 박차를 가할 방침이다.

박재현 환경부 물관리정책실장은 "앞으로도 반도체 산업단지의 안정적인 용수 공급과 함께 초순수 생태계 활성화를 위한 국산 기술력 향상과 민간 기업의 시장 진출을 적극 지원할 것이다"라고 말했다.

세종=강승구기자 kang@dt.co.kr