나노종합기술원 내 팹 시설에 구축·운영중인 '12인 반도체 테스트 베드'. 나노종기원 제공
# 반도체 공정 장비 기업인 코리아스펙트럴프로덕츠는 소재·부품·장비 국산화를 위해 구축된 나노종합기술원의 '12인치 반도체 테스트베드'의 플라즈마 장비를 활용해 최근 반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템을 상용화하는 데 성공했다. 현재는 제품의 성능 평가 결과를 토대로 글로벌 반도체 장비 기업과 양산장비 적용 평가를 진행하고 있어 올해 안으로 매출이 발생할 것으로 기대하고 있다.
# 반도체 장비 기업인 아이에스티이는 나노종기원의 테스트 베드 장비를 활용해 반도체 증착장비를 국산화했다. 이 장비는 기존에 비해 박막 균일도와 접착력 개선, 박막 증착속도 향상 등 우수한 성능을 보여 대기업이 요구하는 웨이퍼 데모 성능평가 항목에 모두 평가해 조만간 장비 납품이 이뤄질 전망이다.
26일 과학기술정보통신부와 나노종합기술원에 따르면 지난해 3월부터 서비스에 들어간 '12인치 반도체 테스트베드'가 국내 소부장 기업의 국산화와 기술자립에 가시적 성과를 거두고 있다.
반도체 테스트베드는 2019년 일본 수출규제 이후 국내 소부장 기술자립화를 위해 과기정통부와 나노종기원이 450억을 들여 구축한 핵심 장비다. 중고 가격이 200억원대 달하는 고가의 '불화아르곤(Ar) 이머전 스캐너 장비'를 비롯해 감광제(포토레지스트)를 웨이퍼에 고르게 도포 또는 제거할 때 쓰이는 '트랙 장비', 미세패턴 선폭 측정 및 패턴 형상을 확인하는 'CD-SEM 장비' 등 10대의 반도체 장비가 구축, 운영되고 있다.
반도체 테스트베드 서비스 제공으로 국내 소부장 기업들은 기술 개발과 성능 평가 등을 신속하게 지원받아 기술자립에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 줄일 수 있게 됐다.
나노종기원은 지난 1년 동안 반도체 테스트 베드를 활용해 62개 기업을 대상으로 1226건의 관련 서비스를 제공했다. 이 가운데 우수 성과를 창출한 기업은 코리아스펙트럴프로덕츠의 '반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템', 아이에스티이의 '반도체 PECVD 장비(SiCN 박막 증착)', 마라나노텍코리아의 '나노센서 기반 감염병 진단키트' 등을 꼽을 수 있다.
특히 '감염병 진단키트'는 나노종기원의 공정기술을 이전받아 세계 최초로 진단키트에 반도체 공정기술을 적용한 것으로, 가격은 기존 PCR(유전자증폭)에 비해 10배 저렴하면서 90% 이상의 정확도를 지니고 있다.
나노종기원은 '반도체 공정 기반 나노메디컬 기기 개발사업'을 통해 다양한 질환과 감염병 등에 대한 상시 진단이 가능한 나노·반도체 공정 기반의 '고기능·고집적 나노바이오센서·소자' 상용화도 지원했다. 또한 나노메디컬 센서 플랫폼 등 3개 플랫폼 기술과 3세대 통합형 디지털 PCR 제품 등 2개 제품 개발을 도왔다.
고서곤 과기정통부 연구개발정책실장은 "반도체 테스트 베드는 짧은 기간에도 불구하고 충분한 수요기업 확보와 내실있는 성과를 창출했다"며 "앞으로 기업과 공동개발을 긴밀하게 추진해 혁신적인 상용화 성과 창출에 실질적 역할을 해 달라"고 말했다. 이조원 나노종기원장은 "국가 나노기술 혁신과 반도체 소부장 국산화를 이끌어 가는 핵심 기관으로 역할을 강화하겠다"고 밝혔다.한편 과기정통부와 나노종기원은 이날 서울 엘타워에서 지난 1년 간 반도체 소부장 국산화 지원성과를 공유하는 행사를 열고, 우수 성과 발표와 관련 기술·제품 전시 등을 가졌다.
