기계연은 에스오에스랩과 함께 반도체 웨이퍼 이송용 2D 라이다 센서를 개발했다.  기계연 제공
기계연은 에스오에스랩과 함께 반도체 웨이퍼 이송용 2D 라이다 센서를 개발했다. 기계연 제공


한국기계연구원은 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩과 함께 반도체용 웨이퍼 이송장비에 탑재하는 '2D 라이다 센서'를 국산화하는 데 성공했다고 17일 밝혔다.

라이다 센서는 초당 수백 만개의 레이저 빔을 쏜 뒤 되돌아 오는 시간을 측정해 주변 물체와의 거리를 감지하는 것으로, 자율주행에 필수적인 부품이다.

반도체 생산라인에는 사람 없이 웨이퍼를 옮기기 위해 천장에 레일을 설치해 공정을 이동하면서 실어 나르는 '자율주행 시스템(OHT)'을 구축해 놓고 있다. OHT 1대에는 약 2∼4개의 라이다 센서가 필요한데, 지금까지 전량 독일과 일본 등 수입 제품에 의존해 왔다.

하창완 박사 연구팀은 광정렬 개선을 통해 라이다 센서의 핵심 성능인 측정 분해능과 정확도를 높였고, 제품 조립 후 수작으로 이뤄지던 보정과 성능 평가를 자동화해 대량 생산을 위한 양산기술을 확보했다.

이 기술은 연간 4000여 개의 반도체 웨이퍼 이송장비용 라이다 센서 수입을 대체하는 효과와 자동차의 자율주행과 스마트 모빌리티, 스마트 인프라 등에 활용될 것으로 연구팀은 전망했다.

하창완 기계연 선임연구원은 "출연연, 국내 기업, 수요기업이 적극 협력해 외산 제품에 의존하던 라이다 센서를 국산화했다는 데 의미가 크다"고 말했다.

정지성 에스오에스랩 대표는 "스마트 팩토리의 센서 국산화를 통해 국가 소재 기술 경쟁력 향상에 기여하고, 자율주행과 스마트 인프라 시장에서 기술혁신에 최선을 다하겠다"고 밝혔다.이준기기자 bongchu@dt.co.kr

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이준기

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