도널드 트럼프 전 행정부에 이어 조 바이든 미국 행정부도 중국 반도체 산업에 대한 견제를 지속하고 있다.

17일(현지시간) 월스트리트저널(WSJ)에 따르면 네덜란드 정부는 미국 정부의 압력으로 자국 기업 ASML이 만든 극자외선(EUV) 노광장비의 대중국 수출 허가를 보류하고 있다.

EUV는 극자외선 파장의 빛을 이용해 반도체 웨이퍼 위에 회로선폭을 새기는 노광장비다. 극자외선은 기존 광원보다 파장이 짧아 더 미세한 회로를 구현할 수 있어, 최근 초미세공정 경쟁에 따라 반도체 기업들의 EUV 장비 확보 경쟁도 치열해지고 있다.

이에 중국 반도체 기업들 역시 EUV 장비 수입을 추진하고 있으나 미국 행정부의 방해로 한 대도 수출되지 않았다. 미 관리들은 바이든 행정부가 네덜란드 정부에 국가안보 우려를 이유로 들어 대중 수출을 제한할 것을 요구했다고 WSJ는 보도했다.

이는 앞서 트럼프 전 행정부와도 동일한 외교 정책이다. 미국은 지난 2019년에도 네덜란드 외교관들은 백악관에 초청해 '좋은 동맹은 이런 장비를 중국에 팔지 않는다'며 수출 제한을 압박한 것으로 알려졌다.

미·중 갈등의 중간에 끼인 상황이 된 ASML은 불만을 드러내고 있다. 피터 베닝크 ASML CEO는 "수출규제의 광범위한 사용이 글로벌 반도체 제조 능력을 감소시키고 공급망 문제를 악화할 수 있다"고 우려하기도 했다.전혜인기자 hye@dt.co.kr

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