니콘 특허소송에 맞서 … ASML, `맞소송` 응수

[디지털타임스 김은 기자] 세계 1위 반도체 노광장비 업체인 네덜란드 ASML이 니콘이 제기한 특허소송에 맞소송으로 대응했다. 지난 24일 니콘이 ASML을 상대로 제기한 소송에 대한 대응으로, ASML은 니콘의 특허 침해를 절대 인정하지 않는다는 입장이다.

ASML은 지난달 28일 니콘을 상대로 반도체와 디스플레이, 디지털카메라 등 다양한 제품군에 특허침해금지 소송을 일본 법원에 제기했다고 밝혔다. ASML이 니콘에 침해당했다고 주장한 특허는 10건 이상이다. ASML은 이번 소송을 독일 자이즈와 공동으로 제기했으며 미국에서도 같은 소송을 제기할 계획이다. 자이즈는 ASML에 광학 부품을 공급하는 협력사다.

앞서 니콘은 지난 24일 ASML의 이머전 노광장비가 자사 특허 11건을 무단 침해했다며 네덜란드 헤이그 지방법원과 일본 도쿄 지방법원에 장비 유통과 판매 금지, 손해배상을 요구하는 소송을 제기했다. 니콘은 독일 자이즈를 상대로도 현지 만하임 지방법원에 같은 소송을 냈다. 노광 장비는 반도체 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 새기는 공정에 사용한다.

과거 니콘은 2001년 12월 ASML과 자이즈를 상대로 특허 침해 금지 소송을 제기한 바 있다. 당시 양사는 치열한 법적 공방을 벌이다 2004년 포괄적 특허 공유 협약을 맺으며 분쟁을 일단락 지었다. ASML 관계자는 "2004년 니콘의 특허 포트폴리오는 ASML과 자이즈보다 방대했지만 지금은 상황이 변했다"며 "맞소송 제기 외에는 다른 선택이 없다며 우리도 우리의 특허를 보호하겠다"고 말했다.

김은기자 silverkim@