[디지털타임스 황민규 기자] 세계 최대 반도체장비업체 중 하나인 ASML이 대만의 반도체장비업체 에르메스 마이크로비전(HMI)을 1000억대만달러(한화 3조6000억원)에 인수했다. ASML의 극자외선(EUV) 노광장비의 정확성을 높이는 한편 비용은 낮출 수 있는 '홀리스틱 리소그래피'(holistic lithography) 기술을 강화하기 위한 목적이다.

16일 블룸버그통신에 따르면 ASML은 HMI를 주당 1410대만달러에 현금으로 인수하기로 했다고 밝혔다. 이는 지난 한 달 동안의 회사 주가에 31%의 프리미엄을 얹은 가격이다. ASML의 적잖은 지분을 보유하고 있는 인텔, 삼성전자도 이번 HMI 인수에 동의한 것으로 알려졌다.

ASML은 반도체 제조공정 고도화에 필요한 기술력을 높이기 위해 이번 인수를 단행한 것으로 보인다. 특히 기존에도 ASML의 EUV 장비에 도입된 홀리스틱 리소그래피 기술을 강화해 생산성과 정확성을 비약적으로 끌어올리기 위한 높이기 위함이다. 최근 ASML은 인텔, 삼성전자 등에 EUV 장비를 공급하는 등 EUV 기술 상용화를 위해 박차를 가하고 있다.

ASML은 반도체 노광 장비업체로, 반도체 칩이 복잡한 계산을 할 수 있게 하는 실리콘 디스크에 선을 새기는 도구 제조 부문에서 세계 1위다. HMI는 반도체 칩이 적절히 완성됐는지 장비를 검사하는 업체다.

황민규기자 hmg815@dt.co.kr

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