`이달의 과학기술자상`에 이태억 교수

미래창조과학부와 한국연구재단은 이태억 KAIST 교수(사진)를 '이달의 과학기술자상' 12월 수상자로 선정했다고 2일 밝혔다.

이 교수는 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 클러스터 장비의 작업 순서를 최적으로 결정하고 통제하는 공정장비 스케줄링 및 제어 기술을 개발한 공로를 인정받았다. 클러스터 장비는 반도체의 재료가 되는 얇은 실리콘 원판인 웨이퍼를 한 장씩 화학적으로 처리하는 여러 개의 챔버와 웨이퍼를 챔버에 넣고 빼는 로봇으로 구성된다. 이 교수는 이 장비의 작업을 수학적으로 분석해 공정의 지연 시간을 줄였다.

이 교수는 "물리현상을 실험하는 연구가 아니라 장비 운영 방법과 스케줄링(일정 관리)에 관한 수리적·이론적 연구였던 만큼 대외적으로 인정받기가 쉽지 않은데 상을 줘서 감사하다"고 소감을 밝혔다.

남도영기자 namdo0@