ASML, 美 반도체 제조사에 EUV 15대 공급

최대 반도체 장비업체인 ASML은 미국의 주요 반도체 제조사와 15대의 극자외선(EUV) 노광장비 공급 계약을 맺었다고 23일 밝혔다.

ASML에 따르면 15대의 EUV 중 먼저 2대의 제품이 연내 고객사 생산라인에 도입돼 기존에 설치된 EUV 시스템과 함께 반도체 제조 공정에 사용될 예정이다.

업계에서는 EUV 장비가 대당 한화로 1000억원이 넘는 고가의 장비라는 점과 미국 반도체 제조사 중 초미세공정 도입이 필요한 기업이 사실상 인텔뿐이라는 점을 근거로 구매자가 인텔인 것으로 관측하고 있다.

EUV 노광장비는 미세공정 전환 한계에 도달한 반도체 업계의 새로운 대안으로 떠오른 패터닝 장비다. 제조업체의 수율 (Yield) 향상을 위해 칩 제조 공정을 단순화할 수 있다는 것이 장점이다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 "이제 EUV 노광 시스템은 양산 과정 도입 단계에 들어섰으며 반도체 산업의 새로운 혁신을 발판 삼아 EUV의 장기적 계획과 에코시스템에 대한 준비도 순조롭게 진행되고 있다"고 설명했다.황민규기자 hmg815@dt.co.kr