반도체 제조장비 안전지침 표준마련

안전성 논란이 제기되고 있는 반도체 제조장비에 대한 국가표준이 마련된다.

지식경제부는 9일 양재동 엘센터에서 `반도체 제조장비 안전지침`에 대한 KS표준안 공청회를 개최한다고 8일 밝혔다.

기준안은 작년말 제정된 반도체 제조장비 국제표준(IEC)을 포함해 화학물질과 전리방사선 등 위험물질에 대한 안전 사항을 포괄한다.

특히 화학물질 관련 규정은 ▲장비에서 발생될 것으로 예상되는 화학물질 목록 작성 ▲화학물질 가운데 악취성이나 자극성 물질에 대한 별도 표시 ▲장비 작동 시 화학물질 방출 금지 등의 내용을 담고있다.

또 발암물질로 알려진 전리방사선에 대해서도 시간당 2마이크로시버트(μSv.방사선피폭량을 재는 단위) 이하로 규정했고, 모든 반도체 제조장비에는 독성물질을 명확하고 쉽게 지워지지 않는 방식으로 표시하도록 명시했다.

지경부는 2008년 동일한 내용의 표준안을 마련했다가 제정을 연기, 정치권과 시민단체로부터 삼성전자와 하이닉스 등 대기업의 반발로 안전기준을 사장했다는 비판을 받았다.

반도체 제조 작업장의 안전성 문제는 삼성전자 반도체 사업부에 근무하다 백혈병과 림프종에 걸린 노동자들이 산업재해 인정 소송을 행정법원에 제기하며 논란이 계속되고 있다.

지경부 관계자는 "표준 제정은 삼성 문제 등과는 특별히 관련이 있는 것은 아니다"며 "국제 표준이 제정됐기 때문에 국내에서도 제조장비 안전성을 확보한다는 차원에서 표준을 추진하는 것"이라고 말했다.

지경부는 관련업계 의견을 수렴한 뒤 다음달 말 표준을 제정할 방침이다.