6인치 LED 에피웨이퍼 양산 `박차`

에피밸리ㆍETRI 협약
에피밸리(대표 장훈철)는 ETRI(한국전자통신연구원)와 공동 개발한 6인치 LED 에피웨이퍼 공정기술이 양산에 적용 가능하다는 결과를 얻었다고 19일 밝혔다.

에피밸리는 ETRI와 지속적인 업무관계를 유지하면서 6인치 에피웨이퍼 양산 적용에 더욱 박차를 가할 계획이다.

지난해 11월 에피밸리는 에피웨이퍼 제조 및 평가를 담당하고 ETRI가 6인치 포토리소그라피 칩 제조라인 사용과 공정기술 지원을 담당하는 `LED용 6인치 에피웨이퍼 및 칩 공정 개발'에 대한 기술지원사업 협약서를 체결하고 연구개발을 진행해 왔다.

에피밸리 관계자는 "대부분의 LED 업체들이 2인치 에피웨이퍼를 사용하고 있으며, 몇몇 업체들이 4인치 웨이퍼 양산을 시도 또는 진행하고 있으나 6인치 웨이퍼는 현재까지 전세계적으로 성공 사례를 찾아보기 힘들다"며 "6인치 에피웨이퍼 양산기술 확보를 위한 지원을 아끼지 않을 것"이라고 말했다.

에피벨리는 6인치 양산라인을 가동하면 2인치 대비 35% 이상 생산량이 증가할 것으로 내다봤다. 또 두께를 1.0㎜로 구현해 경쟁사의 1.3㎜보다 30% 가량 얇게 구현해 경쟁력을 가질 것으로 기대하고 있다.

배옥진기자 withok@