1월의 KRISS인상에 김정형 박사

한국표준과학연구원(KRISS,원장 김명수)은 '1월 KRISS인상' 수상자로 산업측정표준본부 진공센터 김정형 박사를 선정했다고 10일 밝혔다.

김 박사는 플라스마 진공공정 중 식각장비에 사용되는 공정 플라스마의 전자밀도 절대값을 측정할 수 있는 기술을 세계 최초로 개발한 공로를 인정받아 선정됐다. 이 기술은 동일한 장비일지라도 같은 공정조건에서 다른 공정결과를 보이는 현상을 파악할 수 있게 해 주며 장비의 공정수행 중 공정의 이상변화를 실시간으로 파악할 수 있어 생산손실 절감 및 수익성 향상에 기여할 것으로 평가받고 있다.

또한 반도체, 디스플레이 등 일부 분야에서만 활용돼 왔던 플라스마를 첨단 소재 등 다양한 분야에 적용할 수 있을 것으로 전망된다.

대전=이준기기자 bongchu@