티타늄 이용 TTFT 원천기술 확보

KAIST 박재우ㆍ유승협 교수팀


투명디스플레이와 능동형 유기발광 다이오드(AMOLED) 디스플레이 및 플렉서블 디스플레이 등의 구동회로로 사용되는 투명박막트랜지스터(TTFT) 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

KAIST(총장 서남표) 전기전자공학과 박재우ㆍ유승협 교수팀은 테크노세미켐, 삼성전자 LCD총괄과 공동연구를 통해 산화티타늄(TiO2)물질을 이용한 투명박막트랜지스터 원천기술을 확보하는데 성공했다고 5일 밝혔다.

그동안 이 기술은 미국, 일본 등이 산화아연(ZnO)을 기반으로 한 투명박막트랜지스터 원천기술을 확보하고 있었다. 그러나 미국, 일본이 확보한 기술은 인듐이나 갈륨 등과 같은 희소성 금속을 사용하고 있으며 트랜지스터 특성의 재현성과 신뢰성에 문제점을 안고 있었다.

박 교수팀이 개발한 기술은 지구상에 풍부한 티타늄을 사용한다는 점과 기존 반도체 및 디스플레이 산업용 대형 양산장비로 검증 받은 화학기상증착(CVD)법을 이용, 낮은 온도(250도)에서도 산화티타늄 박막을 형성할 수 있다는 것이 특징이다.

이에 따라 차세대 디스플레이의 대형화를 구현할 수 있고 저가 글라스 기판 및 플렉서블 기반 위에서도 박막을 형성할 수 있게 됐다. 박 교수팀은 향후 2~3년 내 신뢰성 검증 및 대형 CVD 장비에서 양산할 수 있는 기술을 확보하게 되면 국내 디스플레이 산업체에서 생산하는 AMOLED 및 AMLCD 디스플레이 양산에도 곧바로 적용될 수 있을 것으로 보고 있다.

박 교수는 "TTFT 원천기술 확보는 기존 외국기업의 기술사용에 따른 로열티 지급에서 벗어날 수 있는 기술 독립을 의미하는 것으로 앞으로 세계 디스플레이산업을 선도하는 종주국의 면모를 이어가는 계기가 될 것"이라고 말했다.

한편 이 기술은 국내는 물론 미국, 일본, 유럽 등에 특허를 출원한 상태이며 미국 IEEE 전자소자지에 발표됐다.

대전=이준기기자 bongchu@