코닉시스템, 미 나노그램에 폴리실리콘 증착장비 공급

내년 2월말까지 105만달러 규모 계약


반도체디스플레이 장비제조사인 코닉시스템(대표 정기로)이 미국 나노그램에 능동형(AM) 유기발광다이오드(OLED)용 폴리실리콘 증착장비를 105만달러(약 9억7000만원)에 공급하는 계약을 체결했다고 22일 밝혔다. 회사는 내년 2월말 최종 제품을 납품한다.

기존 AM OLED용 저온 폴리실리콘 증착장비는 저온 상태에서 유리기판에 먼저 비정질(amorphous) 실리콘을 입힌 다음, 레이저로 스캔해 결정질(Poly) 실리콘으로 만들었는데, 이 과정에서 폴리실리콘 표면이 균일하지 않게 변하는 등의 문제가 있었다.

회사는 자사의 증착장비 기술과 함께 레이저로 폴리실리콘 나노입자를 저온에서 바로 유리기판에 균일하게 분사, 증착할 수 있는 나노그램의 원천기술을 더해 기존 AM OLED 저온 폴리실리콘 증착장비의 문제점을 없앤 새로운 증착장비를 공동 개발할 계획이다.

나노그램은 개발된 증착장비로 AM OLED용 폴리실리콘 증착 기판 샘플을 제작해 세계 AM OLED 패널 제조사들을 대상으로 제공하고, 코닉시스템과 함께 증착 장비를 개발 및 판매할 예정이다. 코닉시스템은 지난 7월 실리콘밸리 소재의 나노그램과 기술협력 계약을 맺은 바 있다.

김승룡기자 srkim@