천안사업장 6라인 장비구성은

노광장비 공급업체 기존 캐논-니콘 유지


삼성전자 천안사업장 제6라인에 1일 제1호기로 일본 울박의 유리기판에 도전막을 입히는 물리적 증착장비 스퍼터가 반입된 것을 시작으로, CVDㆍ노광장비ㆍ코터ㆍ현상기ㆍ세정기ㆍ에처ㆍ스트리퍼 등 핵심장비가 10월 라인가동 전까지 순차 반입될 예정이다.

LCD 패널 제조공정은 기술적인 난이도에 따라 크게 TFT LCD 기판공정, 컬러필터공정, 셀공정으로 분류되며, 삼성전자는 TFT LCD 공정장비를 필두로 오는 10월까지 전체장비 반입을 완료할 방침이다.

유리기판에 도전막을 입히는 PECVD 장비는 미일 합작법인인 AKT가 전량 공급키로 했으며, 스퍼터 장비는 울박이 주 공급업체로 선정됐다.

공정 장비 가운데 가장 비중이 큰 노광장비는 캐논과 니콘이 함께 장비를 공급하며, 코터와 현상기는 일본디엔에스가 주공급업체로 선정됐다. 세정기는 히타치데코와 시바우라 등 일본 장비업체를 주공급업체로 선정하면서 국내 장비업체인 케이씨텍의 세정장비를 함께 적용키로한 것이 눈에 띈다. 한국디엔에스는 에처와 스트리퍼 공급업체로 선정됐다.

이에 따라 삼성전자의 TFT LCD 제6라인의 장비 및 설비 국산화는 클린룸의 신성이엔지, 공장 패널 시공의 삼우이엔씨, CCSS 등 배관설비의 에스티아이와 한양이엔지와 더불어 ��(Wet)장비 분야를 중심으로 한국디엔에스와 케이씨텍가 참여한 것으로 요약된다.

반도체 장비 백화점으로 불리던 일본의 TEL사의 기존 라인에 비해 비중이 크게 떨어진 가운데 세정기ㆍ에처ㆍ스트리퍼 등 ��장비 분야를 중심으로 공급선 다변화 및 국내 장비업체를 참여시킨 것이 삼성의 이번 6라인 장비 구성 전략으로 분석된다.

삼성은 또 노광장비에 대해선 세계적인 업체인 캐논과 니콘의 양대업체를 선정, 특정업체의 비중을 높이지 않는다는 기존 전략을 고수했다.

그러나 핵심장비중의 하나인 CVD에 대해선 AKT의 장비를 전량 도입해, LCD용 CVD의 특정업체 의존을 낮추는 것이 삼성전자의 과제로 남게 됐다.

허정화기자