프롬써어티, 반도체 테스트장비 `E-어닐링` 업계 첫 특허

반도체장비업체인 프롬써어티는(www.from30.co.kr 대표 임광빈)는 반도체 테스트 장비인 E―어닐링(Electronic Annealing)에 대해 업계 최초로 기술 특허를 획득했다고 18일 밝혔다.

E―어닐링은 전기적 방법으로 고온과 저온환경에서 완제품 패키지가 아닌 웨이퍼 상태에서 불량을 테스트하는 장비로, 웨이퍼 번인 시스템(WBI)의 일종이다. 웨이퍼 단계에서 테스트를 하면 반도체의 신뢰성을 확보할 수 있을 뿐 아니라 불량이 발견되면 오류정정을 통해 양품으로 전환할 수도 있어 수율향상에 큰 효과가 있는 것으로 평가받고 있다.

임광빈 사장은 "어드밴테스트 등 세계적인 테스트장비업체에서도 E―어닐링방식의 테스트장비는 아직 나오지 않고 있어 이번 특허 출원으로 E―어닐링 기술보호는 물론, 해외 수출 전망도 더욱 밝아졌다"고 말했다.

이번 특허 기술은 이 회사의 300㎜웨이퍼 대응 장비인 SF―3000에 적용되고 있으며 프롬써어티는 미국ㆍ일본ㆍ대만에서도 해당기술의 특허출원을 추진하고 있다.

허정화기자