[특집-세미콘코리아2003] 주요 참가업체.. 일진엔지니어링

7세대 LCD반송.세정시스템 발표


클린룸업체인 일진엔지니어링은 이번 전시회에 7세대 대형 LCD기판용 반송�세정시스템을 발표한다.

기존 LCD업계가 5세대 기판을 생산하고 있는 상황에서 일진엔지니어링이 제7세대 기판용 장비를 발표하는 이유는 삼성전자ㆍLG필립스LCD를 비롯한 상위 LCD업체가 기술 및 시장선점을 위해 6세대를 건너뛰고 하는 7세대로 직행할 움직임을 보이고 있기 때문이다.

사이즈가 300×400인 1세대 기판에서 1100×1250인 5세대 제품까지는 기존 기술로도 처리가 가능하지만 7세대 이후 제품부터는 기판크기가 커짐에 따라 중간처짐현상이 발생, 파손 및 반송위험이 늘기 때문에 기존 반송 및 세정시스템을 적용하기 어렵다는 것이 일진의 설명이다.

일진의 7세대용 반송 및 세정시스템은 접촉으로 인한 오염 및 손상 가능성을 줄이기 위해 비접촉식기술이 적용됐으며 대형 공장 및 클린룸 구축에 따른 초기투자비용 증가를 막기 위해 수평반송방식이 아닌 수직반송방식을 적용하고 있다.

일진의 7세대 기판용 시스템은 산업자원부의 국책과제로 선정돼 개발된 제품이다. 일진은 LCD-TV시장을 타깃으로 7세대로 직행할 준비를 하고 있는 삼성전자ㆍLG필립스LCDㆍ샤프 등 상위업체를 상대로 마케팅에 주력할 방침이다.

1986년 클린룸업체로 출발한 일진엔지니어링(대표 이제천)은 2001년 일본 협력사인 제일시설공업이 개발한 4세대 기판용 LCD 반송 및 세정시스템을 국내에 들여오면서 LCD장비분야로 사업을 확대해왔다. 이번 7세대용 제품은 제일시설공업과 공동개발한 제품으로 시스템 크기도 대형 기판 처리를 위해 기존보다 2.5배 정도 커졌다는 것이 담당자의 설명이다.

클린룸분야에서는 중국시장으로 일찍 눈을 돌려 톈진에 현지법인을 설립해 프로젝트를 수주하고 있으며 향후 중국에서는 생산을, 한국에서는 연구개발에 초점을 맞춘다는 것이 일진엔지니이링의 계획이다.