±â»ç ÁÖ¼Ò: http://www.dt.co.kr/contents.html?article_no=2019091602101531731001
¹ÝµµÃ¼¾÷°è ¼÷¿ø `¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Å×½ºÆ® º£µå` ±¸Ãà º»±Ëµµ

KAIST ºÎ¼³ ³ª³ëÁ¾±â¿ø¿¡ ¼³Ä¡
2022³â±îÁö 450¾ï¿ø ÅõÀÔ ¿¹Á¤
Á¶±â »ó¿ëÈ­¡¤±¹»êÈ­ R&D Áö¿ø
½ÇÁ¦ À¯»çÇÑ È¯°æ¼­ ¼º´É Æò°¡
¸®½ºÅ© ÁÙ¿© »ó¿ëÈ­¿¡ ±â¿©ÇÒµí

¹ÝµµÃ¼¾÷°è ¼÷¿ø `¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Å×½ºÆ® º£µå` ±¸Ãà º»±Ëµµ
¿ÃÇغÎÅÍ 2022³â±îÁö 4³â µ¿¾È '12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °ø°ø Å×½ºÆ® º£µå'°¡ ±¸ÃàµÉ ¿¹Á¤ÀÎ ´ëÀü ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ¸ð½À. ±¹³» ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ü·Ã Áß¼Ò¡¤Áß°ß±â¾÷ÀÇ ¼º´É Æò°¡ ¹× ÀÎÁõ Áö¿øÀ» À§ÇÑ R&D ½Ã¼³·Î È°¿ëµÈ´Ù. ³ª³ëÁ¾±â¿ø Á¦°ø


±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ ÃÖ´ë ¼÷¿øÀÎ '12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ø°ø Å×½ºÆ® º£µå' ±¸ÃàÀÌ º» ±Ëµµ¿¡ ¿À¸¥´Ù. Á¤ºÎ°¡ Ãß°æÀ» Æ÷ÇÔÇØ Æí¼ºÇÑ ÃÑ 450¾ï¿ø ¿¹»ê¾ÈÀÇ ±¹È¸ Åë°ú°¡ ¹«³­ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸¿© ¿ÃÇغÎÅÍ Àåºñ ¹× ½Ã¼³ ±¸Ãà¿¡ º»°Ý ³ª¼³ °¡´É¼ºÀÌ Ä¿Á³±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.

15ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÇØ¿Ü ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ôÀº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤ÀåºñÀÇ Á¶±â »ó¿ëÈ­ ¹× ±¹»êÈ­¸¦ Áö¿øÇϱâ À§ÇØ KAIST ºÎ¼³±â°üÀÎ ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø¿¡ '¹ÝµµÃ¼ ¼º´ÉÆò°¡ Å×½ºÆ®º£µå'¸¦ ±¸ÃàÅ°·Î Çß´Ù.

ÀÌ Å×½ºÆ® º£µå´Â ¿¬±¸ÀÚ¿Í Áß¼Ò±â¾÷ µîÀÌ ½ÇÁ¦ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤°ú À¯»çÇÑ È¯°æ¿¡¼­ ¿¬±¸°á°ú¿Í ½ÃÁ¦Ç°¿¡ °üÇÑ ¼º´É Æò°¡¸¦ Áö¿øÇϱâ À§ÇÑ °ÍÀ¸·Î, ¿ÃÇغÎÅÍ 2022³â±îÁö ÃÑ 450¾ï¿øÀÌ ÅõÀ﵃ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

ÇöÀç, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ±â¾÷µéÀº ÀÚü Æò°¡ÆÕÀ» °®ÃßÁö ¸øÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÇ ÁÖ·Â ½Ã¼³ÀÎ 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ ±â¹ÝÀÇ ÀÎÁõ ¹× ¼º´ÉÆò°¡ ½Ã¼³ µî ÀÎÇÁ¶ó°¡ ºÎÁ·ÇØ »ó¿ëÈ­¿¡ ¾î·Á¿òÀ» °Þ°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ ¶§¹®¿¡ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Áß¼Ò¡¤Áß°ß±â¾÷µéÀº ÀÚü °³¹ßÇÑ Á¦Ç°ÀÇ ÀÎÁõ ¹× ¼º´ÉÆò°¡ µîÀ» ´ë¸¸ TSMC, º§±â¿¡ IMEC, ¹Ì±¹ ¾Ë¹Ù´Ï ³ª³ëÆÕ µî ÇØ¿Ü ½Ã¼³¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

À̹ø¿¡ ÃßÁø ¿¹Á¤ÀÎ '12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Å×½ºÆ® º£µå' »ç¾÷¿¡´Â °ú±âÁ¤ÅëºÎ°¡ ¿ÃÇغÎÅÍ 2022³â±îÁö 4³â °£ Àåºñ ±¸Ãà 385¾ï¿ø, ½Ã¼³±¸Ãà 42¾ï¿ø, °øÁ¤°³¹ßºñ 22¾ï¿ø µî ÃÑ 450¾ï¿øÀ» ÅõÀÔÇÑ´Ù.

ƯÈ÷ ¿ÃÇØ´Â 115¾ï¿øÀ» ÅõÀÔÇØ ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø¿¡ 'ArF Immersion Scanner' µî ¼º´É Æò°¡¿Í ÀÎÁõ Áö¿øÀ» À§ÇÑ '12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Àü¿ëÀåºñ(10´ë)'¸¦ ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î µé¿©¿Ã ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø¿¡ Á¶¼ºµÈ ±âÁ¸ ÷´Ü ¼¾¼­ÆÕ ÀϺΠ¼³ºñ¸¦ º¸¿ÏÇÏ°í, Ŭ¸°·ë µîÀ» »õ·Î Á¶¼ºÇØ Å×½ºÆ® º£µå °ø°£À¸·Î È°¿ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

»ç¾÷ ¼öÇà±â°üÀÎ ³ª³ëÁ¾±â¿øÀº Áö³­ 2002³â ¼³¸³µÈ ³ª³ëÀÎÇÁ¶ó Àü¹® ¿¬±¸Áö¿ø ±â°üÀ¸·Î, 8ÀÎÄ¡ Àåºñ ¹× ½Ã¼³°ú ¿¬±¸ Àη ¹× °æÇè µîÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î 12ÀÎÄ¡ Å×½ºÆ® º£µå¸¦ »õ·Î ±¸ÃàÇÏ°í, ÁÖ¿ä Àåºñ ¿î¿ë ¹× ¼º´ÉÆò°¡ °ü·Ã °øÁ¤±â¼ú °³¹ßÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ü·Ã ±â¾÷ÀÇ ±¹»êÈ­¸¦ µ½°Ú´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù.

Çѱ¹¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹ÀÌÇÐȸ¿¡ µû¸£¸é, ±¹³» ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ¾÷ü Áß 5.8%¸¸ÀÌ 12ÀÎÄ¡ ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ¼º´É Æò°¡¸¦ ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¼ÒÀç±â¾÷ÀÇ °æ¿ì ¼ÒÀÚ¾÷üµéÀÌ ¿ä±¸ÇÏ´Â »çÇ׿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 12ÀÎÄ¡ Àåºñ¸¦ ÀüÇô °®ÃßÁö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·Î ÀÎÇØ ¾÷üµéÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¶óÀΰú µ¿ÀÏÇÑ 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ ±â¹ÝÀÇ Å×½ºÆ®º£µå ±¸Ãà Çʿ伺À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Á¦±âÇØ ¿Ô´Ù.

³ª³ëÁ¾±â¿ø °ü°èÀÚ´Â "¹ÝµµÃ¼ ÈĹæ»ê¾÷ÀÎ ¼ÒÀçºÎÇ°Àåºñ °ü·Ã »ê¾÷À» Å°¿ì·Á¸é ¾ç»êÈ­ ¼öÁØÀÇ Àåºñ¿Í ºÎÇ°¼ÒÀç Å×½ºÆ® º£µå ¹× ÀÎÁõ ½Ã¼³ÀÌ Àý½ÇÇÑ »óȲ"À̶ó¸ç "±âÁ¸ 8ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ ´ëüÇÒ 12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ® º£µå°¡ ±¸ÃàµÇ¸é ±¹³» ¼ÒÀçºÎÇ°Àåºñ °ü·Ã ±â¾÷ÀÇ °³¹ß ±â°£°ú °³¹ß ºñ¿ë, °³¹ß ¸®½ºÅ© µîÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾î »ó¿ëÈ­¿¡ Å« ±â¿©¸¦ ÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

ÇÑÆí, ³ª³ëÁ¾±â¿øÀº ÀÚü ±¸ÃàÇÑ 8ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ, ±ÝÈ£¼®À¯È­ÇÐ, µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ, µð¿£¿¡ÇÁ, Èļº, SK¸ÓƼ·¯¾óÁî µî ±¹³» ¼ÒÀçºÎÇ° ±â¾÷ÀÇ ±â¼ú°³¹ßÀ» Áö¿øÇØ ¿Ô´Ù.

ÀÌÁرâ±âÀÚ bongchu@dt.co.kr

[ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º ¹«´Ü ÀüÀç-Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]