µðÁöÅПÀÓ½º

 


"TSMC, ASML Â÷¼¼´ë ³ë±¤Àåºñ Ưº°°¡·Î °ð µµÀÔ"

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
´ë¸¸ ¾ð·Ð "µµÀÔ ½Ã±âµµ 1ºÐ±â ÀÌ»ó »¡¶ó¡¦ÇÒÀΰ¡ °ø±ÞÀº ÁÖ¹® ¼ö·®°ú °ü·Ã"
¹Ì±¹ÀÇ ´ëÁß±¹ ¼öÃâ¿¡ Á¦ÇÑÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Â ³×´ú¶õµå ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü ASMLÀÌ ¼¼°è ÃÖ´ë ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ ¼öŹ»ý»ê) ±â¾÷ÀÎ ´ë¸¸ TSMC¿¡ ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °¡°ÝÀ» ÀÎÇÏÇØ °ø±ÞÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í Áß±¹½Ãº¸ µî ´ë¸¸¾ð·ÐÀÌ 17ÀÏ ¼Ò½ÄÅëÀ» ÀοëÇØ º¸µµÇß´Ù.

ÀÌ ¼Ò½ÄÅëÀº ASMLÀÌ TSMC°¡ °ð µµÀÔÇÒ ¿¹Á¤ÀΠ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ÀåºñÀÎ 'ÇÏÀÌ(High) ´º¸Þ¸®ÄþÖÆÛó(NA) EUV'¿¡ Ưº° ÇÒÀΰ¡¸¦ Àû¿ëÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. ±×´Â TSMC°¡ ÀÌ´Þ ¸» ÀÌÀü¿¡ ºÏºÎ ½ÅÁÖ °øÀå¿¡ ¼³Ä¡ ¿¹Á¤ÀÎ 'ÇÏÀÌ NA EUV'ÀÇ °ø±Þ °¡°ÝÀÌ Á¤»ó°¡°Ý 3¾ï5000¸¸ À¯·Î(¾à 5156¾ï¿ø)º¸´Ù ÈξÀ ³·´Ù°í °­Á¶Çß´Ù. °Ô´Ù°¡ ´çÃÊ °ø±Þ ¿¹Á¤ ½Ã±â°¡ ¾Ë·ÁÁø °Íº¸´Ù 1ºÐ±â ÀÌ»ó ºü¸£´Ù°í ÀüÇß´Ù.

´Ù¸¥ ¼Ò½ÄÅëÀº À̹ø ASMLÀÇ Ã·´Ü EUV ³ë±¤Àåºñ °ø±ÞÀÌ TSMCÀÇ '½ÃÇè »ç¿ë'¿¡ ¸ñÀûÀÌ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. ±×·¯¸é¼­ À̹ø °ø±Þ°¡ ÇÒÀÎÀÌ TSMCÀÇ A16(1.6³ª³ë °øÁ¤)À» ÀÌ¿ëÇÑ Á¦Ç°ÀÇ °í°´»ç ÁÖ¹® ¼ö·®°ú °ü°è°¡ ÀÖ´Ù°í ºÃ´Ù.

´ë¸¸¾ð·ÐÀº TSMC°¡ Â÷¼¼´ë EUV Àåºñ¸¦ Ưº° ÇÒÀΰ¡¿¡ °ø±Þ¹Þ°Ô µÇ¸é¼­ Áö³­ 4¿ù ¹Ì±¹ ¿À¸®°ÇÁÖ ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ¼¾ÅÍ¿¡ Â÷¼¼´ë EUV Àåºñ¸¦ ¼³Ä¡Çß´Ù°í ¹àÈù ÀÎÅÚ¿¡ »ç½Ç»ó '½Â¸®'¸¦ °ÅµÐ °ÍÀ̶ó°í Ç®ÀÌÇß´Ù.

ASMLÀº ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ µ¶Á¡ »ý»êÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àü(îñ) °øÁ¤ÀÇ ÇϳªÀÎ ³ë±¤ °øÁ¤Àº ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹Ì¼¼ÇÏ°í º¹ÀâÇÑ ÀüÀÚ È¸·Î¸¦ ÀμâÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ´Ù. 'ÇÏÀÌ NA EUV'´Â ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ´õ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô ±×¸± ¼ö ÀÖ´Â ASML Â÷¼¼´ë Àåºñ·Î AI ÀÀ¿ëÇÁ·Î±×·¥°ú ÷´Ü ¼ÒºñÀç ÀüÀÚÁ¦Ç°¿ë Ĩ Á¦Á¶¿¡ ¾²ÀδÙ.

ÇØ´ç Àåºñ Áß·®ÀÌ 150tÀ¸·Î ¿¡¾î¹ö½º A320 ¿©°´±â 2´ë¿Í °°Àº ¹«°ÔÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

³×´ú¶õµå´Â 2019³âºÎÅÍ ASMLÀÇ ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇß°í Áö³­ÇØ 9¿ùºÎÅÍ´Â ½ÅÇü DUV Àåºñ¿¡ ¼ÓÇÏ´Â NXT 2000i ÀÌ»ó±Þ ¸ðµ¨¿¡ ´ëÇؼ­µµ Á¤ºÎ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¹Þµµ·Ï Çß´Ù. ¹Ú¼ø¿ø±âÀÚ ssun@dt.co.kr



"TSMC, ASML Â÷¼¼´ë ³ë±¤Àåºñ Ưº°°¡·Î °ð µµÀÔ"
ASMLÀÇ EUV Àåºñ [·ÎÀÌÅÍ ¿¬ÇÕ´º½º ÀÚ·á»çÁø]











[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]