µðÁöÅПÀÓ½º

 


¾È»ê½Ã û³ââ¾÷Æݵå, 1È£ ÅõÀÚ±â¾÷ ³ª¿Ô´Ù¡¦ASV¼ÒÀç û³â â¾÷ ±â¾÷`¾ËÆ佺`¿¡ 20¾ï ¿ø ÅõÀÚ

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
À̹α٠½ÃÀå "û³â±â¾÷ ÅõÀÚ¿Í ¹ë·ù¾÷ Áö¿øÀ» ÅëÇÑ °ü³» â¾÷ È°¼ºÈ­ ±â´ë"
¾È»ê½Ã û³ââ¾÷Æݵå, 1È£ ÅõÀÚ±â¾÷ ³ª¿Ô´Ù¡¦ASV¼ÒÀç û³â â¾÷ ±â¾÷`¾ËÆ佺`¿¡ 20¾ï ¿ø ÅõÀÚ
»çÁøÁ¦°ø ¾È»ê½Ã

¾È»ê½Ã(½ÃÀå À̹αÙ)´Â Áö³­ 10ÀÏ 'û³ââ¾÷Æݵå 1È£' Á¶¼º ÀÌÈÄ Ã¹ ¹ø° ÅõÀÚ±â¾÷À¸·Î ¿øÀÚÃþ ¹Ú¸· ÁõÂø ±â¼ú(Atomic Layer Deposition, ALD) ºÐ¾ßÀÇ ¼±µÎ ÁÖÀÚÀÎ '¾ËÆ佺'(´ëÇ¥ÀÌ»ç ¹ÚÅÂÁÖ)¸¦ ¼±Á¤, ÇöÆÇ Àü´Þ½ÄÀ» ÁøÇàÇß´Ù°í 11ÀÏ ¹àÇû´Ù.

'¾È»ê½Ã û³ââ¾÷Æݵå 1È£'´Â 2023³â 11¿ù ¾È»ê½Ã°¡ ÃâÀÚÇÑ 20¾ï ¿øÀ» Æ÷ÇÔÇØ ÃÑ 300¾ï ¿ø ±Ô¸ð·Î Á¶¼ºµÆÀ¸¸ç, ¢ß¿¡½ºº¥Ã³½º(´ëÇ¥ÀÌ»ç ±èÇöö, µµ½Âȯ)°¡ ÆÝµå ¿î¿ëÀ» ¸Ã¾Æ ±â¼ú¼º, »ç¾÷¼º, ±Û·Î¹ú ÁøÃâ ÀáÀç·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ ¾È»ê½Ã ¼ÒÀç À¯¸Á û³â ±â¾÷À» ¹ß±¼ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¾ËÆ佺¢ß´Â 2022³â 1¿ù ¼³¸³µÈ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¾÷À¸·Î 2023³â °æ±ââÁ¶°æÁ¦Çõ½Å¼¾ÅͷκÎÅÍ Ã¹ ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡ÇÏ°í Áß¼Òº¥Ã³±â¾÷ºÎÀÇ 'µöÅ×Å©-ÆÁ½º ÆнºÆ®Æ®·¢ ±â¾÷'À¸·Î ¼±Á¤µÈ ¹Ù ÀÖ´Ù. À̹ø¿¡´Â ¾È»ê½Ã û³ââ¾÷Æݵå 1È£ÀÇ ÁßÁ¡ ÅõÀÚ ºÐ¾ßÀÎ '10´ë ÃÊ°ÝÂ÷ ºÐ¾ß'¿¡ ÇØ´çÇØ ½É»ç¸¦ ÅëÇØ ÃÖÁ¾ 20¾ï ¿øÀÇ ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡ÇÏ°Ô µÆ´Ù.

¾ËÆ佺¢ß´Â ȸÀü½Ä ¹ÝÀÀ±â¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ³ª³ë ÀÔÀÚ »ó ±Ø¹Ú¸· ÄÚÆÃÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ALD ±â¼ú ¿ª·®À» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù.¾Æ¿ï·¯, ALD ÄÚÆà ¼­ºñ½º ¿Ü¿¡µµ ÄÚÆà ¼ÒÀç ÆǸÅ, Àåºñ ÆǸŠµî »ç¾÷¸ðµ¨À» ´Ù¾çÈ­ÇÏ´Â ÇÑÆí, ¿¬³»¿¡ ÀÌÂ÷ÀüÁö ¾ç±ØÀç ¼ÒÀç ¹× CMP ½½·¯¸®¿ë ºÐ¸» ¼ÒÀç ½ÃÁ¦Ç° °ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤À¸·Î ±¹³»»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼­µµ Å« ¼º°ú¸¦ ³¾ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù.

µµ½Âȯ ¢ß¿¡½ºº¥Ã³½º °øµ¿´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ ¶Ç´Â ³ª³ë¹ÌÅÍ ·¹º§ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ÀÔÀÚ¿¡ ¿øÀÚÃþ µÎ²²¸¦ °¡Áø ±ÕÀÏÇÑ ¹Ú¸·À» ÄÚÆÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀº ¼¼°èÀûÀ¸·Îµµ À¯·¡¸¦ ã±â Èûµç ¶Ù¾î³­ ¿øõ±â¼ú·Î ÆÇ´ÜÇß´Ù"°í ¸»Çß´Ù.

¹ÚÅÂÁÖ ¾ËÆ佺¢ß ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "¾ËÆ佺ÀÇ ¿øõ±â¼úÀ» ³ôÀÌ Æò°¡ÇØ ÁÖ°í ÅõÀÚ Áö¿øÀ» °áÁ¤ÇØ ÁØ ¾È»ê½Ã¿Í ¿¡½ºº¥Ã³½º¿¡ °¨»çµå¸°´Ù"¶ó¸ç "À̹ø ÅõÀÚ¸¦ ¹ßÆÇÀ¸·Î »ï¾Æ Äھ ºÐ¸» ¼ÒÀç Á¦Á¶ ºÐ¾ßÀÇ ¼±µµÀûÀÎ ±â¾÷À¸·Î ¹ßµ¸¿òÇÒ °Í"À̶ó°í Æ÷ºÎ¸¦ ¹àÇû´Ù.

À̹α٠¾È»ê½ÃÀåÀº "¾È»ê½Ã û³ââ¾÷Æݵå 1È£ÀÇ ÅõÀÚóÀÇ ÁÖÀΰøÀ¸·Î '¾ËÆ佺'°¡ ¼±Á¤µÇ¾î ¸Å¿ì ±â»Ú°Ô »ý°¢ÇÑ´Ù"¶ó¸ç "¾ËÆ佺´Â ¾È»ê »çµ¿(ASV)Áö±¸ ³»¿¡ À§Ä¡ÇØ ±â¾÷Çϱâ ÁÁÀº ÃÖÀûÀÇ È¯°æ ¼Ó¿¡¼­ ¼ºÀå ÀáÀç·ÂÀ» Áö´Ñ ±â¾÷"À̶ó°í Æò°¡Çß´Ù.

ÀÌ ½ÃÀåÀº À̾î "¾È»ê½Ã°¡ ¿ªÁ¡À» µÎ°í ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Â °æÁ¦ÀÚÀ¯±¸¿ª ÃßÁø¿¡ ÀÖ¾î ¾ËÆ佺¿Í °°Àº â¾÷±â¾÷ÀÌ Å« ÈûÀÌ µÉ °Í"À̶ó¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ ¾È»ê °æÁ¦¸¦ ¹ßÀü½ÃÄÑ ³ª°¡´Â µ¥ ¸¹Àº ±â¿©¸¦ ÇØ ´Þ¶ó"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

ÇÑÆí, ¾È»ê½Ã´Â ¿À´Â 2026³â±îÁö 1õ¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ '¾È»ê½Ã û³ââ¾÷Æݵå'¸¦ Á¶¼ºÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¿ÃÇØ ÇϹݱâ 2È£ ÆÝµå °á¼ºÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇàÁ¤ÀýÂ÷¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.

¾È»ê=±èÃἺ±âÀÚ kcs8@dt.co.kr







[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]