[대학-기업 오픈랩, 지역 성장엔진 켜다 6. 한양대 에리카캠퍼스 -끝> 반도체 박막 공정·신약 개발로 지역경제 주춧돌

  • 프린트
  • 페이스북
  • 트위터
  • 카카오스토리


[대학-기업 오픈랩, 지역 성장엔진 켜다  6. 한양대 에리카캠퍼스 -끝> 반도체 박막 공정·신약 개발로 지역경제 주춧돌
'차세대 메모리 소자용 영역 선택적 원자층 박막증착공정 개발 오픈랩' 소속 연구원이 연구를 하고 있다. 한양대 에리카캠퍼스 제공

"기존 부품소재 기술의 한계를 극복하는 기술을 통해 지역 주력산업의 첨단화를 이끌고, ICT 융복합 부품소재 분야 R&BD(사업화 연계 기술개발) 혁신 클러스터로 자리매김하겠다."

한양대 에리카캠퍼스가 지역 기업과 혁신기관들을 연계한 기술사업화 오픈 플랫폼을 통해 미래형 ICT 융복합 부품소재 산업 육성을 이끌고 있다. 과학기술정보통신부와 과학기술일자리진흥원이 지원하는 '지역산업연계 오픈랩 사업'을 기회로, 지역 기업에 미래 먹거리와 우수한 인재를 공급하며 성장 에너지를 불어넣고 있다. 반월·시화공단, 안산강소특구, 경기테크노파크, 안산 사이언스밸리 등 탄탄한 혁신·R&D 기반은 대학과 기업의 협업에 탄탄한 운동장 역할을 하고 있다.

한양대 에리카캠퍼스가 운영하는 6개 오픈랩 중 두드러진 곳은 김우희 재료화학공학과 교수가 이끄는 '원자공예·반도체공학연구실'이다. 모만, 넥서스비, 나인솔 등 기업과 협업체계를 구축한 연구실은 작년에만 총 3건, 6억6000만원의 기술이전 계약을 맺고, 실험실에 있던 기술을 시장에 꽃피우기 위한 작업을 하고 있다.

김 교수와 호흡을 맞춘 기업들이 공통적으로 가진 문제는 반도체 제조에 적용되는 ALD(원자층증착공법) 공정에서 발생하는 문제와 기술적 한계를 해결하는 것이었다. ALD는 최신 반도체 박막 증착 공정 기술이다. 반도체 제조에서 증착은 필수적인 공정으로, 원형 웨이퍼 위에 얇은 막을 쌓고 깎는 과정이 수백 차례 반복된다. 기존에는 주로 CVD(화학기상증착법)와 PVD(물리적기상증착법)가 활용됐지만 칩이 소형화·고집적화하면서 더 얇은 막이 필요해졌다. 이를 해결하기 위해 등장한 ALD는 전구체와 특정 반응 물질을 반복적으로 주입해 웨이퍼 표면에서만 화학 반응이 일어나도록 유도함으로써 막 두께를 훨씬 줄이고 일정하게 만들 수 있다.

김 교수는 모만과 ALD 공정에서 발생하는 미스얼라인 발생 문제, 넥서스비와는 ALD 공정 중 균일한 박막 형성문제 해결에 집중했다. 나인솔과는 30㎚(나노미터) 미만 ALD 공정 개발에 매달렸다. 그 결과 모만과 5억5000만원 규모 기술이전 계약을 맺는 등 총 3건의 기술이전이 이뤄졌다. 모만은 ALD 공정에서 겪던 문제를 해결함으로써 기술 경쟁력과 상품 품질을 높일 수 있게 됐다. 김 교수는 올해 차세대 메모리 반도체 소자 제조에 필요한 이산화규소 박막 증착기술 개발·상용화에 집중할 계획이다.

홍종욱 생명나노공학부가 이끄는 오픈랩은 엑소티디엑스와 총 20억원에 달하는 기술이전 계약을 맺었다. 혈액 내 엑소좀 분리기술을 확보하고 고도화하기 위해 홍 교수와 팀을 이룬 엑소티디엑스는 사업에 필요한 전략 컨설팅을 받은 데 이어 치료용 엑소좀 분리 카티셀(CAR-T Cell) 치료제 기술을 확보했다. 홍 교수는 세현테크와 유용 미생물 분리 기술, 바이오엔텍과는 신약 개발을 위한 고속·저가 스크리닝 기술 개발에도 호흡을 맞췄다. 올해는 미세유체시스템 기반의 엑소좀 정밀 분리 원천기술 플랫폼을 산업화에 적합한 형태로 제작하고, 범용 카티셀 액티베이터 플랫폼을 개발해 기업에 이전한다는 목표다.

한양대 에리카캠퍼스는 사업 첫해인 지난해 8건, 총 32억9000만원의 기술이전 계약을 맺었다. 이병주 전자공학부 교수가 주도하는 오픈랩은 로보에테크놀로지와 1억3000만원 규모의 수술용 로봇 기술이전 계약을 맺었다. 고영테크놀로지와는 수술용 로봇의 장비 파지·고정기술 고도화, 로보스타와는 절제부위 최소화 기술 개발에 협력했다. 안용한 건축학부 교수 오픈랩은 엔알비에 총 3억5000만원 규모의 모듈러공법 기반 이동형 건물설계 기술을 이전했다. 코스텍기술과는 건축물 압축강도 예측기술 고도화, 국제비파괴검사와는 건축물 상태예측기술 고도화에 호흡을 맞췄다.

좌용호 재료화학공학과 교수 오픈랩은 썬텍과 1억원 규모의 투명전극 기술이전 계약을 맺었다. 다온에너지와는 잉크젯프린팅 기반 전극기술 고도화, 한일엠앤에스와는 연료전지용 전해질 재료기술 상용화에 손을 잡았다. 이한승 교수는 신행건설, 세화레미콘, 한양이엔씨와 건축물의 지속 가능성을 높이는 기술 개발에 협력했다.

한양대 에리카캠퍼스는 올해 오픈랩을 10개로 늘리고 총 10건의 기술이전을 이뤄내겠다는 목표다. 특히 오픈랩 참여기업을 대상으로 금융지원 연계, 입주공간 제공, 인재 지원 등 사후관리를 이어간다는 전략이다.

박태준 한양대 에리카 산학협력단장은 "올해는 로봇, ICT, 바이오 등 성장성과 기술수요가 높은 분야를 중심으로 오픈랩을 확대할 계획"이라며 "오픈랩 사업이 기반이 돼 지역기업과 대학이 동반 성장하는 산학협력 오픈 이노베이션 플랫폼 구축에 기여하겠다"고 밝혔다.

과기정통부는 올해 오픈랩 육성지원 사업에 작년보다 131% 많은 92억원의 예산을 배정하고 3개 대학을 더 선정할 예정이다. 작년에 선정된 6개 대학은 올해말까지 지원한다.

김봉수 과학기술일자리진흥원 원장은 "코로나19 장기화로 지역 산업이 위축돼 있는 상황에서 지역 대학의 우수 공공기술을 중심으로 한 지역 주도형 기술사업화 혁신이 절실하다"면서 "대학과의 지속적인 협업을 통해 대학의 기초·원천 연구결과물이 미래 산업 발전으로 이어질 수 있도록 적극 지원하겠다"고 밝혔다.안경애기자 naturean@

[대학-기업 오픈랩, 지역 성장엔진 켜다  6. 한양대 에리카캠퍼스 -끝> 반도체 박막 공정·신약 개발로 지역경제 주춧돌
장기술(왼쪽부터) 기업협력센터장, 최학영 넥서스비 대표, 김우희 교수, 서영민 기술사업화팀장 등 한양대 에리카와 넥서스비 관계자들이 식각 특성이 향상된 원자층 식각법 장비와 공정에 대한 기술이전 협약식에서 사진을 찍고 있다. 한양대 에리카캠퍼스 제공






[저작권자 ⓒ디지털타임스 무단 전재-재배포 금지]


가장 많이 본 기사