SKÇÏÀ̴нº´Â 24ÀÏ ÀÌ»çȸ¸¦ ¿°í ³×´ú¶õµå ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¾÷üÀÎ ASML°ú 4Á¶7549¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ EUV½ºÄ³³Ê ±¸¸Å¸¦ °áÁ¤Çß´Ù°í °ø½ÃÇß´Ù. °è¾àÀº ¿À´Â 2025³â 12¿ù±îÁö´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â ±Ý¾× µîÀ» °í·ÁÇÒ ¶§ ¾ÕÀ¸·Î 5³â °£ 10¿©´ëÀÇ Àåºñ¸¦ µé¿©¿Ã °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â ±â°è ±¸¸Å¿Í ¼³Ä¡ µî±îÁö ¸ðµÎ Æ÷ÇÔÇÑ ±Ý¾×À¸·Î, ºñ¿ëÀº ºÐÇÒ ÁöºÒÇÑ´Ù.
SKÇÏÀ̴нº ÃøÀº "Â÷¼¼´ë °øÁ¤ ¾ç»ê ´ëÀÀÀ» À§ÇÑ EUV È®º¸"¶ó°í ±¸¸Å ÀÌÀ¯¸¦ ¼³¸íÇß´Ù. EUV´Â ±âÁ¸¿¡ ³ë±¤¿¡ ¾²ÀÌ´ø ºÒȾƸ£°ï(ArF) ±¤¿ø¿¡ ºñÇØ 14ºÐÀÇ 1 ¹Ì¸¸À¸·Î ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ ª¾Æ¼ ¾ã°í ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â ÀÌ´Þ ÃÊ M16 °øÀåÀ» ÁØ°øÇÏ°í EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÑ Â÷¼¼´ë D·¥ »ý»ê¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇϱâ·Î Çß´Ù. ¿ÃÇØ¿¡´Â EUV 2´ë°¡ ¶óÀο¡ ÅõÀ﵃ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â °øÁ¤ ¾ÈÁ¤È ´Ü°è µîÀ» °ÅÄ£ µÚ ¿Ã ÇϹݱâºÎÅÍ EUV¸¦ Àû¿ëÇØ 4¼¼´ë 10³ª³ë±Þ(1a) D·¥ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÇÑÆí SKÇÏÀ̴нº´Â ³»´Þ 30ÀÏ Á¤±âÁÖÁÖÃÑȸ¸¦ ¿°í ¹ÚÁ¤È£ SKÅÚ·¹ÄÞ ºÎȸÀåÀ» »ç³»ÀÌ»ç·Î ¼±ÀÓÇÏ´Â µîÀÇ ¾È°ÇÀ» ó¸®ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¹ÚÁ¤ÀϱâÀÚ comja77@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]