»ó¼¼ÇÑ ¼³¸í¡¤¸íÈ®ÇÑ ±Ù°Å ¾ø¾î
27ÀÏ Àü·«¹°ÀÚ°ü¸®¿øÀÇ 'ÀϺ»ÀÇ Àü·«¹°ÀÚ ¼öÃâÅëÁ¦ Á¦µµ¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸' º¸°í¼¿¡ µû¸£¸é ÀϺ»Àº Çѱ¹ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ½Ç½ÃÇÑ °ÍÀ» °è±â·Î ¼öÃ⹫¿ª°ü¸®·ÉÀ» °³Á¤ÇÏ¸é¼ ¼öÃâÁö¿ªÀ» A¡D±×·ìÀ¸·Î ±¸ºÐÇß´Ù.
ÀÌ °¡¿îµ¥ ±×·ì A°¡ ¹é»ö±¹°¡´Ù. Çѱ¹Àº '±¹Á¦¼öÃâÅëÁ¦Ã¼Á¦¿¡ Âü¿©ÇÏ¸é¼ ÀÏÁ¤ ¿ä°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏ´Â ±¹°¡ ¹× Áö¿ª(±×·ìA Á¦¿Ü)'ÀÎ ±×·ì B·Î °µîµÆ´Ù. Çѱ¹ ¿Ü ¾î¶² ±¹°¡°¡ ±×·ì B¿¡ ¼ÓÇÏ´ÂÁö´Â °ø°³µÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
¶Ç ±×·ì BÀÇ Á¶°Ç¿¡ ´ëÇÑ »ó¼¼ÇÑ ¼³¸íÀ̳ª ¸íÈ®ÇÑ ±Ù°Å°¡ Á¦½ÃµÇÁö ¾Ê¾Æ ¼öÃâÅëÁ¦ÀÇ ±âº» ¸ñÀû¿¡ µû¶ó ÇÕ¸®ÀûÀ¸·Î ±¸ºÐµÆ´Ù°í Çϱ⿡´Â ¾î·Æ´Ù°í º¸°í¼´Â ÁöÀûÇß´Ù.
3°³ ÀÌ»óÀÇ ±¹Á¦¼öÃâÅëÁ¦Ã¼Á¦¿¡ °¡ÀÔµÈ Å©·Î¾ÆƼ¾Æ, ¸ß½ÃÄÚ, ·¯½Ã¾Æ, Àεµ¿Í ¾î´À üÁ¦¿¡µµ °¡ÀÔÇÏÁö ¾ÊÀº Àεµ³×½Ã¾Æ, įº¸µð¾Æ, È«Äá, ½Ì°¡Æ÷¸£´Â »ç½Ç»ó ¸ðµÎ °°Àº ±×·ì C·Î ±¸ºÐµÆ´Ù.
º¸°í¼´Â "ijġ¿Ã(¸ðµç Àü·«¹«±â Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù°í ÆÇ´ÜÇÑ ¹°Ç°ÀÇ ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇÏ´Â Á¦µµ) Á¦µµÀÇ ¿Â°ÇÇÑ ÀÌÇàÀÌ ±×·ì A¿Í B »çÀÌÀÇ °æ°è ±âÁØÀ̶ó´Â Á¡À» ¹Þ¾ÆµéÀÌ´õ¶óµµ, ±×·ì B¿Í C´Â ±¸ºÐ ±âÁØÀ¸·Î Á¦½ÃÇÑ 'ƯÁ¤ ¿ä°Ç'ÀÌ ¹«¾ùÀÎÁö ÀüÇô ¾Ë ¼ö ¾ø´Ù´Â Á¡, ±×·ì ±¸ºÐ¿¡ Åõ¸í¼ºÀÌ ¶³¾îÁø´Ù´Â Á¡À» ÁöÀûÇÏÁö ¾ÊÀ» ¼ö ¾ø´Ù"°í ÁöÀûÇß´Ù.
ÇÑÀÏ ¼öÃâ´ç±¹Àº Áö³ÇØ 12¿ù 16ÀÏ ÀϺ» µµÄì¿¡¼ ù ±¹Àå±Þ Á¤Ã¥´ëȸ¦ ¿°í ¾ç±¹ °¥µîÀ» ÇØ°áÇÏ°Ú´Ù´Â ÀÇÁö¸¦ È®ÀÎÇß´Ù. ÀϺ»Àº °°Àº ´Þ 20ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤Á¦)ÀÇ ¼öÃâ½É»ç¿Í ½ÂÀιæ½ÄÀ» °³º°Çã°¡¿¡¼ ƯÁ¤Æ÷°ýÇã°¡·Î º¯°æÇØ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ´Ù¼Ò ¿ÏÈÇßÁö¸¸, ±Ùº»Àû ±ÔÁ¦ ÆóÁö´Â ¾Æ´Ï´Ù. ¾ç±¹Àº Á¶¼ÓÇÑ ½ÃÀÏ ³» ¼¿ï¿¡¼ ´Ù½Ã ¸¸³ª ¼öÃâ±ÔÁ¦ ¹®Á¦¸¦ ³íÀÇÇϱâ·Î ÇßÁö¸¸, ±¸Ã¼ÀûÀÎ ÀÏÁ¤Àº ¾ÆÁ÷ Á¤ÇØÁöÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
±è½Â·æ±âÀÚ srkim@
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]