»ï¼º, 6Á¶5000¾ï¿ø ÅõÀÔ `ȼº EUV ¶óÀÎ` ±¸ÃࡦÃʹ̼¼È °øÁ¤ ½Ãµ¿Á¤ ½Ãµ¿
ÀÔ·Â: 2018-02-23 15:50
±èÀº ±âÀÚ
23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ´Â °æ±âµµ ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ '»ï¼ºÀüÀÚ È¼º EUV ¶óÀÎ ±â°ø½Ä'À» ¿°í »ý»ê¶óÀÎ °Ç¼³¿¡ Âø¼öÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. ±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå(»çÀå)Àº "À̹ø ȼº EUV ½Å±Ô ¶óÀÎ ±¸ÃàÀ¸·Î ȼºÄ·ÆÛ½º´Â ±âÈȼº¡¤ÆòÅÃÀ¸·Î À̾îÁö´Â '¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍ'ÀÇ Áß½ÉÀÌ µÉ °Í"À̶ó¸é¼ "7³ª³ë ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸® ¹Ì¼¼°øÁ¤ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇØ ³ª°¥ °èȹ"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
³×´ú¶õµå ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü ASMLÀÌ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇÏ´Â EUV´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤¿¡¼ 'Å°'¸¦ Áã°í ÀÖ´Â ÇÙ½É ÀåºñÀÌÀÚ ±â¼úÀÌ´Ù. EUV´Â ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÄÀåÀ» ±¤¿øÀ¸·Î »ç¿ëÇØ Ãʹ̼¼ ȸ·Î¸¦ ÇÑ ¹ø¿¡ ±×¸± ¼ö ÀÖ´Ù.
±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ÃÖ±Ù Ãß¼¼°¡ ÇÑ ÀÚ¸® ¼ö ³ª³ë´ÜÀ§±îÁö ¹Ì¼¼È°¡ ÀÚ¸® Àâ´Â ºÐÀ§±âÀÎ ¸¸Å »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹Ì¼¼È °øÁ¤¿¡¼µµ 'ÃÊ°ÝÂ÷'¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â Â÷¿ø¿¡¼ ±âÁ¸ ArF(ºÒȾƸ£°ï) ±¤¿øº¸´Ù ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº EUV Àåºñ¸¦ µµÀÔÇØ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» À¯ÁöÇÑ´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 2014³â EUV¸¦ óÀ½ µµÀÔÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç, ±×µ¿¾È ½ÇÁ¦ ¾ç»ê¿¡ Àû¿ëÇϱâ À§ÇØ ÁغñÇØ¿Ô´Ù. Áö³ÇØ 5¿ù EUV ³ë±¤ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤À» ¼±º¸ÀÌ´Â µî ȼº ÆÄ¿îµå¸® ½Å°øÀå¿¡ EUV ±â¼úÀ» Àû±Ø µµÀÔÇÏ¸ç °æÀï»ç¿Í ±â¼ú °ÝÂ÷¸¦ ¹úÀ̴µ¥ ÁÖ·Â ÇÏ´Â ¸ð½ÀÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "EUV ±â¼úÀÌ »ó¿ë鵃 °æ¿ì ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·ÂÈ¿À²À» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù"¸ç "¹«¾ùº¸´Ù »ý»ê¼ºµµ ȹ±âÀûÀ¸·Î ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¾ÕÀ¸·Î 3³â µ¿¾È EUV ¶óÀÎÀÇ Ãʱâ ÅõÀÚ ±Ô¸ð¸¦ 60¾ï ´Þ·¯(¾à 6Á¶4752¾ï¿ø)·Î Àâ¾Ò´Ù. ¶óÀÎÀÌ °¡µ¿µÈ ÀÌÈÄ¿¡´Â ½ÃÀå »óȲ¿¡ µû¶ó Ãß°¡ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇàµÉ °¡´É¼ºÀÌ Å©´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV »ý»ê¶óÀÎÀÌ ÈÞ´ëÀüÈ¿Í ¼¹ö, ³×Æ®¿öÅ©, HPC(°í¼º´É ÄÄÇ»ÅÍ) µî '°í¼º´É¡¤ÀúÀü·Â' Ư¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ È¿À²ÀûÀ¸·Î ´ëÀÀÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ¹Ì 7³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤(7LPP, Low Power Plus) ±â¹ÝÀÇ Ã¹ °í°´À¸·Î Ä÷ÄÄÀ» Àâ°í 5G(5¼¼´ë) ĨÀ» »ý»êÇϱâ·Î È®Á¤Çß´Ù.
±èÀº±âÀÚ silverkim@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]