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29ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ¿øÀÍIPS´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºÀÇ ÁõÂø Àåºñ °ü·Ã ¹ßÁÖ°¡ 12¿ùºÎÅÍ ½ÃÀ۵ʿ¡ µû¶ó ¿ÃÇØ¿¡ ÀÌ¾î ³»³â±îÁö »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀûÀ» À̾ Àü¸ÁÀÌ´Ù. Áõ±Ç¾÷°è¿¡¼´Â ¿øÀÍIPS°¡ Áö³ÇØ 2440¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ¾×À» ±â·ÏÇÑ µ¥ ÀÌ¾î ¿ÃÇØ 6210¾ï¿ø, ³»³â 6920¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ¿µ¾÷ÀÌÀÍ ¿ª½Ã 2016³â 290¾ï¿ø¿¡¼ ¿ÃÇØ 1340¾ï¿ø, ³»³â 1570¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇÏ¸ç ½ÇÀû °í°øÇàÁøÀ» À̾ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇß´Ù.
¿ÃÇØÀÇ °æ¿ì Áö³Çغ¸´Ù ¸ÅÃâ 84.7%, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 170% ±ÞÁõÇÑ ¼öÄ¡´Ù. ¾Õ¼ ¿Ã 2ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº Áö³ÇØ µ¿±âº¸´Ù 1153.39% ¼ºÀåÇÑ 468¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇÏ¸ç ³ôÀº ¼ºÀå·üÀ» º¸¿´´Ù.
¿øÀÍIPS´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÇöóÁ ÈÇÐ ÁõÂø(PECVD) Àåºñ¸¦ »ý»êÇÑ´Ù. ÀÌ Àåºñ´Â ¿øÇÏ´Â ¼ÒÀ縦 ±âü »óÅ·ΠÁÖÀÔ¹ÞÀº µÚ ÇöóÁ(±âü¸¦ ÃÊ°í¿ÂÀ¸·Î °¡¿ÇØ ¸¸µé¾îÁø ÀÌ¿ÂÈ »óÅÂ)·Î ´Ù½Ã ÀüȯÇØ ¿þÀÌÆÛ(¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ)¿¡ ºÎÂøÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ °°Àº ¿øÀÍIPSÀÇ ½ÇÀû ±ÞÁõÀº '»ï¼ºÀüÀÚ È¿°ú'·Î ºÐ¼®µÈ´Ù. Áö³ 2ºÐ±â ¸ÅÃâ °¡¿îµ¥ »ï¼ºÀüÀÚ ¹ßÁÖ´Â ¾à 90%¸¦ Â÷ÁöÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 7¿ù ÃʺÎÅÍ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ÀÎ 3Â÷¿ø(3D) ³½µå »ý»êÀ» À§ÇØ ÆòÅà °øÀå 1ÃþÀ» º»°ÝÀûÀ¸·Î °¡µ¿ÇÑ µ¥ À̾î ȼº »ç¾÷Àå¿¡ 6Á¶¿øÀÇ Ãß°¡ ÅõÀÚ °èȹÀ» ¹àÇû´Ù.
ȼº »ç¾÷ÀåÀÇ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡µµ PE CVD¸¦ »ç¿ëÇϱ⿡ ÀÌ Á¡µµ ¿øÀÍIPS¿¡ ±àÁ¤ÀûÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î °üÃøµÈ´Ù. ¾÷°è¿¡¼´Â ¿À´Â 12¿ù »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅðøÀå 2Ãþ ¶óÀÎ ¹ßÁÖ°¡ °ð ½ÃÀÛµÇ¸é ¶Ç ÇÑ ¹øÀÇ ½ÇÀû¹ÝµîÀÇ ±âȸ°¡ ã¾Æ¿Ã °ÍÀ¸·Î ÆľÇÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ SKÇÏÀ̴нº ¿ª½Ã ¿À´Â 2025³â±îÁö M15 ûÁÖ°øÀå Ãß°¡ ¼³ºñ¿¡ 13Á¶3000¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇô ¼öÇý¸¦ º¼ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ¾÷°è°ü°èÀÚ´Â "Àü ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂøÀåºñ ½ÃÀåÀº ¿À´Â 2018³âºÎÅÍ ¼ºÀå µÐÈ°¡ ¿¹»óµÇ´Â ¹Ý¸é ±¹³» ÁÖ¿ä ÁõÂøÀåºñ¾÷üÀÇ ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡À²Àº 20%·Î ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç "¿À´Â 2018³â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡À²ÀÌ 15%¸¦ ±â·ÏÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
±èÀº±âÀÚ silverkim@dt.co.kr
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