국내 연구진이 레이저 기술을 이용해 자유자재로 구부릴 수 있는 투명한 유연 디스플레이 제작 기술을 개발했다.
박상희·이건재 KAIST 교수 연구팀은 레이저 박리 기술을 활용해 고온 공정에서 제작된 반도체 산화물을 떼어내어 유연한 기판에 옮기는 방법으로 투명하고 유연한 디스플레이 구동회로를 만드는 데 성공했다고 28일 밝혔다.
기존의 플렉시블 디스플레이는 고온에 약한 플라스틱 기판 위에 제작하기 때문에 고온 공정에서 만들어지는 일반 디스플레이에 비해 성능이 떨어진다. 또 불투명한 플라스틱 기판 위에 제작해야 하기에 투명도도 매우 낮은 기술적 한계를 안고 있다.
연구팀은 고온 열처리가 가능한 유리 기판 위에 레이저에 반응하는 층을 형성한 후 기존 반도체 공정으로 반도체 산화물을 제작했다. 이어 레이저 박리 기술로 이를 떼어내 반도체 소자를 4마이크로미터(㎛) 두께의 매우 얇은 플라스틱 기판 위에 옮겨 투명한 산화물 기반 디스플레이 구동회로를 구현하는 데 성공했다.
이 반도체 소자는 구부린 상태에서도 전하 이동속도가 안정적으로 유지됐다고 연구팀은 설명했다. 특히 기존 디스플레이 제조 공정을 그대로 이용할 수 있으며, 레이저 박리를 통해 유연 기판에 전사하기 때문에 소자의 종류나 크기에 제한없이 적용할 수 있다.
이건재 교수는 "피부에 부착할 수 있는 고성능의 투명 유연 디스플레이를 실용화하는 데 큰 기여를 할 것으로 기대한다"고 말했다.
이 연구결과는 국제 학술지 '어드밴스드 펑셔널 머터리얼즈(7월호)' 표지논문으로 실렸으며, 미래부의 선도연구센터지원사업의 지원으로 수행됐다.대전=이준기기자 bongchu@dt.co.kr
레이저 박리기술을 이용해 제작한 고성능 투명 산화물 박막 트랜지스터 어레이의 모습으로, 관련 연구성과가 국제 학술지 '어드밴스드 펑셔널 머터리얼즈(7월호)' 표지 논문으로 실렸다.
