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오로스테크놀로지, `반도체장비 국산화` 포문… 미개척 신시장 도전장

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오버레이 계측장비 성능평가서 기술력 인정
20나노급 `E-빔`측정장치 세계 첫 개발 기대
■ 주목 e기업

"이제 겨우 우리는 시작 단계에 불과합니다. 차근차근 지켜봐 주십시요."

오로스테크놀로지(이하 오로스)는 끝까지 아직 갈 길이 멀다고 했다. 그도 그럴 것이 회사를 설립한지, 장비 국산화를 시작한지 이제 3년 밖에 되지 않았고, 지난해 겨우 소규모 매출을 기록했기 때문이다.

오로스는 반도체 전공정용 패턴 미세 오정렬 측정 계측장비와 미소 결함 검사장비를 개발하는 회사다. 반도체 계측검사 장비 전문 업체로 광학 오버레이(Overlay) 측정 계측장비를 국산화해 국내 몇몇 반도체 제조사에 최근 공급했다.

최근 반도체 회로 선폭이 극도로 미세해지면서 광학(포토) 공정의 정밀도가 반도체 수율에 절대적으로 중요한 영향을 미치고 있다. 이 때문에 계측 오류를 줄이기 위한 정밀한 오버레이 관측 계측 장비가 필요하고, 그 수요는 계속 늘어나는 추세다. 이 분야 경쟁사는 세계 5위권 반도체 장비 기업인 KLA텐코로 이 분야에서 99% 이상 세계 시장을 독점하고 있다.

반면 오로스는 이제 겨우 제품 하나를 개발해 일부 업체에 공급하고 있을 뿐이다. 여전히 새로운 제품에 대한 개발은 진행 중이고, 기술을 축적해가고 있는 단계다.

오로스가 지금까지 어느 국내 업체들도 시도하지 못했던 오버레이 관측 계측장비 분야에서 상용화에 성공할 수 있었던 결정적 계기는 반도체산업협회가 주관하고 지식경제부가 후원하는 `반도체 장비, 재료 성능평가 사업'에 참여한 것이었다. 이를 통해 신생 기업인 오로스가 대기업 생산라인에 장비를 투입해 생산 수율과 신뢰성을 평가받을 수 있었기 때문이었다. 장비 성능평가 사업을 통해 오버레이 측정 계측장비에 대한 기술력을 인정받은 회사는 새로운 도전을 시도하고 있다.

반도체 산업 규모가 커지면서 이에 따른 반도체 장비 시장도 매년 커지고 있다. 현재 세계 반도체 장비 시장은 연 60조원 정도로 추산되며, 올해 국내 반도체 장비 시장 규모는 약 9조5000억원 정도로 추정된다. 하지만 국내 반도체 장비 국산화율은 여전히 낮다. 반도체산업협회에 따르면 지난해 국내 반도체 장비 국산화 비율은 약 25%이다. 이것도 아직 공급이 이뤄지지 않은 삼성전자 화성 16, 17라인에 들어갈 국산장비를 포함한 수준이다. 협회는 실질적으로 지난해 반도체 장비 국산화율을 약 23%로 보고 있다. 따라서 나머지 77%는 모두 수입해 쓰고있다는 얘기다. 우리가 스스로 반도체 강국이라고 말하고 있지만, 여전히 반도체 생산에 들어가는 핵심 장비는 외산이 대부분이다.

지난 십 수년 간 국내에서 반도체 장비 국산화 작업이 추진되면서, 이에 따른 장비 전문 업체들도 하나 둘씩 생겨나기 시작했다. 세메스, 원익아이피에스, 유진테크 등은 최근 좋은 실적을 보여주고 있으며, 주성엔지니어링, 탑엔지니어링, 케이씨텍 등은 1세대 반도체 장비 기업으로 잘 알려져 있다. 이들은 증착, 식각, 세정 장비를 양산하면서 핵심 기술을 반도체, 디스플레이, 태양광 등 다양한 분야에 확대 적용하며 성장했다.

하지만 노광장비나 오버레이 계측장비와 같이 반도체 핵심 장비들에 대한 국산화는 아직까지 불가능했다. 지난해 반도체 장비 1위 업체로 등극한 네덜란드 ASML의 경우, 반도체 리소그라피 노광장비를 거의 석권하면서 79억 달러 매출을 거뒀다. 이는 국내 반도체 장비 업체 전체 매출의 3배에 달한다. 오로스가 국내 반도체 장비 업체로 몇 년 뒤 주목되는 것은 국내 업체가 개척하지 않은 새로운 시장에 도전하고 있기 때문이다.

오로스는 여전히 갈 길 바쁜 중소기업에 불과하다. 하지만 점차 정부와 학계, 산업계를 중심으로 핵심 반도체 장비를 국산화해야 한다는 목소리가 높아지고 있다. 특히 이 회사는 지경부가 주관하는 `2011 신성장 동력 장비 경쟁력 강화사업 개발' 업체 반도체 부분 사업자로 선정되면서 10나노, 20나노급 반도체 공정용 패턴미세 오정렬 측정 계측장비를 개발 중이다. 3년간 약 54억원을 투입하는 사업으로 세계에서 처음으로 E-빔(Beam) 오버레이 장비 개발을 목표로 하고 있다. 한국표준과학원과 오로스 이스라엘 현지 연구소가 공동 개발하는 이번 국책사업에 업계가 거는 기대도 높다.

오로스는 서두르지는 않겠다는 입장이다. 회사는 지난해 매출 30억원, 올해는 100억원 매출을 예상하고 있는 소규모 업체다. 거대 경쟁 상대와 기술력으로 맞붙어야 하는 어려움이 만만치 않을 전망이다. 하지만 국내 반도체 장비 업체 중 유일하게 오버레이 관측 계측장비를 상용화시켰다는 점에서 향후 행보가 주목된다.

강승태기자 kangst@

◇ 사진설명 : 오로스테크놀로지 회사 로고(사진 위), 반도체 계측검사 장비 전문 업체인 오로스테크놀로지는 국내 반도체 장비업체 중 유일하게 오버레이 관측 계측장비를 상용화시켰다. 사진은 본사 조감도(사진 아래).

◇ 우리회사는

설 립 일 : 2003년 10월 21일(실질적으로 회사명 변경하고 이 사업에 뛰어든 것은 2010년 4월)

대표이사 : 박태훈

직 원 수 : 89명(이스라엘 연구소 직원 포함)

사업분야 : 오버레이 측정 및 검사 장비

본사 : 경기도 화성시 석우동 26-6번지

연혁

- 2010년 4월 : 오로스테크놀로지 회사명 변경

- 2011년 3월 : 오로스 이스라엘 R&D 센터 오픈

- 2011년 4월 : 옵티컬 오버레이 관측장비 개발 발표

- 2011년 10월 : LED PSS 검사시스템 개발업체 ERI 합병

- 2011년 11월 : 일본 레이텍스와 R&D MOU 체결

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