450㎜ 반도체장비 표준 논의될까

10월 한국전자전 행사서 소개… 장비기업들 이목 집중

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세계적 반도체 기관인 세마텍(SEMATEC)과 글로벌 반도체 소자ㆍ장비기업이 협업해 도출한 450㎜ 반도체장비 표준이 국내에 소개된다. 이에 따라 국내에서도 차세대 450㎜ 반도체 표준에 대한 논의가 본격화될지 이목이 집중된다.

5일 한국반도체산업협회와 한국반도체연구조합에 따르면 오는 10월 고양시 킨텍스에서 열리는 한국전자전에서 차세대 450㎜ 반도체장비 표준을 국내 업계에 알리는 행사가 진행될 예정이다.

현재 협회와 조합은 세마텍과 그동안 진행돼온 450㎜ 반도체장비 표준을 국내에 소개하는 방안에 대해 협의 중이다.

협회 관계자는 "아직 협의가 완결된 것은 아니지만 표준을 국내에 소개하는 것에 대해서는 상당히 긍정적인 분위기"라며 "주요 글로벌 소자기업들의 요구를 반영한 표준이어서 전세계 장비기업들도 관심이 많다"고 말했다.

삼성전자, 인텔, TSMC는 450㎜ 공정 인프라를 2012년까지 갖추고 2015년부터 양산하겠다는 방침을 밝힌 바 있다. 그러나 전세계적으로 300㎜에서 450㎜로의 전환 시기를 놓고 합의점을 찾지 못한 상태다.

이처럼 450㎜ 공정 전환 시기를 저울질하는 가운데 글로벌 장비기업들은 이미 일부 제품을 선보이고 있어 국내 장비기업들도 연구개발에 더욱 적극적으로 나서야 할 것으로 보인다.

이미 국내 몇몇 장비기업은 450㎜ 웨이퍼용 장비 연구를 시작한 것으로 알려졌지만, 업계 전체적으로 서둘러 관련 표준을 마련하고 연구개발을 진행하기 위한 논의가 공론화되기에는 미진한 상태다. 소자업체들이 450㎜ 공정에 대한 정확한 투자계획을 밝히지 않고 있고 기존 300㎜ 장비의 생산성이 향후 수 년간 높은 수치를 낼 것으로 예상되고 있기 때문이다.

이에 따라 협회에서는 세마텍의 표준을 국내에 소개함으로써 450㎜ 장비시장을 한국이 선점해야 할 필요성과 사전 대응의 중요성 등을 업계에 환기시킴으로써 차세대 장비 대응의 촉매제 역할을 할 것으로 기대하고 있다.

김용태 한국과학기술연구원 박사는 "현재 글로벌 장비기업들은 인텔, 삼성전자 등 소자기업들이 450㎜ 공정 계획을 밝힘에 따라 이에 대비하고 있다"며 "특정 장비기업들이 차세대 장비의 기초 기술ㆍ재료를 모두 확보해버리면 뒤따라가기 힘들고 이는 결국 후발기업의 몰락으로 이어지므로 기술 추이라도 제대로 알고 있어야 제 때 대응할 수 있다"고 강조했다.

배옥진기자 withok@

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