- ÇÇ¿¡½ºÄÉÀÌ: ´ë¸¸, À̳ëÅ׶ó
- À¯ÁøÅ×Å©: ´ë¸¸ ÇÁ·Î¸ð½º
±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷µéÀÇ ÇØ¿Ü ½Å±Ô °ø±Þó È®º¸ ³ë·ÂÀÌ ÃÖ±Ù ¿¬ÀÌ¾î °á½ÇÀ» ¸Î°í ÀÖ´Ù.
20ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é À¯´ÏÅ×½ºÆ®¤ýÇÇ¿¡½ºÄÉÀ̤ýÀ¯ÁøÅ×Å© µîÀº ÃÖ±Ù ´ë¸¸ ³¾ß¤ýÀ̳ëÅ׶ó¤ýÇÁ·Î¸ð½º ¹× ½Ì°¡Æ÷¸£ Â÷Å͵带 ºñ·ÔÇØ, À¯·´¤ý¹Ì±¹ À¯¼ö ¼ÒÀÚ±â¾÷µéÀ» ÃÖ±Ù ½Å±Ô °ø±Þó·Î È®º¸Çß´Ù.
ÀÌ´Â »ï¼ºÀüÀÚ¤ýÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ±â¾÷µéÀÌ Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Â °Í°ú °ü·Ã, À̵é Àåºñ±â¾÷ÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ¤ýÇÏÀ̴нº¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ ½ÇÀûÀ» Åä´ë·Î ÇؿܽÃÀå °³Ã´¿¡µµ Àû±Ø ³ª¼·Á´Â ¿òÁ÷ÀÓÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.
À¯´ÏÅ×½ºÆ®(´ëÇ¥ ±èÁ¾Çö)´Â ´ë¸¸ ³¾ß ¹× À¯·´ Å°¸ó´Ù(±¸ ÀÎÇǴϾð ¸Þ¸ð¸®»ç¾÷ºÎ) µî¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ°Ë»çÀåºñ(main tester)¸¦ °ø±ÞÇÒ ¿¹Á¤À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ȸ»ç ÃøÀº ±×µ¿¾È ÁÖ°Ë»çÀåºñ Àü·®À» ÇÏÀ̴нº¿¡ °ø±ÞÇÑ µ¥ À̾î, ¿ÃÇØ 7¿ù ³¾ß·ÎºÎÅÍ ¼³ºñÀÎÁõÀ» ¹Þ°í ¾ç»ê¼º °ËÁõÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Â µî ÁÖ°Ë»çÀåºñ Ãʵµ ¼öÃâÀÌ °¡½Ãȵǰí ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÌ È¸»ç ±èÁ¾Çö »çÀåÀº "¿Ã µé¾î ÀϺ»¤ý´ë¸¸ µî¿¡ Áö»ç¸¦ ¼³¸³ÇßÀ¸¸ç, ¹Ì±¹¤ýÀ¯·´¤ý½Ì°¡Æ÷¸£ ¾÷üµé°ú´Â ´ë¸®Á¡ °è¾àÀ» ü°áÇÏ´Â µî ÇØ¿Ü °ø±Þó È®º¸¿¡ Àû±Ø ³ª¼°í ÀÖ´Ù"¸ç "³»³â ¸ñÇ¥ÀÎ 840¾ï¿ø ¸ÅÃâ °¡¿îµ¥, 31%ÀÎ 260¾ï¿ø »ó´çÀ» ÇØ¿Ü¿¡¼ ´Þ¼ºÇÒ °èȹ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÇÇ¿¡½ºÄÉÀÌ(´ëÇ¥ ¹Ú°æ¼ö)´Â À̳¯ ´ë¸¸ À̳ëÅ׶ó ÃøÀ¸·ÎºÎÅÍ 120¾ï »ó´çÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸®Àåºñ(asher)¸¦ ¼öÁÖÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ È¸»ç ÀÓÁ¤Çö ÆÀÀåÀº "À̹ø¿¡ ¼öÁÖÇÑ Àåºñ´Â À̳ëÅ×¶ó°¡ °Ç¼³ ÁßÀÎ D·¥ µî 300§® ¸Þ¸ð¸® Àü¿ë `ÆÕ(fab)¥±'¿¡ °ø±ÞµÉ ¿¹Á¤"À̶ó¸ç "ÃÖ±Ù ½Ì°¡Æ÷¸£ Â÷Å͵å Ãø¿¡µµ °ü·ÃÀåºñ¸¦ Ãʵµ °ø±ÞÇÏ´Â µî ¿¬À̾î ÇؿܽÃÀå °³Ã´¿¡ ¼º°øÀ» °ÅµÎ°í ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ÀÌ È¸»ç´Â ±âÁ¸ »ï¼ºÀüÀÚ¤ýÇÏÀ̴нº µî ³»¼ö½ÃÀå¿¡ À̾î ÇØ¿Ü ¼öÃâ¿¡µµ Àû±Ø ³ª¼, ¿ÃÇØ ¸ñǥġÀÎ 1320¾ï¿ø ¸ÅÃâ °¡¿îµ¥ 40% »ó´çÀ» ÇØ¿Ü¿¡¼ ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù.
¶ÇÇÑ À¯ÁøÅ×Å©(´ëÇ¥ ¾öÆò¿ë)´Â ±âÁ¸ ÇÏÀ̴нº¿¡ ÀÌ¾î ´ë¸¸ ÇÁ·Î¸ð½º·Î ÁÖ·ÂÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¸Å¿±½Ä Àú¾Ð ÈÇÐÁõÂøÀåºñ(LP CVD) °ø±Þó¸¦ È®´ëÇßÀ¸¸ç, ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ(´ëÇ¥ ȲöÁÖ)µµ ¿Ã ÇϹݱ⠴븸 ÇÁ·Î¸ð½º¤ýTSMC µîÀ¸·ÎºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ¿øÀÚÃþÁõÂøÀåºñ(ALD) ¼öÁÖ°¡ º»°Ýȵǰí ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.