µðÁöÅПÀÓ½º

 


ÇÏÀ̴нº-Çù·Â»ç `Àåºñ±¹»êÈ­`¼±µµ

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
À¯´ÏÅ×½ºÆ®¤ýAPTC¤ýÀ¯ÁøÅ×Å©µî °í¼Ó¼ºÀå
ÇÏÀ̴нº Áö¿øÀ¸·Î ÇÙ½ÉÀåºñ ÀÕ´Ü °³¹ß



¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½ÉÀåºñ ±¹»êÈ­¿¡ ³ª¼± ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼ Áß¼Ò ÀåºñÇù·Â»çµéÀÌ ÃÖ±Ù °¡½ÃÀûÀÎ ¼º°ú¸¦ ³»°í ÀÖ¾î ÁÖ¸ñµÈ´Ù.

25ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é À¯´ÏÅ×½ºÆ®¤ýAPTC¤ýÀ¯ÁøÅ×Å© µîÀº ÁÖ°Ë»çÀåºñ¤ý°Ç½Ä½Ä°¢Àåºñ¤ýÈ­Çбâ»óÁõÂøÀåºñ µî ±×µ¿¾È ±¹»êÈ­°¡ ¹ÌÁøÇß´ø ÇٽɰøÁ¤ ÀåºñµéÀ» °³¹ß, ÇÏÀ̴нº ¾ç»ê¶óÀο¡ ÀÕµû¶ó Àû¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ°°Àº ¼º°ú´Â À̵é Çù·Â»ç°¡ ÇٽɰøÁ¤ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ´Â µ¥±îÁö ÇÏÀ̴нº°¡ °øµ¿°³¹ß(JDP)À» ºñ·ÔÇØ ÀڱݤýÀη µîÀ» ÀüÆø Áö¿øÇ߱⠶§¹®À¸·Î Ç®À̵ȴÙ. ÇÏÀ̴нºÀÇ Áö¿øÀ» ¹ÞÀº Çù·Â»çµéÀº ¿Ã µé¾î º»»ç¸¦ È®Àå¤ýÀÌÀüÇÏ´Â ÇÑÆí, ±â¾÷°ø°³(IPO)¿¡µµ ³ª¼­´Â µî ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇØ°¡°í ÀÖ´Ù.

À¯´ÏÅ×½ºÆ®(´ëÇ¥ ±èÁ¾Çö)´Â ±×µ¿¾È Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸Çß´ø ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ°Ë»çÀåºñ(¸ÞÀÎÅ×½ºÅÍ)¸¦ ÃÖÃÊ·Î ±¹»êÈ­Çß´Ù. ȸ»ç ÃøÀº ÇÏÀ̴нº¿Í ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ Àü¼¼°è ¿¬°£ 62¾ï´Þ·¯ ±Ô¸ð·Î Çü¼ºµÈ ÁÖ°Ë»çÀåºñ ½ÃÀå¿¡ ÁøÃâ, Áö³­ÇØ 395¾ï¿ø ¸ÅÃâ¿¡ ÀÌ¾î ¿ÃÇØ 600¾ï¿ø ¸ÅÃâÀ» Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.


ÀÌ È¸»ç ±èÁ¾Çö »çÀåÀº "Á¶¸¸°£ 1Gbps±Þ °í»ç¾ç ÁÖ°Ë»çÀåºñ¸¦ Ãâ½Ã, ¾îµå¹ÝÅ×½ºÆ®¤ýÅ׶ó´ÙÀÎ µî°ú ¾î±ú¸¦ ³ª¶õÈ÷ ÇÒ °Í"À̶ó¸ç "¿Ã ÇϹݱ⠰æ±â ¿ëÀο¡ ´ëÁö¸éÀû 4300ÆòÀÇ ½Å±Ô »ç¿ÁÀ» °Ç¼³ÇÏ´Â ÇÑÆí, ÄÚ½º´Ú½ÃÀå¿¡µµ ÁøÃâÇÏ´Â µî `Á¦2ÀÇ µµ¾à'À» ½ÇÇöÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
APTC(´ëÇ¥ ±è³²Çå)´Â ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ ÇÙ½ÉÀåºñÀÎ °Ç½Ä½Ä°¢Àåºñ(µå¶óÀÌ¿¡Ã³) ±¹»êÈ­¸¦ ¼±µµÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ȸ»ç ÃøÀº ÇÏÀ̴нº¿Í °øµ¿°³¹ßÀ» ÅëÇØ Áö³­ÇØ ÇÏÀ̴нº 200§® ¾ç»ê¶óÀο¡ ¸ÞÅ» ½Ä°¢Àåºñ¸¦ Ãʵµ °ø±ÞÇѵ¥ À̾î ÃÖ±Ù °ü·ÃÀåºñ 3´ë¸¦ Ãß°¡·Î ¼öÁÖÇßÀ¸¸ç, 300§® °øÁ¤¿ë ¿Á»çÀÌµå ½Ä°¢Àåºñ ¾ç»ê°ËÁõµµ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. À̸¦ ÅëÇØ È¸»ç¼³¸³ 2³â¸¸ÀÎ 2004³â 24¾ï¿øÀÇ ½Å±Ô ¸ÅÃâ¿¡ À̾î Áö³­ÇØ 120¾ï¿ø °¡·®ÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã·ÈÀ¸¸ç, ¿ÃÇØ 520¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» Àü¸ÁÇÏ´Â µî °¡Æĸ¥ »ó½Â¼¼¸¦ À̾°í ÀÖ´Ù.

¶ÇÇÑ À¯ÁøÅ×Å©(´ëÇ¥ ¾öÆò¿ë)´Â ÇÏÀ̴нº¿Í Çù·ÂÀ» ÅëÇØ Àü°øÁ¤ °íºÎ°¡°¡Ä¡ ÀåºñÀÎ ¸Å¿±½Ä Àú¾Ð È­Çбâ»óÁõÂøÀåºñ(LP CVD)¸¦ ±¹»êÈ­Çß´Ù.

¿ÃÇØ ÃÊ ÄÚ½º´Ú½ÃÀå¿¡ ÁøÃâÇÑ ÀÌ È¸»ç´Â ÁúÈ­¸·(SiN) ¸Å¿±½Ä LP CVD ºÎ¹®¿¡¼­ ÇÏÀ̴нº ÇÙ½É Çù·Â»ç·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇß´Ù. ¿Ã ÇϹݱâ Áß »êÈ­¸·(SiO2)¤ý´Ù°áÁ¤¸·(Poly-Si) LP CVD¸¦ °¢°¢ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº Ãø¿¡ °ø±ÞÇØ Á¦Ç°±º ´Ùº¯È­µµ ½ÇÇöÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ÀÌ°°Àº Áß¼ÒÀåºñ¾÷üÀÇ ¼ºÀåÀº ¼ö¿ä ´ë±â¾÷°úÀÇ Àû±ØÀûÀÎ Çù·Â¿¡ µû¸¥ °ÍÀ̶ó´Â °Ô ¾÷°èÀÇ ¸ñ¼Ò¸®´Ù.