디엠에스ㆍ케이씨텍ㆍ세메스
종합 디스플레이장비 ‘야망’
국내 디스플레이 장비기업들은 일본 캐논ㆍ니콘 등이 과점하고 있는 노광장비를 제외하고, 세정장비를 비롯해 화학기상증착장비ㆍ식각장비 등 대부분의 공정장비를 국산화하며 규모의 경제를 실현해가고 있다.
특히 디엠에스ㆍ케이씨텍ㆍ세메스 등은 다수의 장비들을 주력으로 확보함으로써, 종합디스플레이 장비기업으로 거듭나기 위한 준비에 한창이다. 이에 대해 한 장비업체 사장은 " 그동안 하나의 주력장비를 통해 수익을 창출하던 형태에서 벗어나, 패널 기업들로부터 다양한 장비들을 일괄수주(turn key) 하기 위한 전략으로 풀이된다"고 말했다.
◇종합디스플레이 장비기업을 지향한다=디엠에스는 일본 시바우라ㆍ디엔에스 등을 제치고 LCD 공정용 세정장비 부문에서 수성을 이어가고 있다. 또한 박리장비(stripper)를 비롯해 현상장비(developer)ㆍ자외선경화기(UV curing)를 주력으로 확보했으며, 특히 신개념을 적용한 감광액 도포장비(PR coater)의 출시도 눈앞에 두고 있다.
케이씨텍은 대형 LCD 공정용 감광액 도포장비를 신개념 슬릿(slit) 방식을 적용해 가장 먼저 국산화한 바 있다. 특히 조만간 7세대 공정용 감광액 도포장비도 선보일 계획이며, 이를 통해 기존 세정장비와 현상장비 등과 함께 감광액 도포장비를 주력 제품군으로 확보한다는 전략이다.
또한 세메스는 LCD 전공정 세정장비ㆍ박리장비 및 감광액 도포장비를 비롯해, 후공정 유리기판 모서리가공장비(edge grinder) 등 다양한 제품군을 확보함으로써, 종합장비제조기업으로 도약한다는 계획이다.
◇LCD 전공정 장비부문 =주성엔지니어링은 이전까지 미국 AKT 등이 주도했던 전공정 핵심장비인 플라즈마 화학기상증착장비(PE CVD) 부문에 선도적으로 진출, 국내를 대표하는 디스플레이 장비기업으로 거듭났다. 특히 8세대(2160×2400) LCD 유리기판 크기에 대응하는 장비를 자체 인라인(in-line) 방식을 적용해 개발, 주성만의 우수한 기술력을 대내외적으로 과시한 바 있다.
디엠에스는 기존 LCD 공정용 세정장비의 크기를 3분의 1로 축소시킨 고집적세정장비(HDC)를 개발, 경쟁이 치열한 세정장비 부문에서 고부가가치를 창출한 기업으로 널리 알려져 있다. 또한 HDC에서 확보한 장비소형화기술을 적용해 고집적박리장비(HDS)도 개발, 활발한 수주활동을 펼치고 있다.
또한 에이디피엔지니어링은 전공정 핵심장비인 건식 식각장비(Dry Etcher)를 국산화함으로써 일본 도쿄일렉트론(TEL)의 독주를 막은 장비기업으로 유명하다. 에스엔유프리시젼은 LCD 유리기판 상의 초미세 부품의 높이를 정확하게 측정하는 비접촉식 3차원나노형상측정장비(PSIS)를 업계 최초로 개발, LCD 측정장비 부문에서 선도적인 입지를 구축한 바 있다.
◇LCD 검사장비와 후공정 부문 = LCD 검사장비는 전공정 각 부문에서의 불량을 검사하는 광학검사장비(AOI)와 이 장비를 통해 불량이 검출된 유리기판을 수정ㆍ복구하는 기능의 레이저 리페어(laser repair) 장비, 유리기판 상의 파티클을 광원과 전자현미경을 통해 육안으로 검사하는 맥믹(MacㆍMic) 장비 등이 있다.
이와 관련 참이앤티는 레이저 리페어 장비부문에서 두각을 나타내고 있으며, 최근에는 기존 장비에 화학기상증착 방식을 적용한 고부가가치 레이저 CVD 부문에서도 대만 패널 기업들로부터의 수주가 잇따르고 있다. 또한 디이엔티는 맥믹 장비 부문에서 독보적인 입지를 점유했으며, 넥스트인스트루먼트는 광학검사장비 부문에서 강세를 보이고 있다.
일반적으로 LCD 전공정을 마친 TFTㆍ컬러필터 유리기판은 액정적하(ODF)시스템을 통해 결합되는 과정을 거친다. 액정적하시스템은 유리기판 위에 액정을 떨어뜨리는 기능의 액정분사기(LC dispenser), TFTㆍ컬러필터 유리기판을 결합하는 진공합착기(assembly chamber), 결합된 두 장의 유리기판을 자외선으로 건조하는 자외선경화기(UV curing) 등 3종 장비로 구성된다.
이와 관련 탑엔지니어링은 액정분사기 부문에서, 에이디피엔지니어링과 디엠에스는 각각 진공합착기와 자외선경화기 부문에서 관련시장을 주도하고 있다. 특히 코닉시스템은 이들 액정적하시스템 장비 3종을 토털솔루션으로 확보, 패널 기업들로부터 일괄수주함으로써 관련 부문에서 두각을 나타내고 있다.
◇LCD 물류이송장비 및 PDPㆍOLED 부문 = LCD 공정 전반에 걸쳐 적용되는 물류이송장비 부문에서는 에스에프에이ㆍ신성이엔지를 비롯해 케이이엔지ㆍ아바코ㆍ로체시스템즈 등이 강세를 보이고 있다. 특히 에스에프에이는 지난해 국내 반도체ㆍ디스플레이 장비기업으로는 최초로 연간 매출 3000억원을 넘어서는 등 관련부문에서 규모의 경제를 실현해가고 있다.
LCD 부문에 비해 상대적으로 규모가 작은 PDP 공정용 장비시장에서는 케이이엔지가 건식 세정장비 부문에서, 아바코가 PDP 패널을 안정화하는 기능의 에이징시스템(aging system) 부문에서 두각을 보이고 있다.
또한 디이엔티는 PDP에 일정한 전류를 가해 점등상태를 확인하는 검사장비인 프로버(prober)를, 오성엘에스티는 유리기판 상의 미세한 격벽에 남아있는 약품을 건조하는 격벽건조로(dry furnace)를 각각 국산화했다.
차세대 디스플레이로 각광받고 있는 OLED 부문에서는 선익시스템ㆍ두산디앤디ㆍ에이엔에스 등이 봉지증착장비 부문에 주력하면서 일본 알박ㆍ토키 등 선도기업들의 아성에 도전하고 있다. 하지만 이들 기업은 능동형(AM) OLED 시장의 개화가 늦어지면서 최근 경영상의 어려움을 겪고 있어 아쉬움을 주고 있다.
종합 디스플레이장비 ‘야망’
국내 디스플레이 장비기업들은 일본 캐논ㆍ니콘 등이 과점하고 있는 노광장비를 제외하고, 세정장비를 비롯해 화학기상증착장비ㆍ식각장비 등 대부분의 공정장비를 국산화하며 규모의 경제를 실현해가고 있다.
특히 디엠에스ㆍ케이씨텍ㆍ세메스 등은 다수의 장비들을 주력으로 확보함으로써, 종합디스플레이 장비기업으로 거듭나기 위한 준비에 한창이다. 이에 대해 한 장비업체 사장은 " 그동안 하나의 주력장비를 통해 수익을 창출하던 형태에서 벗어나, 패널 기업들로부터 다양한 장비들을 일괄수주(turn key) 하기 위한 전략으로 풀이된다"고 말했다.
◇종합디스플레이 장비기업을 지향한다=디엠에스는 일본 시바우라ㆍ디엔에스 등을 제치고 LCD 공정용 세정장비 부문에서 수성을 이어가고 있다. 또한 박리장비(stripper)를 비롯해 현상장비(developer)ㆍ자외선경화기(UV curing)를 주력으로 확보했으며, 특히 신개념을 적용한 감광액 도포장비(PR coater)의 출시도 눈앞에 두고 있다.
케이씨텍은 대형 LCD 공정용 감광액 도포장비를 신개념 슬릿(slit) 방식을 적용해 가장 먼저 국산화한 바 있다. 특히 조만간 7세대 공정용 감광액 도포장비도 선보일 계획이며, 이를 통해 기존 세정장비와 현상장비 등과 함께 감광액 도포장비를 주력 제품군으로 확보한다는 전략이다.
또한 세메스는 LCD 전공정 세정장비ㆍ박리장비 및 감광액 도포장비를 비롯해, 후공정 유리기판 모서리가공장비(edge grinder) 등 다양한 제품군을 확보함으로써, 종합장비제조기업으로 도약한다는 계획이다.
◇LCD 전공정 장비부문 =주성엔지니어링은 이전까지 미국 AKT 등이 주도했던 전공정 핵심장비인 플라즈마 화학기상증착장비(PE CVD) 부문에 선도적으로 진출, 국내를 대표하는 디스플레이 장비기업으로 거듭났다. 특히 8세대(2160×2400) LCD 유리기판 크기에 대응하는 장비를 자체 인라인(in-line) 방식을 적용해 개발, 주성만의 우수한 기술력을 대내외적으로 과시한 바 있다.
디엠에스는 기존 LCD 공정용 세정장비의 크기를 3분의 1로 축소시킨 고집적세정장비(HDC)를 개발, 경쟁이 치열한 세정장비 부문에서 고부가가치를 창출한 기업으로 널리 알려져 있다. 또한 HDC에서 확보한 장비소형화기술을 적용해 고집적박리장비(HDS)도 개발, 활발한 수주활동을 펼치고 있다.
또한 에이디피엔지니어링은 전공정 핵심장비인 건식 식각장비(Dry Etcher)를 국산화함으로써 일본 도쿄일렉트론(TEL)의 독주를 막은 장비기업으로 유명하다. 에스엔유프리시젼은 LCD 유리기판 상의 초미세 부품의 높이를 정확하게 측정하는 비접촉식 3차원나노형상측정장비(PSIS)를 업계 최초로 개발, LCD 측정장비 부문에서 선도적인 입지를 구축한 바 있다.
◇LCD 검사장비와 후공정 부문 = LCD 검사장비는 전공정 각 부문에서의 불량을 검사하는 광학검사장비(AOI)와 이 장비를 통해 불량이 검출된 유리기판을 수정ㆍ복구하는 기능의 레이저 리페어(laser repair) 장비, 유리기판 상의 파티클을 광원과 전자현미경을 통해 육안으로 검사하는 맥믹(MacㆍMic) 장비 등이 있다.
이와 관련 참이앤티는 레이저 리페어 장비부문에서 두각을 나타내고 있으며, 최근에는 기존 장비에 화학기상증착 방식을 적용한 고부가가치 레이저 CVD 부문에서도 대만 패널 기업들로부터의 수주가 잇따르고 있다. 또한 디이엔티는 맥믹 장비 부문에서 독보적인 입지를 점유했으며, 넥스트인스트루먼트는 광학검사장비 부문에서 강세를 보이고 있다.
일반적으로 LCD 전공정을 마친 TFTㆍ컬러필터 유리기판은 액정적하(ODF)시스템을 통해 결합되는 과정을 거친다. 액정적하시스템은 유리기판 위에 액정을 떨어뜨리는 기능의 액정분사기(LC dispenser), TFTㆍ컬러필터 유리기판을 결합하는 진공합착기(assembly chamber), 결합된 두 장의 유리기판을 자외선으로 건조하는 자외선경화기(UV curing) 등 3종 장비로 구성된다.
이와 관련 탑엔지니어링은 액정분사기 부문에서, 에이디피엔지니어링과 디엠에스는 각각 진공합착기와 자외선경화기 부문에서 관련시장을 주도하고 있다. 특히 코닉시스템은 이들 액정적하시스템 장비 3종을 토털솔루션으로 확보, 패널 기업들로부터 일괄수주함으로써 관련 부문에서 두각을 나타내고 있다.
◇LCD 물류이송장비 및 PDPㆍOLED 부문 = LCD 공정 전반에 걸쳐 적용되는 물류이송장비 부문에서는 에스에프에이ㆍ신성이엔지를 비롯해 케이이엔지ㆍ아바코ㆍ로체시스템즈 등이 강세를 보이고 있다. 특히 에스에프에이는 지난해 국내 반도체ㆍ디스플레이 장비기업으로는 최초로 연간 매출 3000억원을 넘어서는 등 관련부문에서 규모의 경제를 실현해가고 있다.
LCD 부문에 비해 상대적으로 규모가 작은 PDP 공정용 장비시장에서는 케이이엔지가 건식 세정장비 부문에서, 아바코가 PDP 패널을 안정화하는 기능의 에이징시스템(aging system) 부문에서 두각을 보이고 있다.
또한 디이엔티는 PDP에 일정한 전류를 가해 점등상태를 확인하는 검사장비인 프로버(prober)를, 오성엘에스티는 유리기판 상의 미세한 격벽에 남아있는 약품을 건조하는 격벽건조로(dry furnace)를 각각 국산화했다.
차세대 디스플레이로 각광받고 있는 OLED 부문에서는 선익시스템ㆍ두산디앤디ㆍ에이엔에스 등이 봉지증착장비 부문에 주력하면서 일본 알박ㆍ토키 등 선도기업들의 아성에 도전하고 있다. 하지만 이들 기업은 능동형(AM) OLED 시장의 개화가 늦어지면서 최근 경영상의 어려움을 겪고 있어 아쉬움을 주고 있다.
